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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 tihb38gE ,m9Nd "6\ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 &}wKC:LSP
i=]IUjx< 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 ^s_E |~U
C<eeAWP3v 要求工具箱：光栅工具箱 0q>f x
m>jX4D7KZ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 }ZlJ ^7vh ize 一、模拟任务： #c./<<P5} 二、光栅的描述 -;_NdL@
aG?'F`UQ 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 GK2IY
MuO7_*q'n 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 Lb{~a_c
KSc&6UVz^ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 p%G4Js.
8pg?g'A~} 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” w[n|Sauy,
HRC5z<k% 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 +g@@|&B
e( 6g|h 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 6oL-A tf Qf$0^$ " fI t:eKHr 6 7~m9pk 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm oy;N 3 4Q,HhqV' plv"/K JM 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm bv)E>%Yy Z"mpE+U* L/ c$p`- 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm GKZn|<Y|{c mdoy1 a 6Bo~7gnc 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =5+M]y
E< Gmc xN< lva]jh2 5. 参数运行 #Z"N\4 9
LrsP4G 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 Z>Rd6o'
e-]k{_wm 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 ;#G>q o |0b$60m$!t 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 o%+K S5v! ? L s]k T=ox;r ;^=eiurv 7. 总结 {t;Q#Ou.
%Jq(,u 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 KJ.ra\F
AA^3P?iD
2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 q@8Rlc&
K}1>n2P 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 wpb6F ' / d0LD
+O*S>0 QQ：2987619807 `g6ZhG:W
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