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?EQ]f34 均匀化的概念 F;$z[z ?IRp3H VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: L:UJur% • 微透镜阵列 @9S3u#vP • 衍射扩散器 1}nrVn[B9 • 计算机生成的全息图 -DD2
• 相位板 46`(u"RP • 单元阵列 9>,$q"M}? Xm,w.|dx 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 @vzv9c[ 光学仿真和设计包括: 40,u(4.m* • 衍射 S%J $.ge • 干涉 CqHCJ ' • 空间和时间相干度 trD-qi • 像差 S9BwCKH • 偏振 AmYqrmJ • 光强 rC
)pCC O#Y;s;)i" 应用 u.W}{-+kp 9w\yWxl 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: b5WtL+Z • 信息显示 x?T.ItW:K • 测量系统 \$; Q3t3 • 室内照明 NQb!?w • 汽车 ^yLiyR e\ • 军事 JBzRL"| • 光刻 +M@p)pyu o[<lTsw< 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 G&ZpQ) 优点Benefits m"3gTqG }EFMJ,NQ 微光学元件的照明系统有以下几大优点: q6E8^7RtS@ • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. *\W
*,D.I • 产生任意的二维图案. rqa?A}' • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. tR`'( *wh • 非常紧凑的照明系统. w]2tb B#Sg:L9Tr' 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 |Uf[x[ lM0`yh 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: J*4byu| • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. W>jgsR79M • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. { zGM[A • 可以产生一般的二维图案. 4n1-@qTPF~ • 单色光和白光的整形. FUy!j|W6f St9+/Md=jQ 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. jGV+ ~a 衍射扩散器 Hz A+Oi 2RW^Nqc9 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: f+A!w8E • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). HI+87f_Q • 生成任意的二维图案. fg[]>:ZT. • 仅用于单色LED或准分子激光. 'dT JE--@ UD.&p'^ /{ 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 ,V$PV,G 单元阵列 lawjGI 6:PQkr 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性:
~lg1S • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. z'iAj • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. b
\pjjb[ • 产生任意的二维图案. mv%Zh1khn/ • 用于单色光和白光. ZAKNyA2 /K+GM8rtE 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 ZH
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