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成像系统>包括光栅 MDl Hc5@gN 任务/系统说明 5JIa?i>B ;:8_H0X'K /|`;|0/2 zrD$loaW.' 亮点 Pm7,Nq)<>n <yE(p "4&HxD8_ih lmQ!q>N 在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) j#3}nJB%#i 严格分析光栅衍射效率 W446;)?5 考虑入射光的方向分布 M+
8!#n OT{qb!eYI 说明:光源 9%>H}7= L8TT54fM 9 qqy( H ol:,02E& 说明:光束分束器 TW:vL~L v^HDR 3I \02j~r`o /vD5C 说明:检测透镜系统 Ajs<a(,6 8 y/YX #W~5M ?+ f/eT4y 说明:微型晶片 lk2F]@_kJH 0$":W QKE$>G
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