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bdrg(d6 1.Horos—光学粗糙度传感器。 Oc#syfO 2.测量样本。 G@\1E+Ip 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 %6,SKg p 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 '~<m~UXvD# d#Y^>"|$. 系统简介 OA1uY83" Oh`69
k 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 m+R[#GE8# ) 1f~ dR88 特征及技术参数 dJoaCf`w t;Sb/ 3 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 F?*-4I- - 灵敏度R_q<0.5 nm ^WgX Qtn - 测量时间: < 1 s。 [< ?s?Ci - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ~O0 $Suv )3}9K
^jS =E4LRKn 传感器: kQSy+q ay
;S4c/_ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 1\~ "VF*{ /GN<\_o=q 应用: vn!3l1\+J k 8[n+^ 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: R6 .hA_ih - 平面或复杂(自由形状)表面。 BC#C9|n - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 b\kdKVh& - 机械零件。 jyUjlYAAv` - 汽车工业。 3>AMII M*, -zGr 2g-j.TM QQ:2987619807 KNvZm;Q6
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