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成像系统>包括光栅 _l`s}yC n j7wc9z4 任务/系统说明 ?}N@bsl08w qGE? [\t[6  H nRd Ng6(2Wt0e 亮点 GY D`
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 0an g^v;q &DMKZMj<Q* 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Daa2.* 严格分析光栅衍射效率 .Jt&6N 考虑入射光的方向分布 S)@95pb O1.a=O 说明：光源 S >P TD@ uM8YY[b  CL^MIcq? WH.5vrY Z 说明：光束分束器 bBQ1 ~ R |/?)u$U<  TB]B l. QOECpk- 说明：检测透镜系统 ;P-xKRU!Xx QES[/i +  p7"o:YSQ U20G{%% 说明：微型晶片 JNzNK.E!m- rurC! -  UGy~Ecv EHT5Gf 说明：检测物镜 W*q[f!@ !O=J8;oLk  bF88F_ '"H'#%RU 说明：探测器 H1PW/AW ^X%{]b K  M]?#]3XBNo ! K~PH 结果：3D光线追迹（只有0级） zMT0ToG Nb [z+V {=  "}i\" x;s ~M 6^% 结果：3D光线追迹（所有级） 93|u.
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Efsfuv  *`:zSnu nn@"6 8]g 结果：光线追迹 T!uK _ l>RW&C&T
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 &L,zh{Mp bz[+g,e2oA 结果：线性偏振光的场追迹 3QDz0ct 8>Hnv]p  uE~ ? 2G
!< 3(+H 文档和技术信息 1(`>9t02/? BzL>,um
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