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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 hJ$C%1;  
    d[P>jl%7  
    任务/系统说明 `JY>v io  
    Mc#O+'](f  
    = C$ @DNEc  
    u~naVX\3b  
    亮点 V,|Bzcz  
    Mo/2,DiI5  
    &2<&X( )  
    fY,@2VxyfA  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) (DEL xE  
     严格分析光栅衍射效率 &}L36|A:  
     考虑入射光的方向分布 R&x7Iq:=D  
    -Fok %iQ'5  
    说明:光源 x[.z"$T@  
    j]ln :?\  
    1O'*X  
    f!uA$uL c  
    说明:光束分束器 E{+c*sz  
    %1 VNP(E  
    O0=,&=i  
    **w*hd]  
    说明:检测透镜系统 Nak'g/uP>  
    ?-.Ep0/  
    3wa<,^kqy  
    C9z~)aL}7  
    说明:微型晶片 mKf>6/s{c  
    -UD~>s  
    M|Lw`?T  
    ]` &[Se d  
    说明:检测物镜 g qJEJ~  
    xj00eL  
    NbdMec  
    ^*?B)D=,  
    说明:探测器 3 q.[-.q  
    Fgc:6<MGM  
    \$~oH3m&  
    S\{^LVXTMd  
    结果:3D光线追迹(只有0级) S'%cf7Z  
    Ae{4AZ  
    &"H<+>`  
    xJH9qc ME  
    结果:3D光线追迹(所有级) }JpslY*aS  
    (fk, 80  
    GHgEbiY:  
    ) R a/  
    结果:光线追迹 cJ(zidf_$  
    2t`9_zqLw  
    1UA~J|&gi^  
    5(MZ%-~l  
    结果:场追迹 SU#P.y18%  
    !>kv.`|7~  
    lJ>QTZH!wW  
    7p>-oR"  
    结果:线性偏振光的场追迹 Qdx`c^4m  
    Dxa)7dA|  
    {,  *Y  
    Z\gg<Q  
    文档和技术信息 @|UIV  
    Cp~3Jm3  
    _]~ht H  
    { d2f)ra.  
    !K^Z5A_;  
    QQ:2987619807 WJh;p: q[  
     
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