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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 ]fj-`==  
    JjQ8|En  
    任务/系统说明 2+z1h^)W  
    cgyp5\*>+  
    ;(7-WnU8N  
    hR-K@fS%l'  
    亮点 @<2d8ed  
    kB o;h.[l  
    2UiR~P]%  
    q(78fZ *X  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) mb&lCd ^-  
     严格分析光栅衍射效率 5y]io Jc9-  
     考虑入射光的方向分布 KF_?'X0=  
    WSRy%#  
    说明:光源 b(l0js  
    ld.7`)  
    OOokhZd`  
    )>\4ULR83  
    说明:光束分束器 l;OYUq~F  
    w]nX?S8  
    `z9J`r= I  
    ND5$bq Nu?  
    说明:检测透镜系统 =Q-k'=6\  
    3Hw[s0[$  
    %t*  
    YGp)Oy}:  
    说明:微型晶片 /4*WDiH  
    Z, T#,  
    oaK.kOo  
    [[WF0q  
    说明:检测物镜 v8m`jxII64  
    e`iEy=W  
    9 #qeFBI  
    a[sKE?  
    说明:探测器 z C=a3  
    aE)by-'  
    yS!(Ap  
    3-C\2  
    结果:3D光线追迹(只有0级) {:bN/zV#  
    )#C mQXgG  
    .po>qb6  
    ]]2k}A[-I  
    结果:3D光线追迹(所有级) <^8*<;PaG  
    "$|Zr  
    ?qmp_2:WU  
    +Rwx% =  
    结果:光线追迹 m|O1QM;T  
    j+kC-U;  
    8AL\ST51x"  
    xq[Yg15d%  
    结果:场追迹 %d2!\x%bG  
    2'|8Q\,:4Z  
    0fArF*  
    .tnkT;T  
    结果:线性偏振光的场追迹 L(G92,.  
    X%}nFgqQ  
    z-r2!^q27  
    </[: 9Cl  
    文档和技术信息 hH>``gK  
    D-&a n@  
    C&<~f#lB  
    3@<zg1.9-  
    )OP){/   
    QQ:2987619807 :Ht; 0|[H  
     
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