1. 描述 /_{-~0Z=@B ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y3@+aA ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F:zmO5L5 ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }B%9cc
b+Q{Z* 2. 系统 9KK^1<46c D#nH g 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
6 ;'s9s" 3. 透镜系统组件编辑 'IU3Xu[-.
uQG|r)
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 r'noB<|e
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 fb Bu^]^S
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w,hm_aDq
■ 包括序列光学表面和光学介质。 $H*8H`
@@ j\OR 0MpW!|E[b 4. 光线追迹系统分析器-选项 &n*ga$Q (~Z&U E"}%$=yK
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "%K'~"S#Q,
■ 可以选择选取光线的方法: Az8b_:=
— 在x-y-网格 N_G&nw
— 六边形 n)N!6u
— 自由选取 #ChTel
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 +wG
*qI t!4 (a0\$F 5. 系统的3维视图 5]mH.{$x$? rvx2{1}I a|TUH+| 6. 其他系统参数 5NkF_&S_1 ■ 系统由单色平面波照明 #0)TS ■ 照明波长266.08nm P|1 D6 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: vEjf|-Mb9 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 shGUG; — 一个虚拟屏位于焦平面 uv5NqL& — 光束尺寸探测器置于焦平面 RJ'za1@z;b ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?Kmz urG YS4"TOFw yl*%P3m| zM8 jjB !C4)P3k 7. 光线追迹系统分析器的结果 Sc3{Y+g K}q5,P( 光线经过整个光学系统的三维视图
EqHToD I3 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
C-_u`|jQ "4KyJ;RA* Rhlm &'neOf/~ ZHwl 9n#m <bn|ni|c" 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qi^kf b L.Xby<Y 0(C[][a*u
■ VirtualLab可用于计算点列图。 '?90e4x3/
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
w@mCQ$
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )-XD=
]
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2/ )~$0
>;G7ty[RX7 9. 焦平面上的结果 j0F&
W Kk
J;V#a=I
P;7[5HFF
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g\+!+!"~
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >!PM5%G
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm qU&v50n
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 <%4pvn8d?&
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $v8T%'p+ )-6>!6hZ 10. 总结 ,LOx! ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V1i^#; ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?!tO'}? ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /^i_tLgb ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 EnMc9FN(y