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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 Pt-O1$C[  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -C!m#"PDW  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 iU3PlF[B/o  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1\)lD(J\C  
    pqju@FD *  
    2. 系统 2pP"dX  
    BqdpJIr  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    7m?fv Ky  
    3. 透镜系统组件编辑 CteNJBm  
    Bqb`WX[<`  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4nh0bIN1  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [6/8O  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 j7NOYm5N  
    包括序列光学表面和光学介质。 (<}?}{YX0  
    4-$kc wA  
    D-x*RRkpp  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 a( N;| <  
    C^,J 6;'  
    BJ fBY H,M  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0~W6IGE~  
    可以选择选取光线的方法: :lmimAMt  
    — 在x-y-网格 =5YbK1Q^  
    — 六边形 + [$Td%6  
    — 自由选取 MfKru,LSh  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ;M\Cw.%![  
    -@B6$XWL  
    5. 系统的3维视图 (|3?wX'2U  
    0 wDhX  
    iQLP~Z>,T  
    6. 其他系统参数 cFuQ>xR1  
    系统由单色平面波照明 ")nKFs5  
    照明波长266.08nm PGVP0H+RV  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4\uq$.f-  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Rd5pLrr[0)  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 AgUjC  
    光束尺寸探测器置于焦平面 rL?{+S]&^)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #BZ5Mxzj  
    P4c}@Mq3  
    |It{L0=U  
    Ln/*lLIOb  
    XIl#0-E0X  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 54RexB o  
    [=u@6Y  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    G%h+KTw  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Y$+v "  
    F*N Hy.Y  
    |I|,6*)xg  
    +8GxX$  
    r]wy-GT  
    ?iHcY,  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sAZL,w  
    <xH! Yskc  
    BA T.>  
    VirtualLab可用于计算点列图。 `/WOP`'zM  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H$ :BJ$x@  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n-<`Z NMU  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 U2\k7I  
    $d&7q5[  
    9. 焦平面上的结果 4=& d{.E  
    >km$zfM2-  
    V=Bmpg  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 eQqCRXx  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h_g "F@  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ?3v-ppw%  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 e%0IE X  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    `H^ H#W  
    5D3&6DCH  
    10. 总结 E|6@h8 #  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 'l-VWqR-  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 IQmlmu  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 X6?Gxf,  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 X 3ZKN;  
     
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