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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 wp83E,  
    x4h.WDT$  
    任务/系统说明 FzykC  
    yo8mfH_,  
    AxeQv'e  
    j#u{(W'r  
    亮点 N3zZ>#{  
    5$Kd<ky  
     2%pU'D:  
    KoA+Vv9  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Yf/e(nV  
     严格分析光栅衍射效率 {{B'65Wu  
     考虑入射光的方向分布 :iGK9I  
    C/QrkTi=  
    说明：光源 MPKrr  
    It<VjN9  
    \RtFF  
    ^I yYck'y+  
    说明：光束分束器 y^[t3XA6Q  
    }%AfZ 2g;h  
    @.c[z D  
    `%^w-'  
    说明：检测透镜系统 Vf.*!`UH  
    Bp@\p)P(  
    Onh R`  
    eo@8?>}{X  
    说明：微型晶片 /n6ZN4  
    WnOvU<Z <  
    NFP h}D  
    cM CM>*X  
    说明：检测物镜 cK2;)&U7  
    1B:5O*I!J  
    ,0ilNi>  
    rqnxRq  
    说明：探测器 V;^N:I\js  
    Zy.A9 Bh~  
    )_OGt[_H  
    "5z@A/Z/  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Q2)(tB= )  
    )q.ZzijG/  
    D?8(n=#[  
    )Vrp<"v  
    结果：3D光线追迹（所有级） edCVIY'1  
    Ju&FwY+  
    Z {:;LC  
    GU9G5S.  
    结果：光线追迹 +> d;%K  
    FCOa|IKsN  
     SSTn |  
    ?B$L'i[l  
    结果：场追迹 P-$ ,  
    k Jw Pd;%  
     xK)<7 63q>  
    A.@wGy4  
    结果：线性偏振光的场追迹 xIW]e1pu=(  
    y\(xYB>T  
    _~{J."q  
     3 {hUp81>  
    文档和技术信息 Z!Z{Gm3  
    aMxj{*v7  
     $G6kS@A  
    k@s<*C  
     u^B!6Sj8  
    QQ：2987619807 gm n b  
     
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