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QCk(qlN'h9 均匀化的概念 Yo#F ;s7 Oe%jV,S |V VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: )VCRbz"[g • 微透镜阵列 H>2f M^ • 衍射扩散器 VNLggeX'U • 计算机生成的全息图 2wG4" • 相位板 4 jeUYkJUM • 单元阵列 #2*2xt O1K~]Nt 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 j{a3AEmps 光学仿真和设计包括: *]_GFixi • 衍射 )|zna{g\ • 干涉 :,(ZMx\ • 空间和时间相干度 ewcgg • 像差 HR83{B21 • 偏振 "ZyWU f • 光强 ]tVXao 2i~qihx5^ 应用 g"Z X1X R9z^=QKcH 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: f~D>
*<L4- • 信息显示 p;rGaLo:u • 测量系统 ZXj;ymC' • 室内照明 2x*C1
• 汽车 UPkD^D, • 军事 /RmHG
H! • 光刻 h}_1cev?
h8!;RN[ 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 z3[0BWXs 优点Benefits -cHX3UAEI h}U\2$5 微光学元件的照明系统有以下几大优点: }3Y3f).ZW • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. H19CVc\B • 产生任意的二维图案. txwTJScg • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. R]Q4+ • 非常紧凑的照明系统. P2Ja*!K] mTzzF9n"Y 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 zoV-@<Eh 1!E+(Iq 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: ^vJ PeoW • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. F W # S.< • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. h?:lO3)TL= • 可以产生一般的二维图案. 7^~pOFdH • 单色光和白光的整形. O$%C(n(
Cu\A[6g, 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. f9FsZD 衍射扩散器 fxQN $[Fh|%\ 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: kE".v|@ • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). D>O{>;y[
• 生成任意的二维图案. o"x&F • 仅用于单色LED或准分子激光. 8F<Qc*'
7 '@l?u/6 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 %Iv0<oU 单元阵列 -< 7KW0CA tp.qh]2c 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: S`"M;%T • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. <&o
`T4 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. XRI1/2YA • 产生任意的二维图案. }q( IKH\& • 用于单色光和白光. h(I~HZ[K&T
&:-`3J- 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 d%9r"=/
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