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测量系统(MSY.0001 v1.1) hd+JKh!u NmK%k jCx 应用示例简述 nQ8EV>j2 IDv@r\Xw 1. 系统说明 iPxSVH[ ARslw*SJ 光源 6?2/b`k — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) |IZG`3 元件 `lr\V;o! — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 !! #\P7P 探测器 l@##
Ex9 — 干涉条纹 B,}%1+* 建模/设计 D7 A{*Tm — 光线追迹:初始系统概览 ^1}}-9q — 几何场追迹加(GFT+): AlGD .K 计算干涉条纹。 owQLAV 分析对齐误差的影响。 ?zxKk(J IiSO{ 2. 系统说明 g`\Vy4w f'*HP%+Y 参考光路 Q"%L  <4^a(Zh 3. 建模/设计结果 dDAdZxd jt;68SA
P :'#BU: 4. 总结
}?"f#bI CEt_wKzf 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 HH8a"Hq) ePB=aCZ 1. 仿真 e(j"u;= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 lYU_uFOs\ 2. 计算 2x'JR yef 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ptYQP^6S[ 3. 研究 L2AZ0E"ub 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 [96|xe\s "!r7t4 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 zaR~ fO E9QNx62 应用示例详细内容 /\h&t6B1 系统参数 w~Es,@ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 }4\>q$8' #>[+6y]U! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 [R6du*P
`<q{8 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 O3B\K <l 7S),:Uy[\ 2. 说明:光源 8V.x%T G,$RsP B3e{'14 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 P#"vlNa 因此,相干长度大于1m F6YMcdU 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 /tx_I(6F?| 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Uo5l
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ppfBfMX hZ5h(CQ?"# 3. 说明:光源 f GY. +W_ &nTB^MF FtT+Q$q= 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ^=FtF9v 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 .,<-lMC+ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 M*{E K 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ?,TON5Fl- 4. 说明:光学元件 4: 5 CnK :W 8DgL>l OV Iu&6# 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 OT\[qaK 位相延迟平板材料为N-BK7。 -E?h^J&U 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Z#nj[r!l} 透镜材料为N-BK7。 [uW{Ap ~2 其中心厚度与位相平板厚度相等。 0B>{31) jvCk+n[ .pr- ^ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ?RA^Y N*9 ,d@.@a]
` )!e-5O49r 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 b:WlB[5 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 %v4/.4sR,;
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