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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 5|H?L@_9  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 t'[vN~I'  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 #2u-L~n  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s'/.ea V_  
    CsuSg*#X+  
    2. 系统 [~jh Ov^  
    #yU4X\oO  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    uOougSBV,  
    3. 透镜系统组件编辑 X}p4yR7'  
    @?gH3Y_  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 `o:)PTQNg  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 z|pH>R?:  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 u6B (f;  
    包括序列光学表面和光学介质。 0*tEuJ7  
    ~r>WnI:vg  
    (<8T*Xo  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 4H\O&pSS  
    -B`;Sx  
    xnh%nv<v{  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 *23  
    可以选择选取光线的方法: #!, xjd  
    — 在x-y-网格 ?(g kk YI  
    — 六边形 !)LR41>?  
    — 自由选取 {P = {)  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    <v5toyA  
    J'B;  
    5. 系统的3维视图 2<B+ID3qv  
    <GoE2a4Va  
    c/g(=F__[  
    6. 其他系统参数 -$T5@  
    系统由单色平面波照明 =Oo*7|Z  
    照明波长266.08nm A= ,q&  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: !gT6S o  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 tQwbIX-7/  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ~zRW*pd  
    光束尺寸探测器置于焦平面 [r]USCq  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 2etlR  
    FWD9!M K  
    \Dt0 } ?;k  
    SM^6+L"BE  
    4Y-9W2s  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9k83wACry  
    A:p0p^*  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    5[Q44$a{  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ]k,fEn(  
    Y-,#3%bT;;  
    yGN<.IP75  
    c)Y I3G$  
    y ruN5  
    g5T~%t5lo  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 w$& 10  
    Y %<B,3  
    !Noabt  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ^ro?.,c T  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 D/{-  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 y:v0& 9L  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 "M? (Ax  
    3w^q0/ GD  
    9. 焦平面上的结果 MJ7!f+!5  
    =B?uNoe  
    ;>CmVC'/  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 }>h?W1  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !CsoTW9C:  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm Duz}e80  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 !_c<j4O  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    _`;6'}]s  
    IAtc^'l#  
    10. 总结 A\:=p  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 9OTw6  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ky$ <WZs  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 9VP|a-  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 #G]s.by('  
     
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