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|[/[*hDZ9 均匀化的概念 -z9-f\ Gj[`r VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: E Z95)pk • 微透镜阵列 m?I$XAE • 衍射扩散器 x}t,v.: • 计算机生成的全息图 &L[7jA'[J • 相位板 s*<\mwB • 单元阵列 5|>FM& (he cvJ 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 ;Ll/rJ:* 光学仿真和设计包括: Nf(Np1?;c • 衍射 dGf:0xE" • 干涉 ##~";j • 空间和时间相干度 [EUp4%Z # • 像差 ,;LxFS5\ • 偏振 B -XM(Cj • 光强 bkfwsYZx
f$Fa*O- 应用 ;fLYO6 Gq_rZo(@ 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: ?}4 =A&][ • 信息显示 \ 8v{9Yb • 测量系统 0J-] • 室内照明 l<fZt#T • 汽车 PMER~}^ • 军事 H4[];&]xr • 光刻 #w\Bc\ T=6fZ;7 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 P%`|Tu!B 优点Benefits fx&b*OC zs!}P 微光学元件的照明系统有以下几大优点: H'N$Vv2q • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. *7.EL`8 • 产生任意的二维图案. NjT#p8d X • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. ?;1^8 c0 • 非常紧凑的照明系统. o4I&?d7;" r[>4b}4s 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 )NG{iD{_] (#6E{@eq 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: x8H%88!j* • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. WVaIC $Y • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. ?'F>DN • 可以产生一般的二维图案. bo^d!/; • 单色光和白光的整形. 6")co9
LwDm(gG 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. gY'w=(/` 衍射扩散器 OnGtIY d5?"GFy 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: \wW'Hk= • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). 3,qq\gxB • 生成任意的二维图案. a&yIH;- • 仅用于单色LED或准分子激光. Ta;'f7Oz
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fX 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 TE+d? 单元阵列 rG7S^,5o C~\/FrO? 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: -P!_<\q\l • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. X
?p_O2#k • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. hVQ
TW[ • 产生任意的二维图案. 6L--FY>.- • 用于单色光和白光. &%YFO'>>}
XRU^7@Ylks 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 Efo,5 _ PC}`Y'& [5&zyIi QQ:2987619807 8ut:cCrmg
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