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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 \C kb: MlV 3qM@ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 )}to7r7 `
)mu[ye"p 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 |. ?$:D&6
R*O<( 要求工具箱：光栅工具箱 q0*d*j F0u
VXO.S)v2J 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 'M35L30 J+ u z{ 一、模拟任务： l.uW>AoLh 二、光栅的描述 } k0B
%9OVw #P 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ZC97 Z sE
WelB"L 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 dmYgv^t
H`OJN . 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 [j 'lB
oAF#bj_f 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” 6& KcO:}-
Qe;R3D=T; 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 5Ve
T8/7Q
vw*,_f 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ] p*Fq^ R6`,}<A]@ aa&\HDh * e=Q{CsP 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm u}|+p + Z$y~:b z _ykT(`.# 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 'RpX&g [orS-H7^ JgMYy,q8t 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm %b>E e>rdD -d *je{c | ~m &q@ms& 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm UF;iw P( 1Z MX s]3M 5. 参数运行 ^q\9HBHT
vt(cC) ) 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 "$ U!1
/JQY_>@W 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ) KKmV6>b ok/{ w 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Ja{ [T . -}F~FES c=<5DC&p '5}@# Mi 7. 总结 ~#| Pe1Y
_$m1?DZ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 .$ -GGvN]
Lz=GA?lk[\ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 G$E+qk
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1 Wb_>`; 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ;`
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tjbI*Pw7( QQ：2987619807 L~HL*~#d
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