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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 4SxX3Fw l_d5oAh
关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) K\Wkoi5 s/#!VnU6 所需工具:Grating Toolbox Basic -`h)$&, Ynj,pl 相关Tutorials:G.001; G.014 A}9`S6 @@ 建模任务 gPI
?C76 oJz^|dW 理想平面波照射 N:/D+L +~$ ]}% 7>%8eEc *L^,| Wqw1J=] BX7kO0j 镀膜倾斜光栅 zwjgE6 目标平面 E{`fF8]K 6%_nZvRv 周期:10um 6A-|[(NS 厚度:10um qR8Lh( "i 倾斜角度:20度 V b ?oJhR wlqksG[B 光栅的参数 tS=(}2Q FTUv IbT —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 kn4`Fa;)O !l8PDjAE —填充因子 2—后面的介质 .M%}X7 —膜层厚度 3—膜层材料 '-~~-}= sJ —光栅厚度 ,#9PxwrO (hbyEQhF #)O65GI S4z;7z(8+ c-5)QF) z +=</&Tm 设置层数和转折点 bWU'cw BW4J> { 3XV/Fb}!(i 2 设置层数和转折点以确定膜层 /y}xX `d}2O%P 2FJ*f/ 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 @:#eb1<S s.C_Zf~3 X
l5 A
'h 实现可编程光栅 8{sGNCvU u^ ~W+ @\#td5' %Q|Atgp cVF"!. (*iHf"=\ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) jNk%OrP] i8]S:4 9 SwMc
pNo 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 6j}9V
L77 0 kW,I $>LQ6|XRu oCz/HQoBk aPL+=5 8r 4.t-i5 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 9\7en%( M }qD\0+`qi D*d]aC 2 双击Data Series Diagram _oeS Uzq. sQZhXaMa $ 采样结果 4o[{>gW H qx-;F~0 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. N;`n@9BF IH+|}z4N?> QQ:2987619807
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