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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 I@3Q=14k% j~,h )C/ v 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 v}7@CP]nV
P$p@5 hl 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 sg3h i"Im
8w)e/*:j 要求工具箱：光栅工具箱 abM 84EU
BN+V,W 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 )^t!|*1LA xGKfej9 一、模拟任务： G_V.H \w 二、光栅的描述 b7 ,
t{_!Z(Rt5) 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -'80>[}q/
KK:N [x 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Q,zC_
' 2>l 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 > ?S\ ~Y
"#*Nnt 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” B }6K d
pG0 !ALT 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 j.k@6[ R>?
/VRUz++K 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 Cf Qf7- >HE,' 48wDf_<f5= e &d3SQ% 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm K n']n91m pp(H
PKs=} 2*+ 3Rr J 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 6H0W`S0a {5SfE$r 7nm}fT
z7 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm O4T'o. mRCHrw?WG d{W}p~UbH 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm [u[ U_g* GOGt?iw*< L*P_vCC 5. 参数运行 W3^.5I
_Aa[?2 O 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 (/'h4KS@
:JR<SFjm 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 k,T_e6( "r@ G@pe 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 rw &y,%2 =q w &dwIQ T: U4:"
=Ci13< KQ 7. 总结 Rxx>{+f4M
)L b72;!? 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 (Q'U@{s
0F^]A"kF 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 r] 0(qg
IdF$Ml#[h 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 Z9xR or7pJy%4"
_e_4Q)z-a QQ：2987619807 dN<5JQql
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