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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 qtjx<`EK>  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 06 an(& a9  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )TcD-Jr  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 7O~hA*Z  
    A |P wm`  
    2. 系统 4}t$Lf_  
    TU1W!=Z  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    [U,hb1Wi3  
    3. 透镜系统组件编辑 2;7n0LOs}  
    -sx=1+\nf  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 g*WY kv  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 je74As[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 nj#kzD[n>  
    包括序列光学表面和光学介质。 7g4IAsoD  
    NftR2  
    ]4Q~x  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 >CYz6G j  
    }}LjEOvL=  
    cS>xT cj  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 be]Zx`)k  
    可以选择选取光线的方法: M1eM^m8U  
    — 在x-y-网格 gMPvzBpP  
    — 六边形 M y!;N1  
    — 自由选取 t; @T~%  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    ' Uo|@tK  
    ,IPryI   
    5. 系统的3维视图 {tuGkRY2 ~  
    7-}/{o*,5  
    p[%B#(]9,  
    6. 其他系统参数 }0 Fu  
    系统由单色平面波照明 -yMD9b  
    照明波长266.08nm ]x@36Ok)A  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: yW;]J8 7*  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 } DjbVYH  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 Lw6}b B`}  
    光束尺寸探测器置于焦平面 8Ib5  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 "4CO^ B  
    r#c+{yY  
    m,SWG[~  
    {'o\#4 Wk  
    Vah.tOU  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \O\veB8  
    mSp;(oQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qbo W<W<H1  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    ,Z(J;~  
    %`j2?rn  
    (y?`|=G-xT  
    vl5r~F  
    8cbgP$X  
    41o ~5:&  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 lsOZ%p%fV  
    b$}@0  
    +|Mi lwr  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $u{ 8wF/)  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 A w)P%r  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 74a>}+"  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 'In qa;TQz  
    7;NvR4P%  
    9. 焦平面上的结果 L)_L#]Yy  
    Q46sPMH+_  
    **Q K}j[D  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 z.*=3   
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 XD|vB+j\O  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ~'/_q4  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 _pR7sNeV  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    <9Pf] G=  
    G `JXi/#`  
    10. 总结 k&3'[&$I*,  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 \Zo xJ&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 i)+2? <]  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 l}mzCIw%  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 eX9H/&g  
     
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