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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 "$A5:1;  
    R#HX}[Hb  
    任务/系统说明 `a9iq>   
    $ <Mf#.8%  
    UZJ#/x5F  
    .a9f)^  
    亮点 Jo:S *D  
    '8;'V%[+  
    a( SJ5t?-2  
    -{NP3zy  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) Nu@dMG<5  
     严格分析光栅衍射效率 O[F  
     考虑入射光的方向分布 cueaOtD  
    \W 7pSV-U  
    说明:光源 %#E$wz  
    6bT>x5?  
    TEi1,yc  
    !HKW_m^3J  
    说明:光束分束器 zEYQZywc  
    0N_u6*@  
    'ji|'x T  
    a7jE*%f9  
    说明:检测透镜系统 3e)$<e  
    )a<MW66  
    mnFmShu  
    >{>X.I~  
    说明:微型晶片 D+{& zo  
    9hjzOJPuga  
    J>1%* Tz  
    o^b5E=?>C  
    说明:检测物镜 .pIO<ZAFT  
     huvn_  
    okTqq=xd`  
    2IXtIE  
    说明:探测器 n _kE  
    L9d|7.b  
    x|)pZa  
    YmLpGqNv  
    结果:3D光线追迹(只有0级) kc<5wY_t  
    <TgVU.*  
    W#\{[o  
    9(lcQuE9  
    结果:3D光线追迹(所有级) $Ww.^ym  
    ?Cv([ ^Y.u  
    M9?f`9  
    fpJ%{z2  
    结果:光线追迹 -FW^fGS+  
    eu'~(_2  
    8y;gs1d;A  
    G|TnvZ KX  
    结果:场追迹 S_38U  
    p!K^Q3kO  
    nX8ulGGs  
    >96+s)T%;  
    结果:线性偏振光的场追迹 p$cb&NNh*H  
    Gh 352  
    |?TX^)  
    e@iz`~[  
    文档和技术信息 ;7*T6~tv  
    |-z"6F r-  
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