左图：角分辨光散射测量仪ALBATROSS；右图：532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
f!aE/e \ 系统简介 Wg
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K}!@ ALBATROSS（3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement ）是一个大型的测量样本反射光，透射光，以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高，并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光，也可测量光散射的光谱特性。 B!zqvShF AV*eGzz ` 特征及技术参数 ^NPbD<~Lb
7 O.{g - 可测量参数：散射光（角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF， W^AY:#eX~Q - 双向透射分布BTDF，散射损耗），θ-2θ测量，反射，透射。（3D） +qzCy/_gd - 入射光与探测器可共面或异面。 FkJX) - 入射角，散射角（方位角和极角）以及光源的偏振态均可调整。 K7N.gT *4 - 可对样品进行扫描。 V_-{TGKX - 动态范围： 13个数量级。 aj)?P
- 最低ARS级别：5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 N_Y*Z`Xb - 对粗糙度的最小分辨率：< 0.1 nm 。 9 ?~ Y - 波长范围：225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 Oe[qfsdW - 样本规格：最大尺寸直径700mm。 ]J* y `jn - 方便操作的测量及分析软件。 &9F(uk=X - 可分析值： 粗糙度，PSD等。 >hbT' Or@ bxA1fA; 应用 ,Y3wXmG
ie% _- 对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析 n%YG)5; - 产品质量检测。 hpVu
- 光学性能分析。 Lc:DJA - 粗糙度分析。 .A2u7*h& J \ V.J/
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