[分享]衍射光学元件的产生及其结构数据的输出 [复制链接]

本案例计算从传输中得到的衍射光学元件的高度分布和结构数据的产生 Buc_9Kzw<+  
关键词：衍射光学，衍射光学元件，结构数据，GDSII，ASCII，位图 mf$j03tu  
所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在试用版本中不可用。联系LightTrans或者当地经销商可申请一段全版本的试用。 dSK0h(8  
相关Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 0{rx.C7|  
>IvBUM[Rt  
建模任务 [s6C ZcL  
,Qc.;4s-  
Fz"ff4Bx [  
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照射光束强度               衍射扩散器                                              产生的光图样强度 Ej
(2w Q  
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建模任务 wT_^'i*@I  
6SEltm(  
RXSf,O  
2       扩散器参数： !q/5yEJ>h  
—相位层：4 !$xu(D.  
—像素尺寸：830*830nm Bq}x9C&<  
! q6hC  
—口径：1*1mm H'Qo\L4H  
—周期：664,83*664,83um }[=YU%[o:  
2       结构数据输出为二进制格式 3VO:+mT  
2       需要的高度分布计算 4O$2]D.\  
2       蚀刻掩模分解 x mo&![P  
2       蚀刻掩模输出为位图和GDSII文件 mb1IQ &  
gY5l.&  
%J P!{mqj  
打开光学扩散器系统 >{&A%b4JF  
C3"&sdLb$  
_/x&<,3  
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2       DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. *o4%ul\3Y|  
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PdE>@0X?M  
2       文件在VL_Samples文件夹中 rK=6]j(K  
IC~ljy]y_  
光学扩散器系统 ww,
Z )m  
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i\x~iP&F$  
^Q2ZqAf^a  
w-rOecwFvu  
2       点击Go!按钮开始模拟扩散器系统. ;'1Apy  
模拟结果 $KQ,}I  
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Bw-s6MS  
"$@,n7k  
2       扩散器系统产生的光图样强度分布 9q|7<raS  
P|}\/}{`  
传输器提取 I:&# U$  
l9Pu&M?5  
2       双击光路径图中的Stored Transmission打开编辑对话框 wRbw
  
传输器(transmission)提取 TzF0/T!  
\R Z3Hh  
wZ>Y<0,  
0vckoE  
2       点击Show按钮显示光路中的transmission. }tR'Hz2  
Wo3'd|Y~i  
扩散器传输 Xp^$ E6YFy  
[=~!w_  
[4gjC  
AU`OESSI  
2       点击Cancel按钮 iS05YW  
p#<nK+6.8  
Mjw[:70  
结构数据的产生 u}CG>^0C  
f\'G`4e  
.zwVCW,u  
b%<jUY  
qw0~*0}  
y:9?P~  
2      点击窗口上部以激活窗口 g RU-g  
n
pj5U/  
2       点击设计菜单中Structure Design >w2f8tW`PP  
4k*qVOBa6R  
结构数据的产生 D(@SnI+  
s((b"{fFb  
'\'7yN'  
2     该结构设计对话框计算采用薄元件近似的传输相位得到的高度分布 )|:8zDuJ  
40+fGRyOL  
2     近似对于大于5个波长的有效。对于越小的越不精确。 8J^d7uC  
2     选择Target File Export以产生结构数据 >vxWx[fRu  
2;}xN!8  
结构数据的产生 .S(^roM;+  
vC-[#]<  
Crg#6k1~EN  
R05T5Q1]A  
对话框可以计算微小结构透明板和镜面. PbQE{&D#  
2   选择Height Profile of Transparent Plate. BArJ"t*/z  
结构数据的产生 D/*vj|  
8nf4Jk8r  
2 设置正确的衬底和覆盖材料 u{pTva  
2 点击 G\uU- z$)  
Set按钮 \CDAFu#  
结构数据的产生 rr>IKyI'  
sB8p( L  
eoC<a"bJ>  
2         对话框显示所有打开的材料文件的菜单 2         如果没有想要的材料文件打开，点击 P2|}*h5(  
~{9x6<g!  
Load from Catalog 按钮从catalog中得到材料. FfjC M7?  
y^, "gD  
%qONJP  
结构数据的产生 <BQ%8}  
z3ZuC{  
#'#4hJ*YC  
2       选择材料目录Miscellaneous 01-p `H+  
H]U"+52h  
2       选择材料PMMA qPp]K?.  
2-p8rGI_F  
V02309Y  
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