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    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    5246
    光币
    20510
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： lanU)+U.  
     F6\4[B  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； %$bhg&}  
     tv2k&\1  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 TH55@1W,[  
     CYsLyk  
    结构设计 =`2jnvx  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2 b2RW=m-  
     ||fCY+x*8  
    q"WfKz!U  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 'Tskx  
     69t6lB#;!  
         AG#Mj(az!  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 Hn/V*RzQ  
     &i6JBZ#~,  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 7mn&w$MS4:  
    ^)'D eP/  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 mnw(x#%P  
     '}OAl  
    ) r"7"i  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 n?S)H=  
    *g9VI;X  
    A+}O~,mxP8  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 'R#MH  
     @RCZ![XYWg  
    IR&b2FTcU  
    Ef3=" }AI;  
    导出加工数据 fP- =wd  
     H`yUSB IP  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) QtcYFf g  
     6KE64: \;  
    KI].T+I  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 9`CJhu  
     1_8@yO  
    WDr=+=Zj  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 "|N0oEG&  
           Tt_QAIl  
    .3SP# mI  
    bU}l*"  
    +x?8\  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 ] pv!Ll  
    bn=7$Ax  
    2+K - I  
    dIA1\;@  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 J/rF4=j%xy  
     j9}.U \  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 tItI^]w2s  
    1M?Sl?+j  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 1l^ `  
    <d[GGkY]=  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 YWDd[\4  
    l {\k\Q!4  
    82 1 6_Qm  
    导出加工数据列表 R$">  
     ?}S~cgL -  
    a,:Nlr3  
      [ L  
    导入加工数据 Smd83W&  
     Bi0&F1ZC!  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI qy-Hv6oof  
     ,fhwDqR ?  
    bE jQMlb  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) WpkCFp  
     Re1}aLd  
    kPSi6ci  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) w-Q=oEt  
    Vp8!-[R  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 z:08;}t  
     ("=B,%F_  
    n ,@ ge  
    3)l<'~"z<  
    r90R~'5x9  
    9 vNz yh\  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 }dEf |6_  
    iH-(_$f;  
    cejD(!MKe  
    6) 导入完成，观察3D视图 iP?lP= M  
     2p*L~! iM  
    b^<7@tY  
    //#]CsFiP  
    xz}=C:s  
    QQ：2987619807
     
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    离线wx349643041
    实习生
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    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 sv#/78~|  
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