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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 g7yHhF>%X H
pfI 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 rmoEc]kt]
/k Vc7 LC 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 <4b o7XH
Zul32]1r 要求工具箱：光栅工具箱 WX"M_=lc-@
-iX!F~qS, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Ot<!Y M $X]v;B)J| 一、模拟任务： \{mJO>x 二、光栅的描述 rqo<Xt`
55KL^+-~ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 tC~itU=V
bv];Gk*Z- 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 \./2Qc,
2 p[3Ap 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 _ 9
O'
I2Rp=L:z5 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” l0 _ O<
EZW?(%b>H 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 N^at{I6C
. r"?w 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 E/ )+hK& oI/ThM`=q 0~+ k j(2T,WM 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm |sAg@kM ,' B=eY, [ Ru Y' 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm v[GHqZ 2F{IDcJI\ r" {1 H 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm zb$U'D_ -f r2w7lf66! nVD
YAg' 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 2uEu, Y C ?^p8]Va% UkKpS L}Q2 5. 参数运行 H_]kR&F8
N"y4#W(Z@ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 #\QC% "%f
w ?aLWySYT 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 TXv#/@
`SrVMb( 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 WH*&MIjAr/ 2T5ZbXc+x 1uMdgrJR R `!N?#N:b) 7. 总结 4+"SG@i`W
X.qKG0i 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 i YkNtqn/
C? S %fF 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Vo() J 4L
)1le- SC 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 8pk">"#s Jj v&@a}
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