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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 &|MdBJ  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &UrPb%=2H  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lZ gX{  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tx`gXtO$  
    [/E|n[Bx  
    2. 系统 >L4q>S^v  
    ]"q9~  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    &l M=>?  
    3. 透镜系统组件编辑 kZ5;Fe\*  
    `O,^oD4  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Q%>6u@'  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }B1f_T  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x_L5NsO:  
    包括序列光学表面和光学介质。 ]8 vsr$E#  
    [Z]%jABR  
    y$$|_ l@  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 h8XoF1wuw  
    Z; 6N7U  
    p ; ]Qxh  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }vK8P r%  
    可以选择选取光线的方法: zy'e|92aO  
    — 在x-y-网格 a=_:`S]}  
    — 六边形 6K7DZ96L  
    — 自由选取 LS:^K  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    3kz O VZ  
    I_k/lwBD  
    5. 系统的3维视图 9z#z9|hj)3  
    @oKW$\  
    GHWt3K:*w  
    6. 其他系统参数 W*;r}!ro  
    系统由单色平面波照明 A'6-E{  
    照明波长266.08nm 4$oDq  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: X*w7q7\8-:  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !-HJ%(5:F  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 j82x$I*  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ^#gJf*'UE  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 w<LV5w+  
    */'j[uj  
    N(J'h$E  
    #J'V,_ wH  
    ]xxE_B7  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 PiIP%$72O  
    Og-v][  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    O $ARk+  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    oM^VtH=>  
    l@:&0id4I  
    laRn![[  
    V}h <,E9  
    sK@]|9ciQ  
    ~KYA{^`*  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bx%Ky0Z  
    ujWC!*W(Q  
    SuA  @S  
    VirtualLab可用于计算点列图。 S&F[\4w5]  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y41b8.|P+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]T=o>%  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .I Io   
    V'FKgzd  
    9. 焦平面上的结果 #AH gY.  
    1* ?XI  
    {)I&&fSz  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fQxlYD'peb  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X`C ozyYuD  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ,&iEn}xG7i  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 m KJO?7tj  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    0DaKd<Scv  
    0.wNa~_G|  
    10. 总结 pS "A{k)i  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 W 'PW;.,  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]u.)6{  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5Mp$u756  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 -I:L6ft8  
     
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