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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) H*9~yT'Q O(_[ayE 应用案例概述 2<}NB?f`N >$ 2V%}; 系统细节 VU@9@%TN ;,]P=Ey 光源 Gm\/Y:U – 绿光二极管 /JT#^Y 元件 <\;#jF%V – 双轴振镜扫描仪 'R_g">B. – F-Theta物镜 hqRw^2F 探测器 ?@V[#. – 场曲和畸变探测器 P
3'O/! – 光束强度剖面探测器 2,*M|+W~ – 焦点区域探测器 P+$:(I – 光束参数探测器 ) Yd?m0m* 模拟/设计 NQ6sGL – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 7.`fJf? – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 71\xCSI1w& |6<p(i7 系统说明 N ,z6y5Lu !50[z: Hhh0T>gi 激光扫描系统的性能评估 ,2W8=ON Gh}*q|Lz 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 q|),`.eh\ 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 /Sh#_\x <%"b9T`' 模拟和设计结果 @< |