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摘要 .iG&Lw\, i#/]KsSp 对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 q{0R=jb Y}s@WJ KC`q#&dt [P~hjmJ(y 建模任务 P 43P]M2 |'d>JT: pO7Zs i,IB!x 1阶的参数优化 >UDd @ gw36Ec<M \$sjrqKnu zZ=pP5y8 结果-容差分析 k{;,6H #]P9b@@e y5r4+2B MUnEuhXTr 结果-容差分析 En{`@JsM TaE~s vS\Nd1~ ? "]K>j'^Zs< 在VirtualLab Fusion中查看 HpZ1xT $5x ,6[& [NMVoBvG kQ1w5mCh VirtualLab Fusion的工作流程 %D$]VSP; v6.t{6zYgY •构造光栅结构 SZaS;hhhHu - 使用特殊介质配置光栅结构[用例] R^?/' dr - 倾斜光栅的高级配置[用例] $odso;Hn •分析光栅衍射效率 86]p#n_>Fv - 光栅级次分析器[用例] wLc4Dm*V •使用参数优化优化光栅参数 h/?l4iR* •使用参数运行进行容差分析 7X@mSXis - 参数运行文档的用法[用例] ZKHG !`X0 (e(:P~Ry 8YC_3Yi% ^nbnbU4' VirtualLab Fusion技术 [8tL"G6s WSuww y;_% W i&{DOI%w 文件信息 ,]bB9tid FEVEp aDO! 93Co}@Y;Y+ '>r7V QQ:2987619807 i3rH'B-I.
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