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摘要 `l[c_%Bm v$wIm, j
qqY"*uJ' !?h;wR 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 Z=o2H Bm7 (iX+{a%" 建模任务 qfm|@v|De5 y?? XIsF
=X:Y,? dcN22A3 在VirtualLab Fusion中构建系统
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.Lp 5 系统构建块 hnhd{$2Z uHzU-FZ|B
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}OX{k 元件解算器 VjZ|$k "@0]G<H
`|&O*` hhc,uJ">! 利用光线追迹进行几何光学仿真 Pu$Tk| ]&+s6{} 结果:几何光线追迹 F{;((VboN c,+:i1IAy
JP[K;/ s9DYi~/, 利用场追迹进行物理光学仿真 w_K1]<Q* fuf"Ae 不同离焦像面的双螺旋PSF vV-`jsq20H 6mxfLlZ
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]>' M!D3 }JRm 文件信息 `7V]y- <}9lZEqY
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