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od|.E$B 均匀化的概念 247>+:7z "d\8OOU VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: {hR23eE)# • 微透镜阵列 1Sr}2@> • 衍射扩散器 x F#)T* • 计算机生成的全息图 y->iv% • 相位板 7u(i4O&
k • 单元阵列 Sn,z$-;h; zAIC5fvu 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 G
0 yt%qHE 光学仿真和设计包括: sa?;D • 衍射 mLqm83 • 干涉 &0TheY;srf • 空间和时间相干度 AE Jm/8,T • 像差 oE&[W>,x • 偏振 q fe#k F9 • 光强 r~t7Z+PXF R&p5 3n 应用 aV.<<OS Ky|0IKE8Z 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: $P~ a • 信息显示 ZvJx01F{ • 测量系统 D%btlw?{ • 室内照明 \k8_ZJw • 汽车 ~+hG}7(: • 军事 R&A.F+Zgt • 光刻 8a{g EZT, cPSpPx 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 w4mL/j 优点Benefits N3)EG6vE* }"v"^5 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 5=\b+<pE • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. I`l<}M • 产生任意的二维图案. &iivSc;# • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ho. a93 • 非常紧凑的照明系统. ~Gza$ K b7/4~_s 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 :KwYuwYS ;8UHPDnst 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: uNjy&I: • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. c"r( l~fc • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. UF
tTt`N2 • 可以产生一般的二维图案. I nk76- • 单色光和白光的整形. C;|Ru*
3yDvr*8-@ 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. c3+vtP& 衍射扩散器 ic+iTH ,==lgM2V> 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: lK0coj1+ • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). T^ -RP • 生成任意的二维图案. b~-9u5.L1 • 仅用于单色LED或准分子激光. Wk?XlCj
~rD* Y. 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 Z3Y%VHB_F( 单元阵列 *!r8HV/< 4U3T..wA 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: Fa8>+ • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. OLq/OO,w • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. q :gH`5N • 产生任意的二维图案. ,fbO} • 用于单色光和白光. YGB|6p(
/>$kDe 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 H)Yv_gT d{Z H3JWf
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