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1. 建模描述 Mnaoh:z 设计扩散器以在远场生成高数值孔径光图案 1k\1U 光源参数: W]n%$a — 高斯光源波长:532nm atFj Vk^ — 根据最终的衍射光学元件选择合适的直径 ue$\i =jw 系统参数: Mx-,:a9} — 衍射元件到屏幕距离:z=0.5m pWB)N7x& 输出场要求: 56AaviE C — 期望光图案:1.0m×0.5m网格 ){")RrD( — 光图案期望分辨率:±0.5mm ~/hP6* (目标平面上相邻衍射级次间的最小距离:∆xTP=1mm(离轴)) \sF}NBNT@ — 目标图案来源于文件 t}`|\*a “Sc385_HighNA_DiffuserDesign_01_DesiredLightPattern.bmp” HlY4%M5q/ 衍射光学元件参数: oHbEHS61 — 衍射元件的相位阶数:4 !w98[BE7 U,+kV?Z 2. 设计类型与步骤 gNzQ"W= X1i6CEa< 远场应用 zie])_8|h 优化衍射光学元件用以生成高数值孔径角分布。 JMOQDo xZL`<3? 信息 KC?h sID{ 衍射光学元件在波数域上生成一个角分布(kx,ky)。 H4 &
d,8:m oyJ/Oe
{ 设计步骤 ALwkX"AN A. 计算衍射光学元件的像素尺寸、周期和像元数。 IX^k<Jqr B. 根据参数计算结果预先设置傅里叶迭代法优化文档。 2,;+) C. 根据靶面上期望的光强分布在波数域上生成一个具有预补偿角的光分布,并作为设计目标图形。可以类似的定义一个特定的优化范围。 F)Yn1&a |