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摘要 @ un {hq ;7 显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 ~TK^aM {Ljl4Sp& 6l]?%0[* 8\V>6^3CD$ 1. 案例 ].T;x| .dLX'84fY 3!w>"h0( f<Um2YGW 在VirtualLab Fusion中构建系统 D}/.;]w<[& ~U*N'>'=) 1. 系统构建模块 oYm{I ~" V5@[7ncVf E9*?G4P{l #V,~d&_k 2. 组件连接器 /ZN5WK j#>![km Mu F*( A; N_y )"3oe ? 几何光学仿真 G]DN!7]@g <mgTWv 以光线追迹 jqsktJw#i Y},GZ ^zqy 1. 结果:光线追迹 *rKv`nva5 [_G0kiI}W" FT<* HPCA$LD 快速物理光学仿真 4qcIoO 2Xs < 1rF 以场追迹 [>9"RzEl {Qmb!`F 1. NA=1.4时的光栅成像 /2V',0 ]BD5+>; CIvT5^} R$m?&1K 2. NA=0.75时的光栅成像 a}7KpKCD HZ4
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