切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 先进光刻机曝光系统光学设计 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 2053阅读
    • 0回复

    [技术]设计和优化衍射扩散器生成2D光模式 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7377
    光币
    31026
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-08
    此应用案例演示了通过使用一个位图文件来设计一个衍射光学元件（DOE）以用于光扩散器来生成一个光图案。 \mt0mv;c  
    XG5mfKMt+  
    1.建模任务 %rz.>4i)(  
    YdI|xu>0A^  
    !50Fue^JM  
    2.照明光束参数 ZW}0{8Dk  
    *lN>RWbM%  
     %h ?c  
     LWb5C{  
    <tEN1i  
    波长：532nm D/CSR=b  
    激光光束直径（1/e2）：500um crJyk#_  
     6 ]@H.8+  
    3.期望输出场参数 Ny;(1N|&3  
    H1,;Xrm  
     :VPZGzK4  
    B6gSt3w.  
     位图文件：DO.003_Diffuser_for_2D_Light_Mark_01.BMP     r lalr+Rf  
     图样直径：40mm X 40mm [Ng#/QXk{  
     效率：>60% g`jO  
     杂散光：≤10% RNyw`>  
     分辨率：200um X 200um O)'Bx=S4Ke  
    ,H3~mq]  
    4.设计和优化方法 =<.8  
     VirtualLab提供了不同的设计和优化方法。 c}II"P  
     对于此案例，应用了迭代傅里叶变换算法（IFTA）来设计和优化期望的衍射光学元件（DOE）。 7P`|wNq  
    )g9&fGYf  
    5.设计扩散器 A|#9  
     Q'] _3  
    点击Start→Diffractive Optics→Pattern Generating Diffuser进入扩散器设计起始界面。 _|x b)_  
    ;}b.gpG  
    ZGHkW9b&  
    blcd]7nK  
    A0SEzX({[  
    6.设置输入光束参数 M@rknq@  
     \N\Jny  
    选择腰束和发散角的定义方式为1/e2 Waist Diameter ,Divergence Full Angle [s-Km/  
    .17WF\1HC.  
    7.设置输入光束波长为532nm，腰束直径为500um。 .kSx>3  
    ZM/*cA!"  
     ocCC63J  
    s[ |sfqB1`  
    8.光学系统设置：选择1f光学系统，f=250mm e9;<9uX  
    !M&L<0b:7e  
    6,sZo!G  
    W'2|hP  
     (^'TT>2B  
    +B$ o8V  
    9.期望输出场参数设置 '~{^c}  
    `}ak;^Me  
    ve2GRTO^aC  
    >-YPCW  
    ?b0VB  
    你可以 Kd8V,teH  
     使用辅助会话编辑器来设置光学系统并且配置优化和设计文档 =j]us?5  
     或手动进行所有设计（更高级的）。 l BS!=/7  
    Ycypd\q/  
    同样地，你可以看到会话编辑器页面，由位图文件指定设计目标图样（DTP）。 1;<J] S$$  
    ID" '`DKxe  
     C`c;I7  
    $v?+X20  
    10. 指定参数过程中的提示信息 UH1AT#?!W  
    TTaSg\K  
     'f9 fw^  
    cg$@x\fJ  
    |ahleu  
     创建指定光图样的期望光学分辨率。 6R V]9  
     考虑到入射光为相干光，光图案由一系列散斑组成。为了清楚地解析光图案，散斑应小于光图案最小的细节。 0x!XE|7I  
     期望的分辨率是用于控制散斑直径。 ]%jlaXb  
     7u]0dHj  
    11.警告 8;YeEW 5  
    B5>h@p-UV  
    $E@L{5Yt  
    /T`L;YE  
    nj99!"_   
    有以下情况，将会出现红色警告消息： ((wG K|d  
     期望的分辨率无法由指定的光学系统实现。 jy`jxOoG~Z  
     光学系统将创建离散点，而不是散斑图。 TSXa#SKp  
     不是所有的期望光图样细节都可以由光学系统或指定的分辨率解析。 e0%?;w-TL  
    vh3Xd\N  
    单击Optimize Resolution按钮，以帮助调整系统参数。 keNPlK%>  
    Qhb].V{utV  
    12.参数改变帮助界面     /Fej)WQp  
    O7|0t\)  
    '+ 1<7jl&I  
    Z,/BPK<e  
    deSrs:.  
