[分享]衍射光学元件的产生及其结构数据的输出 [复制链接]

本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 zJ_My&~  
关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图 +Ag#B*   
所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 \e0x,2  
相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 %kW3hQ<$  
v>k b^38  
建模任务 Y[,U_GX/R  
jl@K!=q  
!F,s"  
+V89J!7  
C~_q^fXJt  
照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度 UP*yeT,P,  
I,9~*^$  
建模任务 i ~P91  
P.1Qc)m4  
-;S3|  
2       扩散器参数： ASM1Y]'Z  
—相位层：4 ds')PIj  
—像素尺寸：830*830nm QvNi8TB  
J{x##p<F$  
—口径：1*1mm WiwwCKjSa  
—周期：664,83*664,83um !g/_w  
2       结构数据输出为二进制格式 dcR6KG8  
2       需要的高度分布计算 GiFf0c 9  
2       蚀刻掩模分解 h%|9]5(=  
2       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 ^EUQ449<p  
t5A[o7BS  
M'vXyb%$1  
打开光学扩散器系统 MIJ%_=sm4:  
5?)}F/x  
~Gwas0eNa  
WT1q15U(=  
2       DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. <WgG=Kf)N  
GMyoSe%1/  
-MsuBf  
2       文件在VL_Samples文件夹中 81cv:|"  
Z#[>N,P  
光学扩散器系统 >4#tkv>S.  
X.:
_"+I;  
>02i8:Tp5K  
s+Cl  
}v,W-gA  
2       点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. >DkN+S  
模拟结果 8UlB~fVg  
&0FpP&Z(  
Yoj~|qL  
,!8*g[^
O  
2       扩散器系统产生的光图样强度分布 d+1L5}Jn  
U8Cw7u2  
传输器提取 )3+xsnv  
?BXP}]  
2       双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 l6yB_M
  
传输器(transmission)提取 ?%_]rr9  
38OIFT  
`*|LI  
xu0;a  
2       点击Show按钮显示光路中的transmission. k?z [hZg0  
(0O`A~M3  
扩散器传输 #wq
;^)>  
n">?LN-DC  
U+I3P  
b0rt.XB  
2       点击Cancel按钮 kJVM3F%  
w;z@py
  
}:K\)Pd  
结构数据的产生 N8u_=b{X  
4'd;'SvF  
4Xa.r6T_N=  
Hz8Jgp  
kG_&-b  
./aZ

V  
2      点击窗口上部以激活窗口 PxdJOtI"  
oxxE'cx{g  
2       点击设计菜单中Structure Design dn:|m^<)  
mmh nw(/  
结构数据的产生 P\Pc/[ Z7  
 3D[:Rf[  
<yX@@8  
2     该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布
WzNG<rG  
NzwGc+\7}  
2     近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 '_Hb}'sFI  
2     选择Target File Export以产生结构数据 ^D>/wX\u  
@k#z&@b  
结构数据的产生 f@,hO5h(_|  
A3<P li  
* wQZ'  
Vj9`[1}1Z  
对话框可以计算微小结构透明板和镜面. U?+30{hb  
2   选择Height Profile of Transparent Plate. >Gw%r1)  
结构数据的产生 *NX*/(Q  
_s*uF_:3  
2 设置正确的衬底和覆盖材料 O(:u(U7e  
2 点击 f%(e,KgW=  
Set按钮 kW7&~tX  
结构数据的产生 -jklH/gF\%  
q]wn:%rX  
$bM#\2'  
2         对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2         如果没有想要的材料文件打开，点击 yF [@W<  
bb0{-T)1  
Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料. ,<Do ^HB/  
U:T5o]P<  
4G68WBT  
结构数据的产生 AQ_#uxI'oa  
~ 33@H  
FSXKH{Z  
2       选择材料目录Miscellaneous s$3eJ|  
`G:qtHn"Q<  
2       选择材料PMMA Fg}5V,  
;d'O.i=  
6:7:NIl:  
Vq;{+j(