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成像系统>包括光栅 _Qv4;a <,m }TTq 任务/系统说明 J(Bn
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在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） +G?3j ,a\ 严格分析光栅衍射效率 .N%$I6w 考虑入射光的方向分布 `p!.K9r7 h.67] U7m 说明：光源 \UXQy{Ex L9x,G!  (vQShe\ (F
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( giI9- C  C4b3Z cD2 1f}Dza 9 说明：微型晶片 V482V#BP }+SnY8A=KZ  [ P
8e=; c0tv!PSw 说明：检测物镜 W] RxRdY6[ f1Rm9``  Z!*Wn`d-k 9;:Lf 说明：探测器 ?A]:`l_" ,\Cy'TSz  ` AYHCn S:Hg
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