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>ZOZv 1.Horos—光学粗糙度传感器。 _3g %F 2.测量样本。 b_"V%<I 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 8?]%Qi 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 jw6 ng>9 +eVpMD(
l 系统简介 %'p|JS <jg
wdbT"6 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 //@sktHsw( :5qqu{GL 特征及技术参数 9EY_R&Yq% [eTck73 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 YP@?j - 灵敏度R_q<0.5 nm LVz%$Cq,0 - 测量时间: < 1 s。 g^|_X1{ - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 :O_<K& <=LsloI FCw
VVF0y 传感器: A&@jA5Jb {Rh+]=7 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。
19.!$; v\L Ip 应用: 6CzvRvA*P Q-3J0= 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: hJL0M! - 平面或复杂(自由形状)表面。 p>hCh5 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 -_H2FlB - 机械零件。 1Y"y!\t7G - 汽车工业。 j$/uJ` %#;(]7Zq _jI)!rfb QQ:2987619807 we@En
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