     通过这个工具，VirtualLab Fusion提供特定的参数调整选项来实现一个最佳的激光光束直径比和分辨率。 3+_? /}<  
     用户在这里可以选择需要调整的参数。可以在焦距、输入激光光束直径和分辨率（Focal Length, Input Laser Beam Diameter and Resolution）中选择其一。 2'_xg~  
     %;kr%%t%  
    13.其他设置 1TbY,3W  
    WJBi#(SY  
     jPg8>Z&D  
    输出场直径设置（自动设置或者手动设置） <d~P;R(@  
    *(@(9]B~  
     [{e[3b*M|  
    选择相应的优化函数 !0:uM)_k  
    9,=3D2x&  
     I#QBJ#  
    衍射光学元件孔径参数设置（自动或手动） k`Nc<nN8  
    WUx}+3eWv  
     _?&$@c  
    衍射光学元件相位阶次设置（4阶） 'L)@tkklp  
    dABmK;  
     So?SBh1C  
    衍射光学元件最小像素尺寸设置 X=)Ue  
     @mBZu!,  
    14. 预设IFTA优化文档：设计 mh;<lW\K/Z  
    ;rWgt!l  
    4VINu9\V  
    Iih~W&  
    @'`!2[2'?  
     完成辅助会话编辑器设置之后，基于迭代傅里叶变换算法（IFTA）弹出一个预设计和优化文档。 }N^.4HOS8  
     设计（Design）页面允许指定每个优化步骤的迭代次数。 >oi`%V  
     点击Start Design按钮开始优化设计。 =zBcfFii`w  
     如果没有进一步改善，SNR Optimization for Quantized Transmission（量化透过率的信噪比优化）步骤将自动停止。 8<ZxE(v  
     x'_I{$C &  
    15.扩散器优化 ;$Q `JN=  
    T X.YTU  
    BYuF$[3ya&  
     Xwy0dXko  
     为了检查设计扩散器透过率函数，优化之后，点击Show按钮。 V8ka*VJ(B  
    |f1 S&b.  
    16.优化的传输 YL \d2  
    U<J4\|1?7'  
     j|"#S4IX)F  
    OcQ>01Q  
    NXsDn&&O  
     对于phase-only透过率函数，必须通过查看相位来观察设计。 DdDO.@-Z  
     由于衍射扩散器的优化始于随机相位，不同的优化会生成不同的透过率相位函数。 >2l1t}"\  
     }eh<F^  
    P F#+G;q;  
    17.扩散器分析：优化函数 O@r%G0Jge  
    x!GHUz*:uz  
    W1S7%6y_1  
    wYy=Tl-N  
     分析（Analysis）页面允许计算最后的价值函数。 x`K<z J   
    O?e38(  
     S~L$sqt  
    -(9>{!",J  
    18.扩散器系统分析 - &u]B$  
    mne4uW  
    7/QQ&7+NkS  
    N9hs<b+N_  
    进行模拟     6Mu_9UAl`  
    RGFanP  
    KDr?<"2L  
    nNJU@<|{*  
    F#_JcEE  
    19.设计和模拟结果 UFBggT\  
    ^=:e9i3u  
    21'I-j  
         L+,p#w  
    [4 L[.N@  
    20.结论 |O3wAxc3W  
     VirtualLab Fusion提供易于使用的工具来设计和优化衍射光扩散器元件来生成规律和任意光图样。 ! J`>;&  
     辅助设计步骤能够让无经验的设计者顺利的完成衍射元件的设计。 As0E'n85  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表