目录 f*R_\ 1. IPVAR 以质心为参考点优化 OPD "N[gMp6U 2. CFIX {C/E/R} 自定义孔径形状 TJGKQyG$L 3. ZCSTOP 定义不同变焦位置的光阑孔径 <3]/ms <pa];k(IQL
k3htHCf*G$ IPVAR V1+o3g{} · IPVAR 操作数以图像质心作为 OPD 参考点,以波前方差为目标。因此,它不同于GNV,GNV以主光线点为基准。它在格式上也不同。需要使用 M tar wt...格式,这种格式与光线像差相同。 W} +6L| I$P7%}
eC1c`@C: IPVAR示例 d T-O8 · 示例:对simple_triplet.rle 进行优化。 ?[|4QzR · 未加 IPVAR 指令的优化宏和优化结果如下: CEJG=*3 uS+b* :
E4fvYV_ra #| e5
t6U+a\-<
CI]U)@\U
· 添加了IPVAR指令的优化宏和优化结果如下:
]r{#268
f>JzG,-
w})&[d
IPVCFIX {C/E/R}
· CFIX 命令更加强大。CFIX {C/E/R} 将重新定义当前所有孔径为圆形、椭圆形或矩形的硬孔径。如果在 FFBUILD 输入中使用 XCAP 命令使孔径为非圆形,且希望后续更改孔径类型,则可以使用 CFIX {C/E/R} 指令。 b*%WAVt2T
C@:N5},]
CFIX示例
· 示例: 5-MIRROR SYSTEM.RLE =GS_ G;Dz · 该系统孔径均为软孔径 Y~\xWYR ZI:d&~1i1
· 然后,在Command Window 中输入 ,2L,>?r6 CHG 9~ .BH;ku XCAP 6b5{ END Iw-6Z+ 94 · 以声明X和Y方向上的孔径。 N
pIlQaMo4 7JK 'vT
(6_/n&mF ^|axt VhMO
·现在,将所有软孔径更改为硬孔径。在 Command Window 中输入 4w CHG :zTj"P>"I CFIX R tj Bv{ END #B{F{,vlu, ZCSTOP
· ZFILE 变焦镜头中新增选项 ZCSTOP。如果 ZFILE 输入中包含 ZCSTOP,并且镜头文件中有 CSTOP,则程序将根据光线路径重新计算每个变焦位置处光阑上的硬孔径 CAO。 S6Xw+W02 ZCSTOP示例
· 在不同变焦位置处在 CW 输入 CAP 查看孔径,光阑孔径一致。 S %%qn W;j)ux7jMY
U%6lYna{M#
[+2^n7R
· 在宏文件中添加 CSTOP 指令,在 ZFILE 处添加 ZCSTOP 指令,重新运行宏
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t"m`P1
在不同变焦位置处在CW输入CAP查看光阑处的孔径
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A^jm<~
问题修复
· 修复了MSS对话框和用户手册中开关列表不一致的问题。 /]UNN~( vTa23YDW SYNOPSYS中文版已发布,欢迎大家申请试用 CKK5+