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成像系统>包括光栅 QO(F%&v++ U].]K 任务/系统说明 fM4B.45j 62qjU<Z  _7<{+Zzm FZj>N( 亮点 ~~h#2SX
3S7"P$q
 >a<1J(c 3}8o 9 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） e@ZM&iR 严格分析光栅衍射效率 Tgr,1) T 考虑入射光的方向分布 2icQ (H; U\tx{CsSz 说明：光源 0zB[seyE O.( 2  t j[E !
r.\L@Y< 说明：光束分束器 jTcv&`fA z -m%` Di!E  OpEH4X.Z Y -a 说明：检测透镜系统 h7UNmwj HT .*r6Y>g  MkPQ@so &b tI# 说明：微型晶片 =zcvR {Dkp 3>aEP 5  XAU%B-l: P U/<7P* 说明：检测物镜 gYc]z5` -PE_q Z ^  ZhA _d#qH ]$[sfPKA 说明：探测器 S-7&$n .PUp3 X-  j fY7ich /q]rA 结果：3D光线追迹（只有0级） 2H)4}5H !B}9gT  {}$7 B p 6`e7|ilh6 结果：3D光线追迹（所有级） *7 jz(iX 5FoZ$I  WK >|IgK VWvSt C 结果：光线追迹 d}[cX9U/ -S rZ^
 ;mG*Rad rR > X< 结果：场追迹 3 c=kYcj 2M-[x"\1/
 20|`jxp xV)[C )6 结果：线性偏振光的场追迹 AAevN3a#nI :hX[8u  \g39>;iR
<h7cQ 文档和技术信息 9Rnypzds {_O !mI*
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