-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-11-22
- 在线时间1530小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 b7tOo7a H) D'A/wG 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 w1"nffhO
oifv+oY 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 :^x?2%
~K.
~-m " 要求工具箱：光栅工具箱 ^__Dd)(
&2zq%((r 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 a@* S+3 2 e9e s 一、模拟任务： y+6o{`0 二、光栅的描述 78OIUNm`
AN SFdc 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 glXZZ=j
.Pw\~X3! 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ),!;| bh
6 9NQ]{1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 7{qy7,Gp
.j>hI="b 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” a5!Fv54
eI:C{0p= 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 i?e`:} T
qfz 8jY] 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 .h5[Q/*h 5
Ho^N1q A\#P*+k 0 ]U7KLUY>: 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm /3:q#2'v m J`A_0 K/= _b< 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm $ N=N(^ g 9WGkH F -s$F&\5by 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm /<8N\ _wh QZhj b O
Wj@< N 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm H0R&2#YD VZ](uF BY 0}xFD6{X 5. 参数运行 BQ2wn Gc
e^Ky<*Y 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 *"r~- &IL
B8%{ }[q 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 {$^DM ANDx Mz;[ +p 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ?9=9C"&s 2'<[7! u =/CRjot _fP&&} 7. 总结 )){9&5,0:
}sFm9j7yR 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 S#Sb ]
( nab 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 :C8$Xi_i}
@ *DyZB 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 JHJ~X v -tI'3oT1
Yl$SW;@ QQ：2987619807 gOK\%&S]
|
