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摘要 +L.D3 [TUs^%2@ 在此示例中,针对特定入射角研究了F-theta物镜的焦点(PSF)。为了避免因离焦照明导致的焦点偏移而引入的额外计算量,根据光的主传播方向来移动探测器位置。使用VirtualLab的参数耦合工具自动调整探测器的位置。 8IxIW0 "JLE n^l*oEl "a~r'+'< 建模任务 $%"hhju '\op$t/ -C~zvP;a rEC 通过参数耦合自动定位探测器 :):vB EsX(<bx 参数耦合允许用户通过一个小脚本“片段”定义所需系统参数的变化。 O< /b]<[ 因此,独立输入参数值的任何变化都会同时导致从属(耦合)参数的变化。 !9KDdU 在此示例中,我们将所需检测器的横向位置与主光线的位置重合。 z\ONwMl \aM-m:J x7<l*WQ _D?/$D7u#% 参数耦合过程 lZ[J1:% 为了找到探测器的适当横向位置,通过应用参数耦合代码段执行附加的光线追迹步骤。可以导入此特定代码段: 7.ein:M|CB j$/#2%OVN 6fI2y4yEz -.MJ3 探测器索引选择 HK<S|6B7V Et(H6O8 必须在代码片段的specification选项卡中指定探测器的唯一索引。 ^AJ
2Y_}v &g23tT#P? *C+[I 6|f8DX%3V 斜入射 KA{QGaZ/ p!=8 Pq. -=8f*K[W
8J$1N*J| 现在,如果改变平面波光源的传播方向,探测器的位置就会自动调整。在此示例中,15°的角度将导致x方向上26.3mm的偏移。 YlG#sBzl aZ\Z7( 性能评估 - 斜入射 v@yqTZ uE (5q!/
=A'JIssk XP% _|Q2X 轴上&离轴照明 /|UbYe, <bg6k . s 在离轴照明的情况下,探测器的位置也会自动调整。在此示例中,100μm的位移是由参数耦合自动考虑的。 @jMo/kO/A uuD2O )v &1^~G0Rh\ `RE>gX 性能评估 - 离轴照明 %@)q=*=y iM:-750n/ M.MQ?`_"b aBY&]6^- VirtualLab Fusion技术 {cLWum[SY 2
V \hG?< #4LTUVH F-ofR]|)> 文件信息 J>#yA0QD2 u #}1
M }93FWo. u^E0u^ ,Fkq/h QQ:2987619807 Z"w}`&TC$^
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