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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 8L#sg^1V +m Y(6|1 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 q nOAIP:0
Ne=D $o 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 b@7
ItzD
@'S-nn,sO 要求工具箱：光栅工具箱 76
y}1aa
] !/1qF 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 fE(rDQI X0m\
一、模拟任务： J~= =<?j: 二、光栅的描述 aJub( "
Yc Ik{_N3 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 [u<1DR
q|S }5 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 ;&iQNXL
y'(;!5w 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ,ujoGSx}
u|+O%s TQ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” mX
%;
BsxQW`>^y 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 291v
R]
f7mI\$CN 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 0%v
p'v 9] l7 j\L 7Ij'!@no D{ c`H}/ ` 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm S/8xo@vct] gQ& FO~cr 8USF; k 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm ] OR ] x#U?~6.6 o [_ {\ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm 68d(6?OgW `*N2x\+X D/rKqPp|! 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ._#|h5 UDhW Y.`'~ "QA!z\ 0\ 5. 参数运行 wtaeF+u-R-
'xhX\?mD 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 V 9][a
/=i^Bgh4 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Xrc0RWXB8 c1Xt$[_ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 8nW# Q <s Jk 0 ;<2j u9_ Fjm}&
nz~3o 7. 总结 V\Cu|m&HI
}qRYXjS 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。
PohG y
&dH/V-te 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 PH^AT<U:T
"o+<
\B~ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 `a*[@a# ez@`&cJ7
qn5e[Vn QQ：2987619807 jA?A)YNQb
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