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摘要 s Ke, u82h6s<'W 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K bXbT bK!,Pc<  Y||yzJdC wTB)v ! 设计任务 *^X#Eb C usVW  _{lx*dq 5 ze`IY kw 6cFz 光栅特性与参数的严格分析 r hiS .=> \Qq% 不同光栅周期的衍射效率 j|&{e91,? l#X=]xQf  FYp|oD2=1 XC*uz 考虑光栅周期的选择 NS7@8 #C >]:N?[Y_~}  h9w@oRp`~ 偏振相关衍射特性 ;%BhhmR)[ hO^&0?
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