目录 Zt!A!Afu 1. IPVAR 以质心为参考点优化 OPD Z-Qp9G'
2. CFIX {C/E/R} 自定义孔径形状 C)z4Cn9# 3. ZCSTOP 定义不同变焦位置的光阑孔径 N!7}B WHY/x /$
R~4X?@ZB IPVAR 80*hi)ux[
· IPVAR 操作数以图像质心作为 OPD 参考点,以波前方差为目标。因此,它不同于GNV,GNV以主光线点为基准。它在格式上也不同。需要使用 M tar wt...格式,这种格式与光线像差相同。 G n]qh(N> CpO_p%P
^PTf8o IPVAR示例 PlGif) · 示例:对simple_triplet.rle 进行优化。 Bz/Vzc( · 未加 IPVAR 指令的优化宏和优化结果如下: &2y4k"B&) cK+TE8ao
s2{SbOBis
VTu#)I7A^@ ,2nu*+6Y/
/RxP:>hVv · 添加了IPVAR指令的优化宏和优化结果如下:
"Gp[.=.z?
TC?B_;a y4Jc|)
IPVCFIX {C/E/R}
· CFIX 命令更加强大。CFIX {C/E/R} 将重新定义当前所有孔径为圆形、椭圆形或矩形的硬孔径。如果在 FFBUILD 输入中使用 XCAP 命令使孔径为非圆形,且希望后续更改孔径类型,则可以使用 CFIX {C/E/R} 指令。 2K91E} dT|f<E/P
CFIX示例
· 示例: 5-MIRROR SYSTEM.RLE AU$~Ap*rsa · 该系统孔径均为软孔径 TlS? S+
CJ\a7=*i · 然后,在Command Window 中输入 )x|;%.8FX7 CHG NS[eQ_rT XCAP zl@^[km{ END 0N,<v7PX · 以声明X和Y方向上的孔径。 l(?B0 XP@dg4Z=z
vmqa_gU\
X_TjJmc ·现在,将所有软孔径更改为硬孔径。在 Command Window 中输入 35& ^spb CHG &u.{]Yjx CFIX R KS$t END
e^Zm09J ZCSTOP
· ZFILE 变焦镜头中新增选项 ZCSTOP。如果 ZFILE 输入中包含 ZCSTOP,并且镜头文件中有 CSTOP,则程序将根据光线路径重新计算每个变焦位置处光阑上的硬孔径 CAO。 \Fz9O-jb4 ZCSTOP示例
· 在不同变焦位置处在 CW 输入 CAP 查看孔径,光阑孔径一致。 4!/JN J
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KNx/1lf · 在宏文件中添加 CSTOP 指令,在 ZFILE 处添加 ZCSTOP 指令,重新运行宏
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在不同变焦位置处在CW输入CAP查看光阑处的孔径
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o&?c,FwN 问题修复
· 修复了MSS对话框和用户手册中开关列表不一致的问题。 d05xn7%!{ _Op%H) SYNOPSYS中文版已发布,欢迎大家申请试用 OIrm9D#