左图：角分辨光散射测量仪ALBATROSS；右图：532 nm滤光片在不同波长下的ARS分布。
-p_5T*R 系统简介 d#0:U
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(L*GU 7m; ALBATROSS（3D-Arrangement for Laser Based Transmittance, Reflectance and Optical Scatter measurement ）是一个大型的测量样本反射光，透射光，以及散射光分布的实验室测量系统。其特点是对角度的灵敏度高，并且该系统可以测量三维空间中的散射分布。被测样本包含光学和非光学表面以及其他光学材料和光学元件。其光源系统为变频OPO激光，也可测量光散射的光谱特性。 m}wn +R *I(6hB 特征及技术参数 "5V;~}=S
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/[ ${X - 可测量参数：散射光（角分辨散射ARS，双向反射分布BRDF， C K7([>2 - 双向透射分布BTDF，散射损耗），θ-2θ测量，反射，透射。（3D） (NvjX})eh - 入射光与探测器可共面或异面。 `xBoNQai - 入射角，散射角（方位角和极角）以及光源的偏振态均可调整。 OKMdyyO<l - 可对样品进行扫描。 gPKf8{#%e - 动态范围： 13个数量级。 8<C*D".T$ - 最低ARS级别：5×〖10〗^(-8) 〖 sr〗^(-1)。 |&= -Nm - 对粗糙度的最小分辨率：< 0.1 nm 。 [j0[c9.p [ - 波长范围：225 nm 至 1750 nm (光谱带宽<0.05 nm)。 >4X2uNbZS - 样本规格：最大尺寸直径700mm。 k\ #; - 方便操作的测量及分析软件。 `MSig)V - 可分析值： 粗糙度，PSD等。 1X2j%q I& GM%OO)dO} 应用 /9R0}4i7
fIoc)T 对表面，薄膜以及材料性质进行表征和分析 :0l+x 0l} - 产品质量检测。
juOStTq< - 光学性能分析。 { Ge{@1 - 粗糙度分析。 ;Sivu- % M
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