1. 描述 qtjx<`EK> ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 06 an(&a9 ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )TcD-Jr ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7O~hA*Z
A
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wm` 2. 系统 4}t$Lf_ TU1W!=Z 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
[U,hb1Wi3 3. 透镜系统组件编辑 2;7n0LOs}
-sx=1+\nf
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g*WY kv
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 je74As[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nj#kzD[n>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 7g4IAsoD
NftR2 ]4Q~x 4. 光线追迹系统分析器-选项 >CYz6G j }}LjEOvL= cS>xT cj
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 be]Zx`)k
■ 可以选择选取光线的方法: M1eM^m8U
— 在x-y-网格 gMPvzBpP
— 六边形 M
y!;N1
— 自由选取 t;
@T~%
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 'Uo|@tK ,IPryI 5. 系统的3维视图 {tuGkRY2~ 7-}/{o*,5 p[%B#(]9, 6. 其他系统参数 }0Fu ■ 系统由单色平面波照明 -yMD9b ■ 照明波长266.08nm ]x@36Ok)A ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yW;]J87* — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 } DjbVYH — 一个虚拟屏位于焦平面 Lw6}bB`} — 光束尺寸探测器置于焦平面 8Ib5 ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "4CO^ B r#c+{yY m, SWG[~ {'o\#4Wk Vah.tOU 7. 光线追迹系统分析器的结果 \O\veB8 mSp;(oQ 光线经过整个光学系统的三维视图
qbo
W<W<H1 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
,Z(J; ~ %`j2?rn (y?`|=G-xT vl5r~F 8cbgP$X 41o~5:& 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lsOZ%p%fV b$}@0 +|Mi lwr
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $u{ 8wF/)
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A
w)P%r
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 74a>}+"
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 'Inqa;TQz
7;NvR4P% 9. 焦平面上的结果 L)_L#]Yy
Q46sPMH+_
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K}j[D
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 z.*=3
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 XD|vB+j\O
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ~'/_q4
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 _pR7sNe V
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 <9Pf]
G= G `JXi/#` 10. 总结 k&3'[&$I*, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \Zo
xJ& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 i)+2?<] ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l}mzCIw% ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eX9H/&g