[分享]衍射光学元件的产生及其结构数据的输出 [复制链接]

本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 d0``:  
关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图
', ~  
所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 NXo$rf:  
相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 fm]mqO  
3V=wW{;x  
建模任务 +-~8t^  
 PgIH(  
=hFIH\x  
o|(Ivt7jk  
Y\75cfD  
照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度 0h/bC)z  
Jx@_OE_vp  
建模任务 IJ\4S  
+lC?Vpi^  
uJ-Q]yQ  
2       扩散器参数： n x4:n@J  
—相位层：4 qJ(XW N H  
—像素尺寸：830*830nm 8! eYax   
RGE
gYOO  
—口径：1*1mm F3nYMf  
—周期：664,83*664,83um +a3H1 tt~  
2       结构数据输出为二进制格式 5<U:Yy  
2       需要的高度分布计算 Qe4O N3X!  
2       蚀刻掩模分解 M/?eDW/  
2       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 t
E'^O< K  
R*0]*\C z  
jRiXN%  
打开光学扩散器系统 Y%9$!  
~(*2:9*0  
.>#X*u  
>PuQ{T I  
2       DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. V#X#rDfJZ  
MHj RPh  
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2       文件在VL_Samples文件夹中 BSH2Kq  
2ieyU5q7#  
光学扩散器系统 ^?J3nf{  
f8e :J#jbS  
jQBL8<  
Zzn N"Si,  
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2       点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. +[vIocu  
模拟结果 ~Uw;
6VXV1  
>piVi[`  
Ty<."dyPW  
H2lQ(Y+H  
2       扩散器系统产生的光图样强度分布 Gr-~&pm  
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Fgu'  
传输器提取 <*Nd%C
a  
w**~k]In  
2       双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 | |"W=E  
传输器(transmission)提取 +Tt.5>N  
HmiG%1+{A  
s Poh\n  
?wP/l  
2       点击Show按钮显示光路中的transmission. Um^4[rl:#g  
'8Cg2v5&w  
扩散器传输 j(A>M_f;  
2##;[  
!\VzX  
{p.^E5&  
2       点击Cancel按钮 w_h{6Kc<  
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^P  
A+|bJ>q  
结构数据的产生 /!?b&N/d)  
EXMW,  
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;J$1  
~R&rQJJeJ  
-Ew>3Q  
C7O
8B;  
2      点击窗口上部以激活窗口 Lk)I;;  
yg.o?eML  
2       点击设计菜单中Structure Design +e^CL#Gs  
!2Gua1z!CJ  
结构数据的产生 qV9}N-sS  
<6Y|vEo!N  
15@2h  
2     该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布 `dw">z,  
B}S+/V` Y5  
2     近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 uI$n7\G!  
2     选择Target File Export以产生结构数据 -AD@wn!wCJ  
 svx7  
结构数据的产生 ^k*%`iQ  
|}L=e.  
OK)>QGl  
g$ HL::  
对话框可以计算微小结构透明板和镜面. eL>wKu:r  
2   选择Height Profile of Transparent Plate. tm/=Oc1p  
结构数据的产生 8 :WN@  
WMHYOJR  
2 设置正确的衬底和覆盖材料 =igTY1|af  
2 点击 B{b?j*fHJ  
Set按钮 X!:J1'FE  
结构数据的产生 ep~+]7\  
wo+`WnDh  
Q7<Y5+  
2         对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2         如果没有想要的材料文件打开，点击 X{Fr  
2 431v@  
Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料. c(uDkX  
je@&|9h  
Td,d9M  
结构数据的产生 >|, <9z`D  
T ay226  
tmOy"mq67  
2       选择材料目录Miscellaneous <o9AjASv\,  
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F-  
2       选择材料PMMA ~r?tFE*+  
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