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成像系统>包括光栅 tnq Zl S {H
3wL 任务/系统说明 xg;F};}5$
%V(U]sbV  tNAmA >=3oe.$) 亮点 q%XjJ -s:
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 <4I `|D3@ z\K-KD{Ad 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） oF s )UR 严格分析光栅衍射效率 8]4W@~c 考虑入射光的方向分布 ayN[y /5Yl, P 说明：光源 NkAu<>
G _ =
jTC+0u  fyq %-Tj `mquGk|) 说明：光束分束器 7&Ie3[Rm_3 ~^o YPd52*  k40`,;}9 Lv # }Gm 说明：检测透镜系统 "}0)~,{x B - P4X@s_;  1W7ClT_cQ l4^MYwFR{O 说明：微型晶片 _t6 .9CXl g? C<@  ~le:4qaX c3O&sa
V! 说明：检测物镜 o\nFSG kn gi8f)MNP?~  (?P\;yDG z
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-Y 说明：探测器 _ ujhD .gCun_td#  WogCt, l^__oam 结果：3D光线追迹（只有0级） -hGLGF?? >{"E~U  :7s2M VrJf g 结果：3D光线追迹（所有级） I8\R7s3 ,
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 VD+v \X_ p }3$7CR/ 结果：线性偏振光的场追迹 IJLuu@kRm, c aL \ d  (b7',:_U7
sLc,Dx" + 文档和技术信息 CZ kmd 352RJC
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d}@n,3 QQ：2987619807 Gf -GDy\{
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