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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 oMawIND a  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D]S@U>]M!  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9>\P]:  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q{5wx8_U  
    GoP,_sd\O  
    2. 系统 +dw$IMwb  
    RO+B/)~0<  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    zZ &L#  
    3. 透镜系统组件编辑 OvqCuX  
    -B-?z?+(O  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 REUWK#>  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ifTMoC%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i_Dv+^&zV  
    包括序列光学表面和光学介质。 r|wB& PGW  
    Ca?5bCI,  
    wegu1Ny  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 2A7g}V  
    >Ig%|4Hw  
    C` ?6`$Y  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 dznHR6x  
    可以选择选取光线的方法: 47>IT  
    — 在x-y-网格 mX3~rK>@~  
    — 六边形 M3c!SXx\  
    — 自由选取 F(c~D0  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    V9[-# Ti  
    <3C~<  
    5. 系统的3维视图 Pw i6Ly`  
    {j i;~9'Q  
    hfT HP  
    6. 其他系统参数 D%GB2-j R  
    系统由单色平面波照明 ivg:`$a[  
    照明波长266.08nm m99j]w r~c  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7hwl[knyB  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7OY<*ny  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 >Pne@w!*  
    光束尺寸探测器置于焦平面 /z:pid,_0  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b* Ny  
    K dY3  
    &~VWh}=r  
    2<HG=iSf  
    S-V)!6\cK  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 qOy3D~  
    rI34K~ P  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    1cPm $=B  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ^%l~|w  
    R\k= CoJJ  
    8:^`rw4a0  
    Q WVH4rg  
    "^E/N},%u5  
    ?mKj+ Bk2  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w#.Tp-AZ;\  
    E +\?|q !T  
    4a3Xz,[(a  
    VirtualLab可用于计算点列图。 B;Pws$J  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #U45H.Rz  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q- ( [3%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 F7$x5h@  
    N2:};a[ui5  
    9. 焦平面上的结果 YI05?J}  
    YT7,=k_  
    Sh'>5z2  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C@+"d3  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <[{Ty+  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 6&/H XqP  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 sVP[7&vr~  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    <L|eY(:  
    Wy^43g38'p  
    10. 总结 S~jl%]  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :&D>?{b0  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,Q|[Yr  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;#c|ZnX  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 L B`=+FD  
     
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