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测量系统(MSY.0001 v1.1) BG ]w2= f};lH[B3y 应用示例简述 $ZnLY uGb Dsq_}6l{ 1. 系统说明 Y]>!uwn R`M>w MLH 光源 2AYV9egZ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 9Q\CJ9 元件 Vyy;mEBg — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 5:S=gARz 探测器 tc-pVw:TV — 干涉条纹 u7PtGN0r% 建模/设计 }5_[t9LX — 光线追迹:初始系统概览 Ug :3)q[O — 几何场追迹加(GFT+): M$Sq3m`{! 计算干涉条纹。 GjVq"S 分析对齐误差的影响。 cV;<!f+ ++>HU{ 2. 系统说明 =f48[= `O5 Hzb(} 参考光路 U`)\|\NY Myj5qh 3. 建模/设计结果 \!-IY kHWW\?O [p& n]T 4. 总结 ]o!rK< [N@t/^gRC 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 WFr;z* qu8!fFQjYL 1. 仿真 J#1-Le8@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ot%^FvQ[c 2. 计算 "+0Yhr ? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ON,sN 3. 研究 ?"hrCEHV{9 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ;+-@AYl `EBI$;! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 R #f*QXv d#tqa`@~ 应用示例详细内容 \*a7o GyH> 系统参数 xYmh{Vc8 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 |_6V+/?"?` kv!QO^;^Y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 s0zN#'o] ?&gqGU} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^uWPbW&/q @p$Nw.{' 2. 说明:光源 o[
Je m{v*\e7P g)3HVAT 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 *\-$.w)k 因此,相干长度大于1m p&s~O,Bw$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 =00c1v 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 B5A/Iv)2 ;c/|LXc\ >P<8E2}* e7_.Xr~[ 3. 说明:光源 ^cz4nW< hR4\:s+[ W>E/LBpE4 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 u?Uu>9@Z 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 8mm]>u$ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 #NyfE|MKBC 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 `MLOf 4. 说明:光学元件 >fq]c \PzJ66DL! '5)PYjMnH 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 )K}-z+$)k 位相延迟平板材料为N-BK7。 ufF>I 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 /&i6vWMhP 透镜材料为N-BK7。 ez-jVi-Fi 其中心厚度与位相平板厚度相等。 !,cLc}a d :vuRK4+ c:[8ng 2v 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 #FhgKwx U [R[VY7 sU$<v( `" 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ]3\%i2NM 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 A"}Ib'
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