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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 obdFS,JxxG  
    KIR'$ 6pn~  
    任务/系统说明 R'kyrEO  
     O+%WR  
    (`SRJ$~f  
    .(pN5JI*  
    亮点 /C/id)h>  
    pO8ePc@=D  
    jTLSdul+  
    'J,T{s1J  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) _qb Ih  
     严格分析光栅衍射效率 I^oE4o  
     考虑入射光的方向分布 D")_;NLE1  
    }g$(+1g  
    说明:光源 V([~r,  
    #gm)dRKm%  
    5{n*"88  
    spasB=E  
    说明:光束分束器 )DYI .  
    W8lx~:v  
    DGevE~  
    J9K3s_SN  
    说明:检测透镜系统 AfG/JWSo}  
    jy]JiQ B  
    PjN =k;  
    nFe%vu8a  
    说明:微型晶片 )sho*;_o  
    }(egMx;"3J  
    }K8/-d6  
    K |DWu8  
    说明:检测物镜 ' B  
    *D'$"@w3  
    e^ lWR]v  
    c)@>zto#  
    说明:探测器 S1/`th  
    _ Ro!"YVX  
    V/LQ<Yke  
    ~4?9a(>3  
    结果:3D光线追迹(只有0级) nenU)*o  
    ;Ag 3c+  
    e@{i  
    F@R1:M9*  
    结果:3D光线追迹(所有级) c\% r38  
    ORu2V# Z[  
    RZ1 /#;  
    h^j?01*Et  
    结果:光线追迹 A>{p2?`+!  
    _0 gKK2  
    EC|'l  
    +:3*  
    结果:场追迹 "bDs2E+W  
    6%Be36<  
    O$IjN x  
    >J u]2++lx  
    结果:线性偏振光的场追迹 &i!vd/*WlD  
    kD[ r.Dma  
    sl2@umR7%(  
    aTf`BG{kw  
    文档和技术信息 :8A!HI}m{  
    9}z0J  
    ! ZU2{  
    7 bDHXn  
    fvb=#58N_  
    QQ:2987619807 \P1=5rP  
     
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