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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 lwnO  
    U%{GLO   
    任务/系统说明 #kg`rrF r  
    WlL(NrVA@@  
    R^Rc!G}  
    c=\tf~}^Ms  
    亮点 ^Fk;t  
    [ X*p [  
    vr!J3H f  
    ^df wWP  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) pMF vL  
     严格分析光栅衍射效率 8(3(kZxS  
     考虑入射光的方向分布 ;yH>A ;,K%  
    B6XO&I1c  
    说明:光源 @xG&K{j  
    :}Jx  
    |9@,ri\'Rg  
    .soCU8i3  
    说明:光束分束器 _ %s#Cb  
    W? 7l-k=S  
    ~C-Sr@ a?/  
    %cNN<x8  
    说明:检测透镜系统 ~cz}C("Z  
    [hJ1]RW8  
    Pz]WT1J0  
    Q @}$b(b  
    说明:微型晶片 BU nujC  
    >Wg= Tuef  
    *MJm:  
    b#2)"V(  
    说明:检测物镜 ",r v%i2 f  
    F?L]Dff  
    !0 7jr%-~  
    $ m`Dyu  
    说明:探测器 G,8mFH  
    YMGy-]!o  
    ~$!,-r  
    KbJ6U75|f  
    结果:3D光线追迹(只有0级) _K5<)( )  
    b[%@3}E  
    V:0IBbh)w  
    IPo t][ N>  
    结果:3D光线追迹(所有级) FlO?E3d  
    7:`XE&Z  
    VPN 9 Ql=  
    >}k*!J|  
    结果:光线追迹 H`[FC|RYyE  
    I=`?4%  
    'CBwE&AL  
    =fSTncq  
    结果:场追迹 G/ x6zdk  
    <O jK $KV  
    ;W0J  
    L3]J8oEmU  
    结果:线性偏振光的场追迹 N'1I6e"  
    g|)>65v  
    Quth5  
    =lNW1J\SW  
    文档和技术信息 UMcM&yu-  
    a%q,P @8  
    3G// _f  
    _JH.&8  
    5 nt3gVy  
    QQ:2987619807 I0-1Hr  
     
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