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w=]id'`?q 1.Horos—光学粗糙度传感器。 6KT]3*B 2.测量样本。 x""gZzJ$L 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 =2-!ay: 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 R`%C]uG aB@D-Y"HO 系统简介 k;aV4
0N9 aE]/w1a 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 RE*;_DF u/W 特征及技术参数 2|2'? j2\B(PA - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 9Rz TC - 灵敏度R_q<0.5 nm %qN_<W&Ze - 测量时间: < 1 s。 3RSiu} - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 btb$C k{M4.a[( o u%Xnk~ 传感器: a g=,oYn yWsJa)e3*@ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 #ZFedK0vv e15_$M;RW 应用: AHg:`Wjv- }a=<Gl|I;w 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: T~=r*4 - 平面或复杂(自由形状)表面。 ui_nvD: - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 a?63 5*9K - 机械零件。 ?\_\pa/+ - 汽车工业。 d#Hl3]wT ~3,>TV s"tyCDc.c QQ:2987619807 nDiy[Y-4Wp
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