-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-01-24
- 在线时间1672小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 N Qk aW) i2~ uhGJ 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 &X$T "Dp
3/kT'r 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 Ey&H?OFiP
pk/#RUfT+ 要求工具箱：光栅工具箱 3@> F-N
,#A(I#wL~ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 W)In.?>]W /\ I6j;$z 一、模拟任务： ?Z7`TnG$uf 二、光栅的描述 L*(9H ti
9-KhJq% 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 C82_ )@96
jT{T#_ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 EKwQ$?I
21uK&nVf^l 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 :v&[ !
2$JGhgDI 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” /4:bx#;A
Z! 1 D4`w 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 |* &l ?S
]gk1q{Ql< 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 ~VGnE: k~ E x_2;# /` *{57/3 :
\+xXb{ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm ,fkvvM{mq >
;,S|| uN|A}/hr] 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm l!mbpFt Mt[yY|Ec| 7L{1S
v 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm `fu_){ Gm=qn]c *o6}>; 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm ^ X =Q{nB WRh5v8Wz0 R 'Sd'pSDN 5. 参数运行 fE#(M +(<
/WrB>w 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 K:PH: e
RJrz ~,} 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 Pob X; Z m|a9T#B( 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 t un}rdb t&r.Kf9Z\ "HMEoZ "s2_X+4oY 7. 总结 s Z.<:mu[
d>NGCe 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 b/SBQ" B%
I= mz^c{ 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 S * h52li
0Y.z 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 *$tXm4
O[ L.Y3/H_
=~#mF<z5 QQ：2987619807 fqNh\~kja
|
