1. 描述 # ,97 ] ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @/:7G. ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u /DE ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 9JX@ck
[lVfhXc& 2. 系统 !%$,S=_F ?\(qA+iP0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
g4YlG"O[~ 3. 透镜系统组件编辑 ;$e)r3r`LV
LbYIRX
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 \m+=|
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 wLb:FB2
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 wm Ie x
■ 包括序列光学表面和光学介质。 f=VlO d
g-B{K "z .lM]>y) 4. 光线追迹系统分析器-选项 JYmYX- l)~U8 bfm+!9=9S
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 Ryh 0r
■ 可以选择选取光线的方法: hc3tzB
— 在x-y-网格 R
eb.x_
— 六边形 '[HQ}Wvn
— 自由选取 TU58
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 `M{Ne:J u;!h 5. 系统的3维视图 d{t@+}0.u ]9)iBvQlj 6 eu7&Kj' 6. 其他系统参数 JtsXMZz ■ 系统由单色平面波照明 >)G[ww[ ■ 照明波长266.08nm "A&A?% ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 7Z~JuTIZ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 V5i}^%QSs — 一个虚拟屏位于焦平面 5f?GSHA} — 光束尺寸探测器置于焦平面 fA]sPh4Uag ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 '/t9#I@G\ aXG|IN5 *m L N.:>, zi_$roq=) w4CcdpR 7. 光线追迹系统分析器的结果 Nnr[@^M5 f~PS'I_r 光线经过整个光学系统的三维视图
4nP4F+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Q4L=]qc T mqHH1} jDTG15_= IVZUB*wv)b %3"3V1 K*2s-,b * 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 8_G6X\q}; Mis B&Ok`k 3e47UquZ
■ VirtualLab可用于计算点列图。 9I2&Vx=DSt
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 rXT? w]4
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 %&VI-7+K
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 m@+QC$6S
::'Y07 9. 焦平面上的结果 @ S[As~9X
7l/lY-zO
<#57q%
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 r&B0-7r
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 b_6cK#
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm &A.0(s
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 bZ:+q1
D
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 P0(LdZH6u Y?7GFkIP$ 10. 总结 K(PSGlI f ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 m;hp1VO) ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 4)k-gKS* ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Zi7cp6~7 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 MBw;+'93qf