1. 描述 {?y<%@ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 N"K\ick6J ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8UYJye8 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4a?r` '
T(gg>_'jh 2. 系统 $Ba`VGP>)3 (s;zRb!4L 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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[G 3. 透镜系统组件编辑 I^@.Awt
~Zu}M>-^c,
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 FTbtAlqh<
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 0NrTJ R`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 k5C>_(
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 /xJY7yF
x.o3iN[= }`#Bf 4. 光线追迹系统分析器-选项 ,.h$&QFj; {RH*8?7 C-r."L
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @| P3
■ 可以选择选取光线的方法: 4[Z1r~t\L
— 在x-y-网格 8| Sba<d
— 六边形 &%}bRPUl
— 自由选取 ^h`!f vyH
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Y6+k9$h sb 8dc 5. 系统的3维视图 M{G$Pk8[ dbg|VoNf
rrYp'L 6. 其他系统参数 O4n8MM|` ■ 系统由单色平面波照明 bIq-1
Y( ■ 照明波长266.08nm ;*_I,|A:Xr ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "AV1..mu — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +H[Q~P8'[ — 一个虚拟屏位于焦平面 WVinP(#nfM — 光束尺寸探测器置于焦平面 I>\}}! ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tjt=N\; "\}21B~{7' 0:s8o@} rpx0|{m G;Us-IRZ 7. 光线追迹系统分析器的结果 q;IhLBl' J tThkh'-" 光线经过整个光学系统的三维视图
,b.kw}k 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
py}.00it {7/ A zV6AuUIt C5BzWgK MM=W9# B#;s(O 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VyRW ' (R,NV3m?w 3KDu!w@
■ VirtualLab可用于计算点列图。 _!|=AIX
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "9TxK6
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 F]hx
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
W<Bxm|
9@kcK 9. 焦平面上的结果 *;>V2!N=U
3we.*\2$
uPM8GIvZX.
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Ym3
"
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e?_c[`sg
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm .LWOM8)
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 F+lm [4n
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 V]+o)A$ tU8g(ep,o 10. 总结 {vf+sf^^q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 eUzU]6h ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f0:EQYYZ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K<Yn_G ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
~ra#UG\Y8