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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 l , ..5 <OTWT`G2 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ?hnx/z+uT zj<ahg%z 所需工具：Grating Toolbox Basic 2
P=[ j&5G\6: 相关Tutorials：G.001; G.014 iOX Z ]Xj5 建模任务 z
v>Oh# e }c&LDgU 理想平面波照射 dL-i)F
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fZ[z F|>05 >8 YTK^ijmU6x 镀膜倾斜光栅 J! { Al 目标平面 ow$q7uf \R(R9cry 周期：10um *m9{V8Yi2 厚度：10um u:@U
$:sZ 倾斜角度：20度 Z|G/^DK! iK#/w1` 光栅的参数 8V9 [a*9 Oe51PE qn —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 VPt9 QL( %Tv^GP{} —填充因子 2—后面的介质 ?7
\\e ;j} —膜层厚度 3—膜层材料 [:iv4>Z Z —光栅厚度 Bq@zaMv =7% o E[ WF2NG;f=  } g|nz8
E V2 ) 7\ypW $O t 设置层数和转折点 *FK`&(B+}
%v+=;jw Pao%pA.<  2 设置层数和转折点以确定膜层 Iy';x ecj7BT[mLI "7,FXTaer 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 z [C3 G,XPT,:% {^}0 G^ 实现可编程光栅 bl ;zR rv>^TR*,! KL [ek  v .=/Y(J
2 rN ,D( h5"Ov,K3[ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） fY,|o3#  x[( ?# geM6G$V& 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） \ (
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: [q*%U4qGO 5GQLd  )J D(` 1u|V`J)0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） QAPu<rdJP  .fYZ*=P;c 8X$LC 2 双击Data Series Diagram r JJ[X4$ MFt*&%,JX 采样结果 $w#r"= )  l@JSK ;
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ytz SAbj *\uM.m0$
QQ：2987619807
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