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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 /_{-~0Z=@B  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 Y3@+aA  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 F:zmO5L5  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 }B%9cc  
    b+Q{Z*  
    2. 系统 9KK^1<46c  
    D#nHg  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    6 ;'s9s"  
    3. 透镜系统组件编辑 'IU3Xu[-.  
    uQG|r)  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 r'noB<| e  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 fb Bu^]^S  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 w,hm_aDq  
    包括序列光学表面和光学介质。  $H*8H`  
    @@ j\OR  
    0MpW!|E  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 & n*ga$Q  
    (~Z&U  
    E"}%$=yK  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "%K'~"S#Q,  
    可以选择选取光线的方法: Az8b_:=  
    — 在x-y-网格 N_G&nw  
    — 六边形 n)N!6u  
    — 自由选取 #ChTel  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    +wG *qI  
    t!4 (a0\$F  
    5. 系统的3维视图 5]mH.{$x$?  
    rvx2{1}I  
    a|TUH+|  
    6. 其他系统参数 5NkF_&S_1  
    系统由单色平面波照明 #0) TS  
    照明波长266.08nm P|1  D6  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: vEjf|-Mb9  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 shGUG;  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 uv5NqL&  
    光束尺寸探测器置于焦平面 RJ'za1@z;b  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 ?Kmz urG  
    YS4"TOFw  
    yl*%P3m|  
    zM8 jjB  
    !C4)P3k  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Sc3{Y+g  
    K}q5,P(  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    EqHToD I3  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    C-_u`|jQ  
    "4KyJ;RA*  
    Rhlm  
    &'neOf/~  
    ZHwl9n#m  
    <bn|ni|c"  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 qi^kf  
    b L.Xb y<Y  
    0(C[][a*u  
    VirtualLab可用于计算点列图。 '?90e4x3/  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。  w@mCQ$  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )-XD= ]  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 2/ )~$0  
    >;G7ty[RX7  
    9. 焦平面上的结果 j0F& WKk  
    J;V#a=I  
    P;7[5HFF  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 g \+!+!"~  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 >!PM5%G  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm qU&v50n  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 <%4pvn8d?&  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    $v8T%'p+  
    )-6>!6hZ  
    10. 总结 ,LOx!  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 V1i^#;  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ?!tO'}?  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 /^i_tLgb  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 EnMc9FN(y  
     
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