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激光扫描系统(LSC.0002 v1.0) 59 Y=VS %TgM-F,8 应用案例概述 qJj5J;k )~(_[=' 系统细节 ix`x dVj` o]U== 光源 ev
>9P – 绿光二极管 9`&D 元件 \YS\*'F – 双轴振镜扫描仪 oX,M;;Yq – F-Theta物镜 q%9oGYjvQ 探测器 gHshG;z* – 场曲和畸变探测器 ) &-E@% \ – 光束强度剖面探测器 miSC'! – 焦点区域探测器 Njje g9 f – 光束参数探测器 )wd~639U 模拟/设计 Q.\ovk~,a – 光线追迹:分析扫描场尺寸,场曲以及畸变 <~w#sIh – 场追迹:考虑衍射效应,进行更精确的光束尺寸和剖面的研究 blv6 ]:fHvx_?`7 系统说明 DI[Ee? 9t1_"{'N1 xpwzz O*U 激光扫描系统的性能评估 kw'D2692 iSlVe~ef 一个激光扫描系统的扫描光学部分包含了一个扫描仪单元和一个F-Theta物镜,在一维扫描过程中(沿入射角Theta),通过分析光束的场曲和畸变来评估其性能。 UxtZBNn8 此外,计算了不同扫描位置处的光束尺寸和轮廓。 ERjf.7)d # 95/,k 模拟和设计结果 qW^l2Jff hd-ds~ve a\E]ueVD2j 其他的VirtualLab特征 jN0v<_PJED t:7jlD!d 在此案例中,你将从以下选择的特征中获益: lc7]=,qyF 各种探测器 5H5Kt9DoW - 测量与反射镜扫描角度相关的焦点位置 & |