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PtVo7zOye 1.Horos—光学粗糙度传感器。 71k!k&Im 2.测量样本。 ysSjc 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 !p]T6_t]Q 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 ffmG~$Yh_ Ij;==f~G 系统简介 r.^0!(d T7>48eH 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 S+.21, ;,v!7 特征及技术参数 eVqM=%Q A|p@\3P*A - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 ;yk9(wea}" - 灵敏度R_q<0.5 nm +Od1)_'\D3 - 测量时间: < 1 s。 o/tVcv - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 (w5u*hx 9nT?|n]> ~/^y.SsWM 传感器: 5xh!f%6 52>[d3I3 Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 R'*<A3^ 8q_1(& O 应用: "-G&=( R(M}0JRm 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: Ivz+Jjw - 平面或复杂(自由形状)表面。 mDb-=[W5 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 E)KB@f<g* - 机械零件。 R'S c - 汽车工业。
$cRcap =jJ H^Y2 m(2G*} QQ:2987619807 y<O@rD8iA
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