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&'UYV> 1.Horos—光学粗糙度传感器。 w9h\J#f 2.测量样本。 }N1Z7G 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 e;56}w 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 b:Dr_| [:
X 系统简介 VC\43A,9 Kgi%Nd 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 yK<%AV@v 52BlFBNV 特征及技术参数 cejSGsW6q :Q=Jn?Gjb - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。
Q d]5e - 灵敏度R_q<0.5 nm Q_xE:#!; - 测量时间: < 1 s。 &)O X*y - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 7$+n"Cfm 1K&z64Q5J |0ahvsrtW 传感器: _K>cB<+d w%)=`'s_ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 W~
XJ ']e [ XjJsk, 应用: ~oh=QakW JNRG[j 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: R 28v5 - 平面或复杂(自由形状)表面。 b2.
xJ4 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 {=j!2v#8~ - 机械零件。 jm'(t=Ze - 汽车工业。 lqa.Nj KD*,u{v; oori t QQ:2987619807 ZkkXITQkPM
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