1. 描述 Pt-O1$C[ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 -C!m#"PDW ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 iU3PlF[B/o ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 1\)lD(J\C
pqju@FD* 2. 系统 2pP"dX BqdpJIr 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
7m?fvKy 3. 透镜系统组件编辑 CteNJBm
Bqb`WX[<`
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 4nh0bI N1
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [6/8O
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 j7NOYm5N
■ 包括序列光学表面和光学介质。 (<}?}{YX0
4-$kcwA D-x*RRkpp 4. 光线追迹系统分析器-选项 a( N;|< C^,J6;' BJ
fBYH,M
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 0~W6IGE~
■ 可以选择选取光线的方法: :lmimAMt
— 在x-y-网格 =5YbK1Q^
— 六边形 +[$Td%6
— 自由选取 MfKru,LSh
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 ;M\Cw.%![ -@B6 $XWL 5. 系统的3维视图 (|3?wX'2U 0 wDhX
iQLP~Z>,T 6. 其他系统参数 cFuQ>xR1 ■ 系统由单色平面波照明 ")nKFs5 ■ 照明波长266.08nm PGVP0H+RV ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 4\uq$.f- — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Rd5pLrr[0) — 一个虚拟屏位于焦平面 AgUjC — 光束尺寸探测器置于焦平面 rL?{+S]&^) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 #BZ5Mxzj P4c}@Mq3 |It{L0=U Ln/*lLIOb XIl#0-E0X 7. 光线追迹系统分析器的结果 54RexB o [=u@6Y 光线经过整个光学系统的三维视图
G%h+KTw 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Y$+v " F*NHy.Y |I|,6*)xg +8GxX$ r]wy-GT ?iHcY, 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 sAZL,w <xH!
Yskc BAT.>
■ VirtualLab可用于计算点列图。 `/WOP`'zM
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 H$
:BJ$x@
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 n-<`Z NMU
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
U2\k7I
$d&7q5[ 9. 焦平面上的结果 4=& d{.E
>km$zfM2-
V=Bmpg
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 eQqCRXx
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 h_g"F@
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ?3v-ppw%
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 e%0IEX
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 `H^
H#W 5D3&6DCH 10. 总结 E|6@h8# ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 'l-VWqR- ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 I Qmlmu ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 X6?Gxf, ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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