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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    5302
    光币
    20742
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： %<ptkZK#  
     #*>7X>,J  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； YP\4XI  
     1 <qVN'[  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 Cs1%g  
     Og;$P 'U  
    结构设计 [y=$2  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 o+)LcoP u  
     ;@ll  
     CK!pH{n+  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 A^r [_dyZ  
     &;@b&p+  
         J,^pt Ql  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 eFXi )tl  
     |H+k?C-w  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 4G;`KqR@  
    A]SB c2   
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 ]N(zom_0d  
     ">D(+ xr!)  
    aIt 0;D  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 p3A-WK|NX  
    l~6SR  
    T\e)Czz2-  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 Uwm[q+sTp  
     qYu!:xa8  
    %wjU^Urya  
    /wxxcq  
    导出加工数据 x]d"|jmVZ  
     Ff#N|L'9_  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) milK3+N  
     jf)JPa_  
    7quwc'!  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 7jg(j~tQ  
     X8l1xD  
    _]r)6RT  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 yY g&'3  
           HG3>RcB  
    ,cO)Sxj  
    ?e_}X3{  
    J0WXH/:  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 e/% ;  
    z Q|x>3   
    eNC5' Z  
    pu)9"Ad[ G  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 \7tvNa,C  
     ?>\]%$5o  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 tA u|8aL  
    UUEDCtF)  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 fUWm7>6VA>  
    l'{goyf  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 p*&LEjaVM4  
    3{L vKe  
    ]jY)M<:J4  
    导出加工数据列表 eWk2YP!  
     B l/e>@M  
    oD}FJvV  
    6=lQT 9u{  
    导入加工数据 | v'5*n9  
     \w_[tPz}  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI L2O57rT2  
     rMFZ#38d  
    KeOBbe  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) S"A_TH  
     Pk]9.e1_  
    EkAqFcKLq  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) Z6AU%3]  
    :3*oAh8|  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 n2hsG.4  
     R]s jG <  
    l45F*v]^  
    tJ_@AcF  
    Oc+L^}elJ  
    O xaua  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 N)y;owgo  
    ~HI0<;r=eL  
    yWk:u 5  
    6) 导入完成，观察3D视图 1;[ <||K  
     `/Jr8J_  
    >Ez}r(QQ^  
    uOUw8  
    ;RZa<2  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
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    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 ",GC\#^v  
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