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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 {?y<%@  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 N"K\ick6J  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 8UYJye8  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 4a?r` '  
    T(gg>_'jh  
    2. 系统 $Ba`VGP>)3  
    (s ;zRb!4L  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    4M7^ [G  
    3. 透镜系统组件编辑 I^@.Aw t  
    ~Zu}M>-^c,  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 FTbtAlqh<  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 0NrTJ R`  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 k5C>_( A  
    包括序列光学表面和光学介质。 /xJY7yF  
    x.o3iN[=  
    }`#B f  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ,.h$&QFj;  
    {RH*8?7  
    C-&#r."L  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 @| P3  
    可以选择选取光线的方法: 4[Z1r~t\L  
    — 在x-y-网格 8| Sba<d  
    — 六边形 &%}bRPUl  
    — 自由选取 ^h`!f vyH  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    Y6+k9$h  
    sb 8dc  
    5. 系统的3维视图 M{G$Pk8[  
    dbg|V oNf  
    rrYp'L  
    6. 其他系统参数 O4n8MM|`  
    系统由单色平面波照明 bIq-1 Y(  
    照明波长266.08nm ;*_I,|A:Xr  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: "AV1..mu  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 +H[Q~P8'[  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 WVinP(#nfM  
    光束尺寸探测器置于焦平面 I>\}}!  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tjt=N\;  
    "\}21B~{7'  
    0:s8o@}  
    rpx 0|{m  
    G;Us-IRZ  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 q;IhLBl'  
    JtThkh'-"  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,b.kw}k  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    py}.00it  
    {7/A  
    zV6AuUIt  
    C5BzWgK  
    MM=W9#  
    B #;s(O  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 VyRW'  
    (R,NV3m?w  
    3KDu!w@  
    VirtualLab可用于计算点列图。 _!| =AIX  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 "9TxK6  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 F]hx  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 W<Bxm|  
    9@kc K  
    9. 焦平面上的结果 *;>V2!N=U  
    3we.*\2$  
    uPM8GIvZX.  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 Ym3 "  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 e?_c[`sg  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm .LWOM8)  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 F+lm[4n  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    V]+o)A$  
    tU8g(ep,o  
    10. 总结 {vf+sf ^^q  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 eUzU]6h  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 f0:EQYYZ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 K<Yn_G  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ~ra#UG\Y8  
     
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