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i4T=4q 1.Horos—光学粗糙度传感器。 s>J\h 2.测量样本。 OSoIH`tA 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 Me 5Xd| 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 tTEw"DL_- #`]`gNB0Yg 系统简介 '+EtnWHs 21k,{FB'? 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 H 48YX(HI Es<& 6 特征及技术参数 &u`EYxT TWSqn'<E - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 >Nam@,hm - 灵敏度R_q<0.5 nm k3(q!~a:.} - 测量时间: < 1 s。 :+_uyp2V - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 Bnp\G h B4@1WZn<8 +Y?)? 传感器: 2dsXG$-W2 M^ZEAZi Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 `cQAO1-5 S>Z07d6 & 应用: Q~R% |Q{& %1mIngW=g 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: _V`F_C\\# - 平面或复杂(自由形状)表面。 XX7zm_>+ - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 uG7?:) pxv - 机械零件。 C/?x`2' - 汽车工业。 q nb#~=x^ Rp+Lu DD5cUlOSu QQ:2987619807 Qz4eQlWhp
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