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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 #,97 ]  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @/:7G.  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u /DE  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9JX@c k  
    [lVfhXc&  
    2. 系统 !%$,S=_F  
    ?\(qA+iP0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    g4YlG"O[~  
    3. 透镜系统组件编辑 ;$e)r3r`LV  
    LbYIRX  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。  \m+=|  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 wLb:FB2  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wmIe x  
    包括序列光学表面和光学介质。 f=VlO d  
    g-B{K "z  
    .lM]>y)  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 JYmYX-  
    l)~ U8  
    bfm+!9=9S  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Ryh 0r  
    可以选择选取光线的方法: hc3tzB  
    — 在x-y-网格 R eb.x_  
    — 六边形 '[HQ}Wvn  
    — 自由选取 TU58  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    `M{Ne:J  
    u;!h   
    5. 系统的3维视图 d{t@+}0.u  
    ]9)iBvQlj  
    6 eu7&Kj'  
    6. 其他系统参数 JtsXMZz  
    系统由单色平面波照明 >)G[ww[  
    照明波长266.08nm "A&A?%  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7Z~JuTIZ  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 V5i}^%QSs  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 5f?GSHA}  
    光束尺寸探测器置于焦平面 fA]sPh4Uag  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '/t9#I@G\  
    aXG|IN5 *m  
    L N.:>,  
    zi_$roq=)  
    w 4CcdpR  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Nnr[@^M5  
    f~PS'I_r  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    4nP4F +  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Q4L=]qc T  
    mqHH1}  
    jDTG15_=  
    IVZUB*wv)b  
    %3"3V1  
    K*2s-,b *  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8_G6X\q};  
    Mis B&Ok`k  
    3e47UquZ  
    VirtualLab可用于计算点列图。 9I2&Vx=DSt  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 rXT?w]4  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %&VI-7+K  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m@+QC$6S  
    ::'Y07  
    9. 焦平面上的结果 @ S[As~9X  
    7l/lY-zO  
    <#57q%  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r&B0 -7r  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b_6cK#  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm &A.0(s  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 bZ:+q1 D  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    P0(LdZH6u  
    Y?7GFkIP$  
    10. 总结 K(PSGlI f  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 m;hp1VO)  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4)k-gKS*  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Zi7cp6~7  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MBw;+'93qf  
     
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