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NXrlk 1.Horos—光学粗糙度传感器。 ^09,"<@k 2.测量样本。 T0)@pt7> 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 U5de@Y 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。
/J;Kn]5e /U9"wvg 系统简介 (\x]YMLH qX{+oy5 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 YS0<qSN (!WD1w 特征及技术参数 g($2Dk_F2 "chDg(jMZ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ~9@UjQ^)F - 灵敏度R_q<0.5 nm ?e 4/p - 测量时间: < 1 s。 {`@G+JV~Jw - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 R\[e!g*I c^W)07-X5y 'H;*W |:-] 传感器: (GfZ* Km$\:Xo Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。
x.$FNt(9 gPPkT" 应用: |+9&rAg \9T7A& 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: nu%*'. - 平面或复杂(自由形状)表面。 OneY_<*a< - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 ~t~|"u"P - 机械零件。 =I_'.b - 汽车工业。 +ZP7{% t ?FBG4 kAUymds;O QQ:2987619807 sW\!hW1*x
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