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案例87.01：粗糙表面光栅的模拟 7y^)n<'co Y1lUO[F j 即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 4( , .< #
;r2DQg"#@ 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 to13&#o
:[l}Bb, 要求工具箱：光栅工具箱 <]?7 1{7X
SkV pZh 相关应用案例：案例090.01，案例246.01 ~V(>L=\V; hg12NzbK 一、模拟任务： ]|F`;} 7 二、光栅的描述 .;31G0<w2
,w "cY?~< 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 4r;le5@
iM!V4Wih6 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 )Fd)YJVR
EE09 Er %\ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 ] ,AtR1k
&H+ wzx< 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” tY#&_%W
2 G|}ENC 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 . +2:~%v6
@}jg5} 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 /E/6(c &7kLSb&|; DaH4 Br.2 HziQ%QR 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm no\G
># L m$K R!z KdiJ'K. 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm 8F\'? 7 q: F6MW K4Ed ] hX 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm *#p}FB2H# a@ |`!<5 + d >2 ' 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm 6k')12~' % eF=;q LB7 $&.m'B 5. 参数运行 @ #J2t#
Q_/UC#I 8 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 DM6(8df(
9XUYy2{G 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 z+fy&NPl ,*Wh{) 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 ;|= 5)KE Qt"jU+Zoy ~A/v P- Yk{4 3yw 7. 总结 1=_?Wg:
{niV63$m 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 T*k{^= 6"!
(CA V Oed 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 `j2|aX
%Z*
{JQV~rfh` 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 6 X2w )cO *ax&}AHK[/
abe5 As r QQ：2987619807 ^~B#r #
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