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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 FW#P*}# .'1SZe7O 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 3?.1n Gu
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}'->H 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 \~#WY5
+}a C-& 要求工具箱：光栅工具箱 B[F-gq -
)DT|( ^ 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 0/ !,Dn pzhl*ss"6 一、模拟任务： ;Lo&}U3F,! 二、光栅的描述 Cqx v"NN
c2 *`2qK# 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 Hx2En:^Gf
[A9JshMo 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 \:v$ZEDJ>
L9FHgl? 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 bA@P }M)X
P`jL]x 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” }T.?c9l X
(K :]7 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 !%PWig-
{v` 2sB 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 hoQ7).> {G3i0 r B= X,7 XiQk rZ 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm --fFpM3EvS 1A<,TFg + G;LX'B 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm Xsuwa-G!5~ Pc_VY>Ty ` ;)ZGY\ 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm u D9|.P} &:5\"b u~1o(Zn
= 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm =IjQ4 0W +4qU> Q_p[k K H 5. 参数运行 hs+kr?Pg`
.*YD&( 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 :+rUBYWx
IQH[Q9 % 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 }
JiSmi6o '5KeL3J; 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 e ]Fp= *# q| .d ez' f)Xr !7 ]N{0:Va@D 7. 总结 o0It82?RN
j&R+2%
1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 !CUoH TmB
9`Q<Yy"du 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 Ts$@s^S]
>[10H8~bI/ 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 sEc;!L Vz=a uM1xZ
OJAIaC\ QQ：2987619807 \ I`p|&vG
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