1. 描述 oMawINDa ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 D]S@U>]M! ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 9>\P]: ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 q{5wx8_U
GoP,_sd\O 2. 系统 +dw$IMwb RO+B/)~0< 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
zZ&L# 3. 透镜系统组件编辑 OvqCuX
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 REUWK#>
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ifTMoC%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i_Dv+^&zV
■ 包括序列光学表面和光学介质。 r|wB&
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Ca?5bCI, wegu1Ny 4. 光线追迹系统分析器-选项 2A7g}V >Ig%|4Hw C` ?6`$Y
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 dznHR6x
■ 可以选择选取光线的方法: 47>IT
— 在x-y-网格 mX3~rK>@~
— 六边形 M3c!SXx\
— 自由选取 F(c~D0
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 V9[-# Ti <3C~< 5. 系统的3维视图 Pw
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i;~9'Q
hfT HP 6. 其他系统参数 D%GB2-j R ■ 系统由单色平面波照明 ivg:`$a[ ■ 照明波长266.08nm m99j]wr~c ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7hwl[knyB — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 7OY<*ny — 一个虚拟屏位于焦平面 >Pne@w!* — 光束尺寸探测器置于焦平面 /z:pid,_0 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 b*Ny KdY3
&~VWh}=r 2<HG=iSf S-V)!6\cK 7. 光线追迹系统分析器的结果 qOy3D~ rI34K~ P 光线经过整个光学系统的三维视图
1cPm $=B 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
^%l~|w R\k=
CoJJ 8:^`rw4a0 QWVH4rg "^E/N},%u5 ?mKj+Bk2 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w#.Tp-AZ;\ E +\?|q !T 4a3Xz,[(a
■ VirtualLab可用于计算点列图。 B;Pws$J
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 #U45H.Rz
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Q-([3%
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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N2:};a[ui5 9. 焦平面上的结果 YI05?J}
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 C@+"d3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <[{Ty+
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 6&/H
XqP
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 sVP[7&vr~
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <L|eY(: Wy^43g38'p 10. 总结 S~jl%] ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 :&D>?{b0 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ,Q|[Yr ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ;#c|ZnX ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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