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QAXyP 1.Horos—光学粗糙度传感器。 @/2Kfr 2.测量样本。 *@U{[J 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 +H)'(< 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 8{ zX= 6{Wo5O{!\ 系统简介 T1LYJ]5 )2}R1K> 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 |P|B"I<? ^^y eC|~N: 特征及技术参数 c_lHj#A(l 0-2|(9
Kc - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 *Gsj pNr- - 灵敏度R_q<0.5 nm 5]xuU.w' - 测量时间: < 1 s。 7|rH9Bc{U - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 3h@]cWp .~z'm$s1o E$8JrL 传感器: l_B735 fi+}hGj(r Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 j\>LJai" C2
N+X ( 应用: rK3kg2H 2RiJ m" 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: i"{O~[ - 平面或复杂(自由形状)表面。 uuzV,q - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 fXD+ - 机械零件。 %#6@PQ[R. - 汽车工业。
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q+P@2FL f/Gx}x= QQ:2987619807 Rr) 5[
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