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摘要 *^5,7}9Qo ti2_kYq 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 n\p\*wb %4KJ&R
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K! j*:{ {f3fc8(p 在VirtualLab Fusion中查看 l!` 0I] } 9iNns;^`q OFbg]{ub? 9v2 ; VirtualLab Fusion的工作流程 mnjA8@1 c3t8yifQ •构造光栅结构 1hS~!r'qqv - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] c/U6K
yiK - 倾斜光栅的高级配置[用例] O3:
dOL/C •分析光栅衍射效率 <]^D({` - 光栅级次分析器[用例] loe>"_`Cq •使用参数优化优化光栅参数 %/on\*Vh3 •使用参数运行进行容差分析 .Y.#
d7TA - 参数运行文档的用法[用例] ~]M" db~ :5#*
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