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摘要 [/41%B2 [5Mr@f4I 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ],Do6
@M- 4O!ikmY:t srrgvG, )=_,O=z$K 设计任务 k>si5'W 7n<::k\lb P8/0H(, #BH*Z( |#R7wnE[k~ 光栅特性与参数的严格分析 >e5qv(y] -;WGS o 不同光栅周期的衍射效率 Y\g3hM DT&@^$? ,UF_`| .V8Lauz8 考虑光栅周期的选择 N6i Q8P- b,1ePS
{9.|2%a 偏振相关衍射特性 )irEM CB}2j [FR`Z=% YNsJZnGr8# 偏振相关衍射特性 r$s Qf&= 4ID5q~ ' %o#q6O >(t6.= 偏振相关衍射特性 or}[h09qA sdw(R#GE 9V*qQS5<p yEE*B: 基于参数优化的光栅设计 )bscBj@ T{[=oH+ 具有固定周期的二维参数优化 U
z>+2m( -m~#Bq u;2[AQ. 二维参数优化 - 设计#1 #!+:!_45 {;6`_-As% a<bwzX|. u.xnO cOH! 二维参数优化 - 设计#2 ?^\|-Gr &&>ekG9@ p H2Sbs:Tk pIqeXY 制造公差分析 - 设计#2 Y`a3tO=Pd z!9-: ln
dx"prW *b\t#meS& 不同光栅周期的三维参数优化 7WZ+T"O{I o|["SYIf k@W1-D? Oxd]y1 制造公差分析 X45%e! aAUvlb ,Ko!$29[ QhJiB%M 走进VirtualLab Fusion Z/+#pWBI! tK\~A,= ;u)I\3`*! yD}B%\45 VirtualLab Fusion 工作流程 s!$7(Q86R mc\"yC^s $-sHWYZ xU`p|(SS- VirtualLab Fusion技术 #KZBsa@p )\$|X}uny& #AQV(;r7@ 文件信息 Ds:'Lb {_v#~595 Ig>(m49d brUF6rQ 9x=Y^',5 QQ:2987619807 TOQP'/
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