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摘要 Ij#%Qu hDmVv;M: 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /91H!s J0o U5d=3 3b%y+?-{\u J
)@x:,o 建模任务 #i)h0ML/e >OiC].1
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V0q? 结果-容差分析 J
fsCkS #n~/~*:i92 9H.E15B li/O&@g` 结果-容差分析 CgEeO,N]j BMFpkK9| 7(gQ6?KsZ BT`/OD@ 在VirtualLab Fusion中查看 $XT&8%|*7 iW)FjDTP N;Hf7K ;y"E}h VirtualLab Fusion的工作流程 #c?\(qjWA wW!*"z •构造光栅结构 rl4daV&,U - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] AQ+w%>G6 - 倾斜光栅的高级配置[用例] go{'mX) }u •分析光栅衍射效率 hnE@+(d=qJ - 光栅级次分析器[用例] ,JVD ;u •使用参数优化优化光栅参数 TioI$?l>W( •使用参数运行进行容差分析 `[o^w(l:5@ - 参数运行文档的用法[用例] n%"s_W'E W P.6ea7k '%K,A-7W }>)"!p;t_ VirtualLab Fusion技术 ;O{AYF?,N q;B-np?U |? r,W~9` UN,@K9 文件信息 O a-ZeCq !>t|vgW `<\AnhNW]I "d.qmM 2v%~KV QQ:2987619807 ,h> 0k`J:a
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