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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 OC [a?#R1 /|\`NARI 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 *;}! WDr
/!E /9[V 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 xL!05du
: ._O.O 要求工具箱：光栅工具箱 -kJF@w6u
<iMkHc h 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 7O{\^Jz1 |[: `izW 一、模拟任务： "2; UXX-H 二、光栅的描述 \twlHj4
2T|L# #C 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 ~+d]yeDrhx
_I -0[w 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 WL7:22nSHa
&zm5s*yNt 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 )GR^V=o7,Y
sF|lhLi 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” T"0a&.TLj
K c(_?` 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 7i'vAOnw^
=DqGm]tA 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 x:@e ID
& d*9#?9 3O] e |{_%YM($ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm -x RsYYw &B 3kzs kTnvD|3_!P 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm `t8e2?GH Pjx9 @i GRs ;-Jt 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm d }]b E+Gea[c u&g} !Smc8 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm Ge
@d" !"1bV
[^ 3 $RII -}> 5. 参数运行 |6uEf/*DX
hR?rZUl2M 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 7'<4'BGzl]
(* 2 "dd 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 q2SkkY$_]y 5 Fd ]3 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 lF#Kg !-l ^yb_aC w N* z<VZ -Pvt+I> 7. 总结 85X^T]zo
Ea3tF0{ 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 M0]fh 5O
Le}q>>o;q 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 1k hwwoo
J^?O] | 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 |l ~ADEg 5j V]{ZV#
kC#;j =K? QQ：2987619807 BujWql
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