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xDU{I0M 1.Horos—光学粗糙度传感器。 J ^y1=PM 2.测量样本。 ^Pq4 n%x 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 9uNkd2# 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 Ju"*;/ h
"MiD 系统简介 R8*z}xy{ N'8u}WO 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 &RzkM4" 7j
]d{lD 特征及技术参数 V?.')?'V nkp, - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 6dCS Gb - 灵敏度R_q<0.5 nm g p2S - 测量时间: < 1 s。 v*.[O/,EBR - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ~`uEZ S^Lu RF]F '\MYC8" 传感器: v/fo`]zP
xe~lV Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 A*$JF>`7 _{]\} =@ 应用: S[2uez` 2~*J<iO&l 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: kgq"b) - 平面或复杂(自由形状)表面。 X3bPBv - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 Z4^O`yS9+ - 机械零件。 y*BS
%xTF - 汽车工业。 [eb?Fd~WB] y&-1SP< YKUb'D:t] QQ:2987619807 '@ $L}C#OI
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