1. 描述 &|MdBJ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 &UrPb%=2H ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 lZ gX{ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 tx`gXtO$
[/E|n[Bx 2. 系统 >L4q>S^v ]"q9 ~ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
&lM=>? 3. 透镜系统组件编辑 kZ5;Fe\*
`O,^oD4
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Q%>6u@'
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }B1f_T
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 x_L5NsO:
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ]8 vsr$E#
[Z]%jABR y$$|_
l@ 4. 光线追迹系统分析器-选项 h8XoF1wuw Z; 6N7U p ;]Qxh
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 }vK8P r%
■ 可以选择选取光线的方法: zy'e|92aO
— 在x-y-网格 a=_:`S]}
— 六边形 6K7DZ96L
— 自由选取 LS:^K
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 3kzO
VZ I_k/lwBD 5. 系统的3维视图 9z#z9|hj)3 @oKW$\
GHWt3K:*w 6. 其他系统参数 W*;r}!ro ■ 系统由单色平面波照明 A'6-E{ ■ 照明波长266.08nm 4$oDq ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: X*w7q7\8-: — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 !-HJ%(5:F — 一个虚拟屏位于焦平面 j82x$I* — 光束尺寸探测器置于焦平面 ^#gJf*'UE ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 w<LV5w+ */'j[uj
N(J'h$E #J'V,_wH ]xxE_B7 7. 光线追迹系统分析器的结果 PiIP%$72O Og-v][ 光线经过整个光学系统的三维视图
O$ARk+ 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
oM^VtH=> l@:&0id4I laRn![[ V}h
<,E9 sK@]|9ciQ ~KYA{^`* 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 bx%Ky0Z ujW C!*W(Q SuA
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 S&F[\4w5]
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 Y41b8.|P+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 ]T=o >%
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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V'FKgzd 9. 焦平面上的结果 # AH gY.
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 fQxlYD'peb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 X`C ozyYuD
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ,&iEn}xG7i
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 mKJO?7tj
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 0DaKd<Scv 0.wNa~_G| 10. 总结 pS "A{k)i ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 W'PW;., ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ]u.)6{ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 5Mp$u756 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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