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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 &oDu$%dkT =}W)%Hldr. 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 dr4 m}v.
3[To"You 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 uL @'Hv A
M]e _@:! 要求工具箱：光栅工具箱 d.NB@[?*
8SMa5a{ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 Js !Zk\O `Y7&}/OM 一、模拟任务： 1;+(HB 二、光栅的描述 v=+> ids
&E!-~'|z 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 \ Eyy^pb
k12mxR/ 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 hC2Ra "te)
[kZe6gY P& 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 \"A ~ks~
f@IL2DL}\ 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” v>m r
fkr;
a`<W 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 FDRpK 5cw
%5 ?0+~ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 j'FBt8P' oJEjg>%n
*:V"C\`^n O7T wM Yh 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm -"3<L l jhSc9 {-\VX2:;[9 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm _{'HY+M ^'aMp}3iu ]]bL;vlw 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm dD"o~iEC oNr~8 CA` 1:lhZFZ 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm $+ ?A[{JG _zj}i1!E" p[- bu B] 5. 参数运行 }c*6|B@f
0sKY;( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 -|xyj2M
N{6Lvq [8 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 t6O/Q0_ W%RjjL J@ 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 DcQsde uQ %8yX 6`lH c~+l|r=u? QA&BNG 7. 总结 !B{N:?r
NbnuQPb' 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 "J%/xj
hUy\)GsT 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 w/HGmVa
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f[cA 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。
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= QQ：2987619807 9L'R;H?L
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