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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 $5 z
O=` ] O3[Te 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 s(q\!\FS
;,}tXz 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 E) |fKds
RcitW;{|Kg 要求工具箱：光栅工具箱 { aqce g
!n~p?joJ* 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 44B)=p7
V7.xKmB 一、模拟任务： |XzqP +t 二、光栅的描述 :(VD<"X
g!(j.xe 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Gdq _T*
GxL5yeN@( 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 :PuJF`k
_V^^%$ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 } :P/eY
H.qp~-n 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” tJy6\~
\b?z\bC56 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 *D! $gfa
tbrjTeC 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 % zHs h LRW7_XY z >_X Rh by,"Orpwq; 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm R_eKKi@VH >y#<WB$i Jf{6'Ub 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm xG@zy4 USy^Y?~ ; 3yn>9qt 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm H@GiH e j q|0 Lu k;/U6,LQ* 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm (Vnv"= ( pwU
l&hwte PB*m D7" 5. 参数运行 C KeT%3
*o qQ=#\ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 9#L0Q%, *
}t#uSz^ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 @ eu4 W^W {0
d/; 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ^cB83%<Z GawQ~rD |{]W (/ T+7-6y+ d 7. 总结 B%QvFxZz
Y4 q; 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 aE BQx
H`|8x 4 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 + pTc2z
|Y?1rLC 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 b:VCr ^vp #lXwBfBMf
X<{kf-GP QQ：2987619807 Y@N-q
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