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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ) w1`<7L  
    qN"Q3mU^h*  
    任务/系统说明 YZ k.{#^c  
    (UB?UJc  
    jf^BEz5  
    ;I/ A8<C  
    亮点 "}x%5/(  
    sx n{uRF  
    #I"s{*  
    -hY@r 7y  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) X5tx(}j  
     严格分析光栅衍射效率 'N3)>!Y:8  
     考虑入射光的方向分布 % aqP{mOO  
    3`TD>6rs  
    说明:光源 6Qk[TL)t  
    @GWJq 3e  
    ^m/7T wD  
    fgoLN\  
    说明:光束分束器 1N}vz(0"  
    Z0[d;m*  
    TjE'X2/  
    o1?S*  
    说明:检测透镜系统 , .E>  
    #:NY9.\o  
    4l`[,BJ  
    ^D76_'{  
    说明:微型晶片 EO`eg]  
     b]gVZ-  
    bE;c&g  
    O.DO,]Uh  
    说明:检测物镜 Ae[fW97  
    tv_&PIu]L  
    s1]m^,  
    2FcNzAaV  
    说明:探测器 +#Wwah$  
    X;1yQ |su  
    Q2!5  
    3rY\y+m  
    结果:3D光线追迹(只有0级) suS[P?4  
    M@z_tR'3\  
    3 "iBcsLn  
    O 6ph_$nt.  
    结果:3D光线追迹(所有级) Q5b9q$L$  
    q B IekQT  
    /i~x.i3  
    |\W53,n9  
    结果:光线追迹 D94bq_2}  
    K)9Rw2-AJ  
    THlQifA!  
    l8khu)\n4R  
    结果:场追迹 @,j,GE%  
    Bi2 c5[3  
    ^ L]e]<h(  
    ]q~bi<E9W  
    结果:线性偏振光的场追迹 P{x6e/  
    58d[>0Xa[g  
    B Dp")[l  
    inFS99DKx  
    文档和技术信息 ,5x#o  
    p|(SR~;6  
    _RIlGs\.  
    ps;dbY*s6  
    XF+4*),  
    QQ:2987619807 eyuyaSE  
     
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