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摘要 m2q;^o:J D4O5@KfL
xT?} wF qvU$9cTY 双螺旋(DH) PSF工程在纵向上为三维成像提供了高分辨率,它可以通过在光瞳平面上增加一个带有漩涡的相位掩膜来产生[Ginni Grover等,Opt. Exp. 2012]。VirtualLab Fusion提供了一种快速方便的方法来计算高NA显微镜系统小离焦的DH PSFs。这个用例说明了DH-PSFs在离焦约130nm时有明显的变化。 Q=L$7 GHC?Tp 建模任务 UoMWn"ZE ]n]uN~)9
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]06!7S} \P~rg~ 在VirtualLab Fusion中构建系统 ddq 1NW ciGpluQF 系统构建块 4IP\iw#w kH8$nk eev
m7wc)"`t a3dzok 元件解算器 +V);'"L CziaxJ
R-A'v&= [zTYiNa 利用光线追迹进行几何光学仿真 O})u' :O'C:n<g 结果:几何光线追迹 W^d4/] B#k3"vk#
F'>GN}n B==a 利用场追迹进行物理光学仿真 s 9|a2/{ 5} MlZp 不同离焦像面的双螺旋PSF }]g95xT L>~@9a\jO
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V(L 文件信息 2 ]DCF &ap`}^8pM
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