-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-01-24
- 在线时间1672小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 ICuF % bsuus
R9W 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 'HT7_$?*
{SwQ[$k=_ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 WxW7q t
U3 */v4 / 要求工具箱：光栅工具箱 IK ABB W
b QE};wM, 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 vK 7^*qr;j cYFiJJLG] 一、模拟任务： 0rh] ]kj 二、光栅的描述 p M x
q:l>O5 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 )_1zRT| 9
=6woWlf b 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 c#a @n 4
w<zIAQN 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 0%,!jW{`
i\1TOP|h 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” ~ }F{vm
0zo?e I 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 T^:UBjK6t{
8* 8Zc/{ 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 6Pnk5ps }h 0.dgoq 3u LAVAFlK5 W)9 K`hM6 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm VGtC)mG8) }tsYJlh5 szsk;a 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm >"gf3rioW :{qv~&+C j]*j}%hz 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm OC1I&",Ai| -M%_\;"de n,=VQ Ou 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm )_{dWf1 RM d[Yr2e @.G[s)x 5. 参数运行 !
vP[; 6
GN-mrQo 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 x\F,SEj
VS9`{ 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 vN| l\!~ SxdE?uCUS 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 "
Om[~-31 hJwC~HG5 %FXfqF9 T _sTC) &a 7. 总结 .jS~By| r
j;s"q]"x] 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 *:>" q ej
qY~`8
x 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 L !=4N!j
QA 2borfy 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 ]?3un!o3o '&. #
._8K suJG QQ：2987619807 4D[ '^q
|
