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均匀化的概念 i$HA@S /fCj;8T3o VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形，例如： P@P(&{@ • 微透镜阵列 `2 X~ 3im • 衍射扩散器 Mf)0Y~_:R# • 计算机生成的全息图 Ei!5Qya> • 相位板 ]Igd< • 单元阵列 :7&#ej6
!e?;f=1+E 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 MNURY A=
光学仿真和设计包括: '`g #Zo • 衍射 b|F_]i T • 干涉 6x%uWZa' • 空间和时间相干度 K)5' Jp@ • 像差 ~~eR,H Yk • 偏振 ~IvAnwQ' • 光强 z(]1425 0
,H!E :k 应用 w'[lIEP 2$
TCAtb('D 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域，包括： T1TKwU8l • 信息显示 W =YFe<Q • 测量系统 O>e2MT|#k • 室内照明 &oJ = • 汽车 AF5.)Y@. • 军事
9?c0cwP? • 光刻 m89-rR:Kc
1U[8OM{$ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 vZj:\g eV 优点Benefits y/t{*a
*,g|I8?%VD 微光学元件的照明系统有以下几大优点： NoS|lT • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. {qO[93yg)/ • 产生任意的二维图案. _@I< H\^ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. Zcq'u
jU • 非常紧凑的照明系统. II$B"-  yRt]i> 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟
,!U._ic'B
微透镜阵列，也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中，微透镜阵列有以下光学特性： N)Fy#6
• 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 5B3S]@%
• 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. -r%4,4
• 可以产生一般的二维图案. JWhi*je
• 单色光和白光的整形. $j61 IL3+
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六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. PCzC8~t
衍射扩散器 }Z5f5q
nNNs3h (Ss
衍射扩散器，如相位板和计算机生成全息图，是经过计算机优化的表面轮廓散射元件，衍射扩散器有以下光学性质： h l`4 _`3y
• Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点（衍射级次）. SV%;w>
• 生成任意的二维图案. hM~9p{O
• 仅用于单色LED或准分子激光. &,B\ig1Jf
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4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 K=|x"6\
单元阵列 o'Q"
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光栅，棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成，将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性： bup)cX^
• 通过控制光栅，微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. K|Sh
• 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. )}QtK+Rq
• 产生任意的二维图案. IC& >PwXb
• 用于单色光和白光. G9'Wo.$ t
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由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 jWHv9X tW
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QQ：2987619807 JJ\|FZ N
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