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nqib`U@" 1.Horos—光学粗糙度传感器。 (n@&M!a 2.测量样本。 >t $^U 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 P # Z+:T 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 yd`f<Hr<m 1jj.oa] 系统简介 H3BMN}K~ t^<ki?* 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 7{u1ynt %4h$/~ 特征及技术参数 #)<WQZ) Sh o] ~)XX - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 >iWw
i'T= - 灵敏度R_q<0.5 nm OjY#xO+' - 测量时间: < 1 s。 T_4y;mf!@O - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ^36m$J $ Q-$EBNz OQ by=} A 传感器: ZfWF2%]< rp,PhS Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 ?\T):o;/ ]1i1_AR'` 应用: /Os;, g *Zk$P.] 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: An3%@; - 平面或复杂(自由形状)表面。 9uA2M!~i2 - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 P}$DCD<$U - 机械零件。 w!/se;_H+w - 汽车工业。 A>Oi9%OY: oxgh;v* CB%O8d # QQ:2987619807 /-&a]PJ
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