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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 s )7sgP  
     <4 D.H  
    任务/系统说明 !mu1e=bY>  
    w72\'  
    2NZC,znQ  
    ,<]~/5-f  
    亮点 .=/TT|eMS  
    Ab:+AC5{  
    &u9@FFBT8  
    _K<Z  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) h0zv @,u  
     严格分析光栅衍射效率 ]Jx_bs~g  
     考虑入射光的方向分布 M I R))j;  
    kZ<"hsh,Y'  
    说明:光源 1p COLC%1  
    '2xfU  
    Kb*X2#;*  
    Ag0)> PD^  
    说明:光束分束器 )~ghb"K  
    .v_-V?7  
    75*q^ui  
    QK(w2`  
    说明:检测透镜系统 oaM 3#QJ  
    L31#v$;4  
    05Y4=7,!  
    ;.&k zzvJ  
    说明:微型晶片 EOzw&M];r  
    6"u"B-cz  
    .dTXC'  
    ,*d<hBGbh  
    说明:检测物镜 Xx e07J~  
    dNT<![X\  
    m53~Ysq<  
    m"RSDM!  
    说明:探测器 9]PMti  
    Z:Y_{YAD  
    ]r(s02  
    &W$s-qf".  
    结果:3D光线追迹(只有0级) .[C@p`DZ  
    y5`$Aa4~  
    )5/,B-+O"  
    ,^uQw/  
    结果:3D光线追迹(所有级) -^&NwLEv=  
    cOvdC4  
    _j}jh[M  
    U\x $@J  
    结果:光线追迹 9 1ndr@*|  
    ,V.Bzf%=O  
    {&0u:  
    W|AK"vf  
    结果:场追迹 *`~]XM@H  
    eizni\  
     } @4by<  
    \<W/Z.}/  
    结果:线性偏振光的场追迹 U~q2j#pJ  
    W>y &  
    Rh#QPYPq  
    rIQ%X`Y  
    文档和技术信息 B*AB@  
    D2 X~tl5<  
    K2!GpGZu  
    yGvBQ2kYb  
    BKk+<#Ti  
    QQ:2987619807 xt1Ug~5  
     
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