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摘要 $"{I|UFC yxy~N\0 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 5G WC I oC}0C7
XCE<].w @Yzb6@g" 建模任务 ,mD{4 >7 Y^}c+)t
Vs&Ul6@N PA${<wyBR_ 通过参数耦合自动定位探测器 7V;wCm#b ]=sGLd^)E 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 j:J7 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 ZTi KU) 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 qfB!)Y Q+^ "v]V`d
^$J.l+<hy \yA*)X+ 参数耦合过程 `&o>7a; 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: s!j vBy - f%J_`
3rVWehCv ,V #r 探测器索引选择 4k=LVu]Kcr d?1[xv; 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 sKGR28e $or8z2d1
>I*uo.OF r>7Dg~)V 斜入射 l=ZX9<3 pq<2:F:Kl
[X'u={ Q`(.Blgm; 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 P#ot$@1v ZD`0(CkXb 性能评估 - 斜入射 A$XmO}+ APL #-`XC
pwr]lV$w Xe:e./@ 轴上&离轴照明 R\n*O@E
v3 9i/VvW 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 >iFi~)i_4y =&v&qne9
-!pg1w06 Lsz)\yIPj 性能评估 - 离轴照明 8/+x1, S% j\@osjUu QB#rf=' }Jk=ZBVjT7 VirtualLab Fusion技术 *WZ?C|6+ ub=Bz1._
E3,Nc`'m9 szU_,.\ 文件信息 "gGv>]3 ""u>5f
J:Ncy}AO rQ287y{ \ q=Bbfzv QQ:2987619807 Fd/.\s
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