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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 [G a~%m  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 co/7lsW  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 }w@gj"\H  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 h4Ia>^@  
    W}h|K:-S  
    2. 系统 >\Z R*CS  
    ET)>#zp+s  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    pW{8R^vKm  
    3. 透镜系统组件编辑 ,d|vP)SS  
    g]|_ `  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 < A?<N?%o  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 _UkmYZ/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 o 7G> y#Y  
    包括序列光学表面和光学介质。 cOkgoL" 4  
    /BpxKh2p  
    Zn&k[?;Al  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 m"4B!S&Fc(  
    Zhzy.u/>  
    S$e Dnw~$  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "!H@k%eAM|  
    可以选择选取光线的方法: F}U5d^!2  
    — 在x-y-网格 A62<]R)n  
    — 六边形  ]>Si0%  
    — 自由选取 ''S&e  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    5h8o4  
    Z)&D`RCf  
    5. 系统的3维视图 /APcL5:=  
    `tE^jqrke5  
    '# z]M  
    6. 其他系统参数 %M&3VQ9w  
    系统由单色平面波照明 $%PVJs  
    照明波长266.08nm Km3&N  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ([ dT!B#aH  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 vG Vd  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 F Z!J  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Ftv8@l  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 q* !3C  
    H9` f0(H  
    9s`/~ a@  
    alm- r-Kb3  
    * OsU Y=;  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 '<@=vGsye  
    &Y7C0v  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    *7" L]6  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    B9X8  
    S #8 >ZwQ  
    {J]-<:XD  
    [f!O6moR6  
    {8@\Ij  
    G> \T bx  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 )%Ru#}1X6  
    x*}bo))hb  
    lKKERO5+  
    VirtualLab可用于计算点列图。 |}[nH>  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 4v dNMV~  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 dDtFx2(R  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 pCU*@c!  
    SwH2$:f  
    9. 焦平面上的结果 ]Kde t"+  
    Vq ^]s $'  
    rt4Z;  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 lBA+zZ  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 9z ?7{2C  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm T_#, A0G  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 f h<*8w0H  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    >dQK.CG  
    4MW ]EQ-  
    10. 总结 PRs@zkO  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 Zzj0\? Ul  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Tby,J B^U  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 UQT'6* !  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 HIf{Z* mb  
     
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