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摘要 Gz&} OO Y`~B> J
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;JxL>K( 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 =p+n(C/ q>_<\|?%x 建模任务 q7 PCMe ;6/WjUDw<|
1(p:dqGS Q6m8N 在VirtualLab Fusion中构建系统 Pn!~U] A$% ?R]`M_^&u! 系统构建块 0AHQ(+Ap <AU*lLZ
ULiRuN0 6 44KoOY_ 元件解算器 -
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qyM/p.mP 6R45+<. 利用光线追迹进行几何光学仿真 s4bV0k ?^voA.Bv< 结果:几何光线追迹 z}E_wg 4Ly>x>b<
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ng 利用场追迹进行物理光学仿真 _mSefPl ",,# q 不同离焦像面的双螺旋PSF 811>dVq3/ xr'1CP
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