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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ,UY1.tR(  
    &>JP.//spi  
    任务/系统说明 'Lrn<  
    7}X1A!1  
    {rKC4:  
    hC\ l \y  
    亮点 +8Lbz^#  
    NU=ru/  
    A(FnU:  
    T8o](:B~  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) .4+R ac  
     严格分析光栅衍射效率 d?fS#Ryb  
     考虑入射光的方向分布 :0J`4  
    '=_(fa,  
    说明:光源 h9)S&Sk{s  
    &:  Q'X  
    e|]e\Or>  
    !Km[Qw k-  
    说明:光束分束器 s;VW %e  
    U~x]2{}  
    <\&9Odqc  
    \d@5*q  
    说明:检测透镜系统 hq=;ZI  
    :21d  
    *fg2bz<~[B  
    .?:*0  
    说明:微型晶片 cb}zCl j o  
    h:aa^a~y i  
    sW]_Ky.]  
    y:;.r:  
    说明:检测物镜 /lBK )(  
    %(YQ)=w  
    xuioU  
    P<PZ4hNx  
    说明:探测器 A=<7*E  
    sINQ?4_8T  
    xp^RAVXq`  
    hF2e--  
    结果:3D光线追迹(只有0级) S{=5n R9j  
    1/}H 0\9'  
    S/]\GG{  
    `c  
    结果:3D光线追迹(所有级)  &K/?#  
    FLi'}C  
    )WqolB  
    q'mh*  
    结果:光线追迹 i~';1 .g  
    |v!N1+v0  
    oZBD.s  
    !xsfhLZK  
    结果:场追迹 Pq /5Dy  
    @]Cg5QW>T  
    X-["{  
    `!]|lI!GW  
    结果:线性偏振光的场追迹 RjW wsC~B  
    0 +=sBk (  
     +mocSx[  
    #mQ@4k9i  
    文档和技术信息 '_c/CNs  
    kdNo<x1o  
    9j 2t|D4uT  
    rpow@@ad<  
    x UdF.c  
    QQ:2987619807 L`1 ITz  
     
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