-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2024-11-13
- 在线时间1509小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
在本示例中,模拟了衰减相移掩模。 该掩模将线/空间图案成像到光刻胶中。 掩模的单元格如下图所示: {nWtNyJpS )%W2XvG *8HxJ+[,[ w9}IM149 掩模的基板被具有两个开口的吸收材料所覆盖。在其中一个开口的下方,位于相移区域。 F}mwQ%M x}24?mP 由于这个例子是所谓的一维掩模(线/空间模式),在xy平面中有一个2D仿真域。在源文件中设置3DTo2D = yes标签,以执行用户自定义传入方向的自动转换。启用此标记后,就可以描述传入区域,就好像光轴与Z轴重合一样。这允许统一设置2D和3D的掩模模拟项目。由于光线从基板下方进入,光线的传输方向为+Z方向。 Cd*C^cJU&z @k;3$ 相位分布如下图所示: .Zm } Xm+3`$< Y'":OW#oN c_=zd6 b$S 相移区域的影响清晰可见,导致开口上方光束的180度相位差。同时光场的S和P分量也显示出相位差: &cejy>K 0|k[Wha# "TCbO`mg jYx( f;6d/?= ~ QQ:2987619807 |W[rywxx
|