切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 光学手册（上、下册，李景镇） 近代光学系统设计概论 Zemax光学设计从入门到精通(中文版) 现代光学基础（第2版 钟锡华）
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1095阅读
    • 1回复

    [分享]结构设计和导出加工数据 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    技术专家
     
    发帖
    4681
    光币
    17781
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-09-23
    内容简介： BcQUD?LC`  
     %UdE2D'bC  
    1.在VirtualLab中如何进行结构设计； >3&  
     x .@O]}UH  
    2.在VirtualLab中如何导入和导出加工数据。 xJ<RQCW$  
     N5)H(<}  
    结构设计 l\0PwD  
    1) 点击 ，打开示例文件Sample_PhaseDistribution.ca2  6 wd  
     2Bi]t%<{  
    b)a5LFt|  
    2) 该示例文件包含处处振幅为1的纯粹的相位分布，默认为振幅视图. 点击，将默认的振幅视图转换为相位视图，点击“结构设计(Structure Design)”开始设计可产生该相位分布的对应结构 <mP_K^9c  
     tX% C5k  
         6Z1O:Bou  
    3) 进入(基于薄元近似)的纯相位透射结构设计系统窗口 ax5n}  
     _S[@?]=`b  
    目标(Target)标签，可以选择将设计好的结构设计元件放在新的LPD中还是已有的LPD中 n<|8Onw  
    UxMy8} w!y  
    光学设置(Optical Setup)标签，在此标签中选择模式为透明板的高度轮廓(Height Profile of Transparent Plate)，并可选择基板介质(Substrate Medium)和元件周围的介质(Surrounding Medium)，同时可以确定基板的厚度(Thickness of Substrate)以及中心波长（Wavelength）。 27R4B O  
     V|A.M-XLv4  
    1/\Xngd  
    光学界面参数(Interface Parameters)标签，在相位展开模式(Unwrapping Mode)中选择不展开(None)，以及不进行强制分层(Enforce Quantization),即不产生离散界面，并选择像素化的高度轮廓（最临近点插值）[Pixelated Height Profile (Nearest Neighbor Interpolation)]对取样光学界面进行插值 S7J.(; 82  
    -N/n|{+F  
    !0^4D=dO  
    4) 完成结构设计，在新的LPD中设计好的结构已经包含在名为“Generated Structure Design Component”的元件中 V}vL[=QFZ(  
     xBc$qjV  
    [ -Z 6QzT  
    ug{sQyLN  
    导出加工数据 ~tTa[_a!  
     2@T0QJ  
    1) 在LPD中双击生成的元件，可见设计好的结构是以双界面元件(Double Interface Component，简称DIC)的形式保存的，而高度轮廓以取样光学界面（Sampled interface）的形式保存，点击编辑(Edit) fN{wP,jI  
     [jN Vk3  
    b i-Am/9  
    2) 进入取样光学界面的编辑(Edit Sampled Interface)窗口，在结构(Structure)标签上，选择临近点插值(Nearest Neighbor Interpolation)方法进行高度轮廓插值，并进行3D预览 ^xk4HF   
     A##Q>|>)  
    | #a{1Z)  
    3) 在取样光学界面预览(Preview of Sampled Interface)中，点击鼠标右键，选择精度(Accuracy)，将界面取样精度设置为5，提高取样光学界面的显示精度 ?!F<xi:  
           ?mV2|;  
    9*JxP%8T~X  
    G~_eBy  
    wmK;0 )|H  
    4) 进入界面高度离散化(Height Discontinuities)标签，将离散高度阶数(Discrete Height Levels)设置为8，通过工具(Tools)中的导出(Export)生成可用于光学界面加工的数据 zZ9Ei-Q  
    Gyy4)dP  
    gzK/l:  
    EhD%  
    5) 进入光学界面数据导出窗口 0n X5Vo  
     7^)yo#i4  
    在一般(General)标签进行如下图所示的设置 SANb g&$  
    X,M!Tp  
    在输出参数(Export Parameters)标签上选择默认参数设置 MP@}G$O  
    UC`sq-n  
    在GDSII/CIF标签上选择默认设置，并点击Export导出加工数据 B~Z61   
    5y='1s[%  
    2fayQY xD  
    导出加工数据列表 1mh7fZgn  
     <Qbqxw  
    aFnyhu&W'  
    ho#<?rh_  
    导入加工数据 bA6^R If?  
     taVK&ohWx  
    1) 点击 ，新建一个LPD，在LPD中选取单光学界面(Single Optical Interface)元件，以下简称SOI Z[RifqaBby  
     V LeYO5'L  
    bQ?Vh@j(M  
    2) 双击SOI，进入其编辑窗口，点击加载(Load) d]_].D$  
     w4^ $@GtN  
    ),o=~,v:  
    3) 导入取样光学界面(Sampled Interface) {R7RBX  
    "FE%k>aV@v  
    4) 点击编辑(Edit)，进入取样光学界面编辑窗口，导入加工数据 LEg|R+ 6E  
     #RdcSrw)W!  
    HWL? doM  
    55y}t%5  
    v!S(T];)  
    SoCN.J30  
    5) 打开文件夹中的.xml文件，导入加工文件 +U1fa9NSn  
    q|lP?-j  
    C{-Dv-<A>  
    6) 导入完成，观察3D视图 8SiWAOQAL  
     a*,V\l|6  
    2:[<E2z  
    pP\^bjI   
    1?TgI0HS  
    QQ：2987619807
     
    回复
    举报
    分享到
    离线wx349643041
    实习生
    发帖
    10
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2022-06-08
    谢谢指导 v49 i.c9  
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表