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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) 4k@n5JNa J'|=J 应用案例概述 I
]ZZN6" ,7Hyrx` 系统细节 M=uT8JB eN,9N]K 光源 }rfikm – 绿光二极管 N=<`|I 元件 IUv#nB3 – 双轴振镜扫描仪 oC>J{z – F-Theta物镜 O;<wDh)Yt 探测器 +|obU9M – 场曲和畸变探测器 =;uMrb4 – 光束强度剖面探测器 /"?DOsJ. – 焦点区域探测器 b/:wpy+9Z – 光束参数探测器 }^Q:Q\ 模拟/设计 (b f
IS – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 bp:`m>4< – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 D/."0 #q j9[I6ko5' 系统说明 dE_Xd:> t!qLgJ5%y :IS?si5| 激光扫描系统的性能评估 *7h~0%WR /_qq(,3 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 l5Bm.H_ 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 M.mn9kw` y ;[~(Yg[ 模拟和设计结果 9hIKx:XCg .<`)`:n+B Z\CvaX 其他的VirtualLab特征 Deh3Dtg/k baII!ks 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: |z=`Ur@) 各种探测器 /#Aw7F$Ey - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 (46'#E z[F - 测量探测器平面上的光束位置 Qi`3$<W> - 使用焦点区域探测器计算焦点区域中的场 /Pg)7Zn 参数耦合 0AQ4:KV(Y - 针对扫描光学部分的期望输入扫描角度Theta来调整反射镜方位 xOe1v9< 参数运行 hD
~/ywS& - 估计扫描场尺寸 xO )c23Z)] - 生成场曲和畸变图 O0#[hY, v zg^tJ 总结 2 L4[~> N ^rpPq VirtualLab可以 p<r<Y% 模拟一个由双轴扫描反射镜和一个F-Theta物镜构成的激光扫描系统 hc|A:v)] 分析目标平面上的光束偏转 k-|g - 通过光线追迹来计算扫描场尺寸,场曲和畸变 Qjj }k) - 通过几何场追迹来计算光束剖面 c6xr[tc% - 场追迹可以更准确地分析光束位置和焦点 (WT\HR 应用案例详述 ;]-08lzO<4 aA|{r/.10K 系统参数 OCx'cSs-= ;\0|1Eem` 应用案例内容 HqWWWCWal LSC.0001和LSC.0002为激光扫描系统。 );.$`0 在这个案例中,通过模拟扫描过程来分析F-Theta物镜的场区和畸变。 a 20w.6F 相对于LSC.0001,显示了性能提高。 .Od:#(aq 强烈建议首先阅读LSC.0001。 PuP"(
M 71nZi`AR file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd utZI'5i }gv'r
"; 模拟任务 ^@V*:n^ C|&tdh :g 连续激光模 #EzhtuHxn 'r!!W0-K 规格:输入激光光束 s5@BVD'}E MF"*xr v 激光组件中的单模二极管激光器 +yO) 3 q0+N#$g# 规格:电流反射镜定位系统 s=jmvvs_V} CB#2XS>V
:g|.x 典型双轴振镜扫描仪 6-wpR 'bl9fO4v ;I*t5{ 规格:F-Theta物镜概述 1!1JT;gG^9 jv~#'=T' ExO#V9DaW 规格:F-Theta对象透镜参数 m-O*t$6 t`JT PL=v,NB aftt^h ,5c7jZ5H d8:
$ll .\a+m 来自目录Schott_2014 rB+ ( _K9PA[m5~ 详述应用案例 Hi[lN7ma8 6Mc&=}bV 光线追迹模拟和结果 IMD^(k 2 6h/!,j0:t_ 定位双轴振镜扫描仪 D/=05E%[81 P[ o"%NZ'
C,W@C e2=}qE7 双轴反射镜由两个分离的镜子组成。 {O _X/y~ 第一镜将目标光束偏转到x方向,而光束沿第二个镜子的旋转轴偏转。 k H65k ( 第二反射镜将目标光束偏转到y方向。 -4QZ/ * 在VirtualLab中关于反射镜的设置可以在LSC.0001中找到。 co\?SgE35 file used: LSC.0002_LaserScanning_F-ThetaObjective_01_RayTracing.lpd Mt4]\pMUb h{mzYy}b 评价扫描场尺寸 <.Tllk@r) my sXgS& |