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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 f|O{#AC  
     r.4LU  
    任务/系统说明 311LC cRp  
    J7r|atSk  
    X]\ \,  
    !rqF}d  
    亮点 $<:E'^SAS  
    CPNL 94x  
    nstUMr6  
    =bEda]  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) X]P:CY  
     严格分析光栅衍射效率 D9j3Xu  
     考虑入射光的方向分布 ByCnD  
    035rPT7-2-  
    说明:光源 f=)2f =  
    ^f# F I&  
    Z!hafhcX  
    ABUSTf<  
    说明:光束分束器 5nsq[Q`  
    kF/9-[]$g,  
    ,"B+r6}EF  
    ]Kr `9r),  
    说明:检测透镜系统 ) /z@vY  
    G "73=8d  
    OKoan$#sn  
    dd]/.Z  
    说明:微型晶片 \Gc+WpS(  
    E9~Ghx.   
    9W(dmde>  
    _cXqAo  
    说明:检测物镜  trAkcYd  
    s8}@=]aA  
    &L^+BQ`O?  
    ]\!?qsT3}  
    说明:探测器 Q[nEsYP  
    )I3NeKWz  
     EW3(cQbK  
    V{JAB]?^  
    结果:3D光线追迹(只有0级) #-bA[eQV  
    q5?# 3T=  
    gvL f|+m  
    7D<#(CE{  
    结果:3D光线追迹(所有级) 2$Tj84'X  
    92EWIHEWZ  
    Y'ow  
    ;UxP Kpl  
    结果:光线追迹 p\<u6v ~J  
    l,kUhZ@W  
    0(S"{Ov  
    1PpyVf  
    结果:场追迹 ,G2TVjz  
    M8tRjNWS?  
    bFW=ylF9  
     -4cXRv]  
    结果:线性偏振光的场追迹 hRCed4qA  
    rYbpih=x  
    gXjV?"^kUl  
    !_"fP:T>  
    文档和技术信息 B&@?*^.  
    nVi[  
    `DC2gJKk%  
    IP(Vr7-v  
    ?O8ViB?2  
    QQ:2987619807 Cvf[/C+  
     
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