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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 q\?p' i ;PC! 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 OFtf)cGE
5b/ ~]v 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 TaD;_ )(
.Ja].hP 要求工具箱：光栅工具箱 `dcz9 *
9MfU{4:;I 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 o/7u7BQl2 kd !?N 一、模拟任务： q 0F6MAXj 二、光栅的描述 FfM^2`xP
6Jq[]l"v 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 h_#=f(.'j
WtZI1 `\qe 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 04dz ?`HuB
nyi!D 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 #at`7#K@
2rT^OGw6 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” m=l'9j"D
ciODTq? 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 D {Ol8:
2lsUCQI; 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 J6s]vV q" R]X 0D. AcuF0KWw/ f/O6~I&g 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm :6lv X$
k2v :F ?v
M9
! 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm J?3/L&seA X8ap %\< b{x# G 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm I)'bf/6? ?MRY*[$ ]7Vg9&1` 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm *p
$0(bz 7C7.}U )
FR 7t 5. 参数运行 -sQ[ f18
@p*)^D6E\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Zw9;g+9
* $f`ouJl 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 lcZ .}
@/<UhnI 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 f YUV[Gm (|^m9v0: 7m-% O<cP1T F 7. 总结
.fl r
4 ` #Q 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 7v%c.
-n05Z@7 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 -Ty~lZ)TDT
v,ssv{ gU 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 "9s_ [e 'vBZh1`p
Vbl -Ff QQ：2987619807 =Hd yra
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