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成像系统>包括光栅 j[Jwa*GQP shD4";8*@ 任务/系统说明 Aj8zFt ] \[G"/]J  ?bH` 5yyc 0UG 亮点 AJ >$`=
q[Tl#*P?y
 )<%CI#s# ef7 BG( 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） Q4Nut 严格分析光栅衍射效率 N1}r%!jk/ 考虑入射光的方向分布 foUB Ml O1@3V/.Wu 说明：光源 4k9$'
k HVdB*QEH  4B9D i[4!% FxB 说明：光束分束器 Py?e+[cN /2''EF';  Vnq cp J Y(] W+k< 说明：检测透镜系统 U'^ G-@ a ]:xsJ~  B8unF =u 7^V`B^Vu 说明：微型晶片 '0^lMQMg EL%P v1  8>G5VhCm~o 1Vkb}A,' 说明：检测物镜 )gz]F_ D^ xg2 D  :]4s;q:m r:PYAb =g 说明：探测器 XTA:Y7"O @HTs. 4  m7`S@qG Ga+Cb2$ 结果：3D光线追迹（只有0级） /3.;sS]B A>,kmU5  P'[ISGt ^hsr/| 结果：3D光线追迹（所有级） U# IPYyV AHMvh 7O?  n^rbc ;} ~c5 5LlO> 结果：光线追迹 #S] O|$&* \[|X^ 8j
 $WE=u 9 m +vH#xc\' 结果：场追迹 ?&!!(dWFH QkWEVL@uM
 9ei<ou_s }O+S} Hbwy 结果：线性偏振光的场追迹 ^$mCF%e8H q,_E HPc  tKeozV[V
lfG',hlI; 文档和技术信息 EiP N44( C^LxJG{L5
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