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9s(i`RTM 1.Horos—光学粗糙度传感器。 7-X/>v 2.测量样本。 yc[(lq.^n 3.钻石旋转加工表面的测量结果。 @UO}W_0ZD 4.Horos—光学材料粗糙度传感器以及白光干涉仪测量结果比较 (样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)。 ck$M(^)l PyFj@n 系统简介 d/]|657u XMw.wQ'? 随着光学技术不断地发展,对于光学材料或光学薄膜的表面性能测量的需求也日益增多。horos传感器可直接测量表面粗糙程度。它具有非接触式测量,快速测量的特点。并且它的体积小便于移动。被测样本的规格从机械零件到具有纳米结构的光学表面均可。 ~p\n&{P0 r1;e 0\?` 特征及技术参数 +;dXDZ2 };r|}v !~_ - 可测量参数:粗糙度相关一系列值 (例如PSD,倾斜度等等),3D下散射光分布,检测是否各项同性等。 'B`#:tX^N - 灵敏度R_q<0.5 nm 5,R`@&K3D - 测量时间: < 1 s。 @o&Ytd;i - 与轮廓仪直接相连——测量结果可直接比较。 ;%Q&hwj f?^S bp w.uK?A>W, 传感器: 4sIXO M&f#wQ Horos (hight sensitive optical roughness sensor) 是一种小型的,便于移动的光学传感器。它以散射测量为基础,用于测量表面粗糙程度。测量范围可从微米级到亚纳米级。 4-V)_U#8 y(}Eko4u5 应用: s"coQ!e1. 3;l "=#5 可在下列领域中进行快速,不受周围环境干扰的质量检测: I+",b4 - 平面或复杂(自由形状)表面。 |1Hc& - 光学加工(表面加工,镀膜,制作模具等)。 . :a<2sp6 - 机械零件。 \I:.<2i - 汽车工业。 'I v_mig +/y]h0aa DsGI/c QQ:2987619807 QPs:R hV7
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