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成像系统>包括光栅 CS7b3p!I IT| h;NUG 任务/系统说明 (S~kyU!)0 ^ kKL i  ;@wa\H[3v2 WH:dcU 亮点 0D(8- H
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 iWs6 !s! FA+HR 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） #a e@VedM 严格分析光栅衍射效率 T}&A-V$ 考虑入射光的方向分布 74Jx \(d 16iTE-J_ 说明：光源 4uXGp sL $*C
}iJsF  Kxsd@^E gP% <<yl 说明：光束分束器 :zHSy&i` JtFq/&{i  9q` Ewj R \.i7( J] 说明：检测透镜系统 b~gq8,Fatb |]&3*%b@  )s!A\a`vEd REh"/d 说明：微型晶片 * ~P B /TMV Pnvz.  $u<;X^ G*=HjLmZg 说明：检测物镜 V IzIl\<aM T<uX[BO-a  ~VsN\! G V^s, 3C 说明：探测器 r Ea(1(I MXA?rjd0  6()Jx% (Y~/9a4X 结果：3D光线追迹（只有0级） #wyceEa 1I2n dt  LQF;T7VKS) MHpGG00, 结果：3D光线追迹（所有级） `{#""I^_ =v3o)lU  !zK"y[V gW~YB2 $ 结果：光线追迹 _{o 3 y"DZ (Aw@}!
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