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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 (r<F@)J !;k
^ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ZM =eiJZ 0J5$
Yw1'F 所需工具：Grating Toolbox Basic 4;IZ}9|G q.ppYXJUXi 相关Tutorials：G.001; G.014 puF*WxU) 建模任务 fB4zqMSfE '
#t1e] 理想平面波照射 nu16L$ ] Sc]h^B^7 tKi ^0vE8  #g
Rns i Nn?G C> ;O .;i,#Z 镀膜倾斜光栅 U! lWP#m 目标平面 Qeq=4Nq (b.Mtd 周期：10um 'HWPuWW 厚度：10um #
o\&G@e} 倾斜角度：20度 . Eb=KG Ao *{#z 光栅的参数 s*>B"#En $A: ?o?"7} —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 g3(?!f 3KKq1][ —填充因子 2—后面的介质 A1j A$ —膜层厚度 3—膜层材料 aSSw>*?Q —光栅厚度 MG,?,1_ & Op iVQr: !8J%%Ux&M  Y;sN UX
6"bdbV=t niCq `! 设置层数和转折点 wA%,_s /U 4e|(= W` )x&>Cf<,  2 设置层数和转折点以确定膜层 7(zY:9|( $0;D k, kx[ h41|n 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 N..@}} 1ZfhDtK( Zu^J X/um 实现可编程光栅 \XG\
] 2lh J [PU0!W;  Io)@u~y z
]1KF3$n0 sHMZ'9b 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {(`xA,El  ;c>IM] &28%~&L 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） )u5+<OG}= 7Dx <Sr! h@(S];. m[?gN&%nc  k*= #XbX ~ YrO>H` B 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） q*K.e5"'  :+}Eo9 Ha20g/ UN. 2 双击Data Series Diagram | <l=i( lhx]r}@'MC 采样结果 i}e OWi  g
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. o51jw(wO p EbyQ[
QQ：2987619807
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