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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Z" Zmo>cV4 YO#M/%^j 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 Q8C_9r/:N>
T{Gj+7bQ~ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 J\/cCW-rF
c cNd'2P 要求工具箱：光栅工具箱 b $'FvZbk
D~biKrg?= 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 L E&RY[ y GI;ye'U 一、模拟任务： ~F7 -HaQJ 二、光栅的描述 dpJ_r> NI
}]e-{C} 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 %9w::hav
e 63uLWDT 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 #eQJEajv5
zepm!JR1 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 'GB. UKlR
#J@[Wd 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” {`J) j6;
RwKdxK+; 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 (XeE2l2M
ks"|}9\%< 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 34z"Pm YHkn2]^#A \Np xv V\{ clJ\U 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm e7@ ojOQ% H+1-] 'g` ?:
N @!jeJ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 7" aN#;& `q?8A3A wr5AG<%( 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm ?a8^1: @AG n{q ,.rs(5.z8/ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Z9:-rcr z,Medw6[ t5[ #x4
p 5. 参数运行 _hN\10ydY
<<@bl@9' 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 , 0imiv
=5Q]m6-SgV 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 *#E
F sUw 4^TG>j?M 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 Ge2q% I` p+Qt '{E@*T /<. s8wmCzB~ 7. 总结 Q?e*4ba
hakKs.U|[ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 g,}_G3[j0m
HIQ _%L4] 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Qc gRAo+u
F5?m6`g? 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 IAYR+c b6}H$Sx~
qC}-_u7s QQ：2987619807 87Oad@FOr
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