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+Q0-jS#d 1.Horos—光学粗糙度传感器。 -$z " 74 2.测量样本。 :Xh`.*{EX 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 @$K q<P 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 J5( D7rp# h xJgxM 系统简介 iDc|9"|Tf3 6FMW g:{ 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 _O9H._E [:@?,?V\N 特征及技术参数 }/3pC a Vp"Ug,1 - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 0(9@GIT - 灵敏度R_q<0.5 nm z}2e;d 7 - 测量时间: < 1 s。 ATp 6- - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 bv>lm56 N4|q2Jvj6 eE`1;13; 传感器: YKOO(?lv ?$4R < Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 '?3z6% h^ $}1[ 应用: :P~&
b P 'oQP:*Btl3 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: kS#DKo - 平面或复杂(自由形状)表面。 RTBBb:eX - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 15o
*r - 机械零件。 -
zw{<+; - 汽车工业。 }Rxg E~F $_zkq@ (,c?}TP QQ:2987619807 ^WW|AS
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