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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 Y%"6 Ny
oRp 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 2wKW17wj,
n@"h^- 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 E,fG<X{
L4w KG& 要求工具箱：光栅工具箱 ~ R:=zGDV
4Z"JC9As 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 3$E\B=7/U XX@@tzN 一、模拟任务： p~h)@ 二、光栅的描述 <m7T`5+
;K+'J0 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 E @%X
x<-n}VK\ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 /'S@iq
y66V&#`,e0 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 pMfP3G7V
EP ;TfWc}1 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” /!//i^
Fo0 dz 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 >#j f Z5t
H%AF, 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 T9,T'y>BD Sjogv ^71!.b% |KM<\v(A{ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm sdWu6?B_ n
qR8uL> 2d`:lk%\ 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm v;r!rZX ?'I[[KuG Wg3\hv 29 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm #t^y$9^ PN$vBFjm ~sd+ch* 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm f"8!uE*; |6mDoo Ty XehpW}2\ 5. 参数运行 vXio /m
)kq3q5*_ 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 %S2^i3
`9+>2*k 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 * t,J4c @y#QHJ.j
6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 R-8/BTls7 N0D)d j\ d Y k>N >_{\ 7. 总结 h7EKb-@
u)DhkF| 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 %/86}DCfE?
N <xf=a+j 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 k]vrqjn Q
T%%+v#+ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。
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k#4%d1O} QQ：2987619807 GQNs :oRJ'
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