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    [分享]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-07-13
    成像系统>包括光栅 cCqmrjUmV  
    IQ5'4zQg=  
    任务/系统说明 hlFvm$P`M  
    q6eD{/4a1  
    QaSRD/,M  
    +4V"&S|&  
    亮点 E|x t\ *  
    i?6#>;f  
    Em/? 4&  
    qjf9ZD&  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ;:8SN&).  
     严格分析光栅衍射效率 (~]0)J  
     考虑入射光的方向分布 #Wely~  
    `$ZBIe/u  
    说明:光源 eV(   
    vd0uI#g%#  
    5N$O  
    Z!I#Z2X  
    说明:光束分束器 \{a 64  
    d ZxrIWx  
    hh<ryuZ  
    #* Iyvx  
    说明:检测透镜系统 }W nvz;]B  
    8W x7%@^O  
    `bjPOA(g  
    [wM]w  
    说明:微型晶片 ;bkvdn}  
    lj@ ibA]  
    d1u6*&@lf  
    U\(T<WX,  
    说明:检测物镜 IV|})[n*  
    uex([;y  
    oC|']r6  
    SD]rYIu+  
    说明:探测器 !^qpV7./l  
    \'>d.'d  
    e{}vT$-  
    JO&+W^$uY}  
    结果:3D光线追迹(只有0级) /`b`ai8`8  
    SH;:bLk_  
    tWITr  
    1_5]3+r_U-  
    结果:3D光线追迹(所有级) ~~{+?v6B]  
    ?d@zTAI  
    Frum@n  
    =90)=Pxd  
    结果:光线追迹 PG3,MCf:  
    pRFlmg@/}  
    xGt>X77  
    Q =4~u z|  
    结果:场追迹 =4LyE6  
    JjnWv7W3$  
    a5uBQ?  
    SVqKG+{My  
    结果:线性偏振光的场追迹 N`NW*~  
    uX~YDy  
     u'qc=5  
    nD#uOep9  
    文档和技术信息 YguY5z  
    `f\+aD'u  
    TQ25"bWi  
    :djbZ><  
    i} ?\K>BWq  
    QQ:2987619807 P7 R}oO_n:  
     
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