左图:角分辨光散射测量仪ALBATROSS;右图:532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
8U!; 系统简介 J_tj9+r^
"@!z+x[8 ALBATROSS(3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement )是一个大型的测量样本反射光,透射光,以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高,并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光,也可测量光散射的光谱特性。 Z&W|O>QTl usiv`.
特征及技术参数 '$u3i
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*_d+c G - 可测量参数:散射光(角分辨散射ARS,双向反射分布BRDF, kR%bdN - 双向透射分布BTDF,散射损耗),θ-2θ测量,反射,透射。(3D) o)'u%m - 入射光与探测器可共面或异面。 *OU>s;"$ - 入射角,散射角(方位角和极角)以及光源的偏振态均可调整。 65bLkR{0
- 可对样品进行扫描。 6zs&DOB - 动态范围: 13个数量级。 Q g=k@ - 最低ARS级别:5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 kYBTmz}z - 对粗糙度的最小分辨率:< 0.1 nm 。 NVx`'Il8
" - 波长范围:225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 ?(GMe> - 样本规格:最大尺寸直径700mm。 `j*&F8} - 方便操作的测量及分析软件。 ^,zE Nqg7 - 可分析值: 粗糙度,PSD等。 Mw!?2G[| vlCjh! x 应用 HM%n`1ZU
$2E n^ 对表面,薄膜以及材料性质进行表征和分析 $|.x !sA - 产品质量检测。 F\!;}z - 光学性能分析。 bHcb+TR3 - 粗糙度分析。 <tK6+isc (gBP`*2
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