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>P0AGZ 均匀化的概念 GV[%P B. P64"w VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: E0O{5YF^T • 微透镜阵列 TJ;v}HSo • 衍射扩散器 5\4>H6 • 计算机生成的全息图 }7.q[ ^oF • 相位板 VsZ_So; • 单元阵列 rM=Hd/ki5 C>K/C!5? 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 rXm!3E6JL 光学仿真和设计包括: :T{or- • 衍射 <}mT[;:" • 干涉 ]oya<C6pR • 空间和时间相干度 jQ^Ib]"K • 像差 Y}?@Pm drz • 偏振 FBY~Z$o0. • 光强 .ERO*Tj ^U`q1Pg5 应用 =u'/\nxCF O,OGq0c 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: c''O+,L1+ • 信息显示 WX=+\`NyJ( • 测量系统 A.h?#%TLL • 室内照明 8U(a&G6gn • 汽车 l:|Fs=\ • 军事 n9J>yud| • 光刻 _:K}DU'6 >b$<lo 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 <bjy<98LT 优点Benefits hy]AH)?pR /Z@.;M 微光学元件的照明系统有以下几大优点: *ap#*}r!Nk • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. z::2O/ho • 产生任意的二维图案. 4dok/ +Ec • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. .XE]vo • 非常紧凑的照明系统. (,TO| nx+&
{hn( 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 $I/p 6 aLq;a 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: y@Or2bO# • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. 8)tyn'~i • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 2?ednMoE • 可以产生一般的二维图案. kL3=7t^ 1 • 单色光和白光的整形. co@8w!W Bf}_ Jw-= 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. 8xv\Zj + 衍射扩散器 &p%c tg >mV""?r] 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: 8`~]9ej • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). [5 V • 生成任意的二维图案. l^"G \ZVI • 仅用于单色LED或准分子激光. p4Y9$(X z[rB/|2 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 NAU<?q<) 单元阵列 MDq @:t \*N1i`99 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: o MAK[$k; • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. **"P A8 • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. ?l (hS\N, • 产生任意的二维图案. KJ~pY<a? • 用于单色光和白光. dWUu3 9e5UTJ 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 3/e !7 d]^i1 k$>T(smh QQ:2987619807
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