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摘要 Q/EH vb] =FXO 1UZ! 直接设计非近轴衍射分束器仍然是很困难的。由于有相对较大的分束角，元件的特征尺寸一般等于或小于工作波长。因此，它通常超出近轴建模方法的范围。在此示例中，将迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）用于衍射元结构的初始设计，然后将傅里叶模态法（FMM）应用于严格的性能评估。 EHBy o[
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'l, ym~R 设计任务 msKWb311u
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 tOx)t$ix APydZ 纯相位传输的设计 z;? 3 2K
&s.S) 'l4l 使用迭代傅立叶变换算法（IFTA）进行纯相位传输设计。 IbFS8 *a\
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在近轴假设下使用薄元近似（TEA）进行结构设计。 N#(p_7M
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 n o6q3< re n#F:(MSOp 使用傅里叶模态法进行性能评估 T0=8 U;
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m Q# 0c_ 使用严格的FMM进行评估以检查非近轴情况下的实际性能。 J9+< 9g4-t
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)YSS>V 无需任何假设即可使用FMM直接进行结构优化。 @)"= b!q=
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 kkvG= [nL{n bli VirtualLab Fusion一瞥 EZICH&_
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>M~w Fs$~ VirtualLab Fusion中的工作流程 &w4~0J>v! UBj" m< • 使用IFTA设计纯相位传输 t|/{oAj •在多运行模式下执行IFTA =a!w)z_rw •设计源于传输的DOE结构 ?H7Ym N −结构设计[用例] 9Tju+KcK •使用采样表面定义光栅 E@ux EF −使用接口配置光栅结构[用例] H Pvs~`>V •参数运行的配置 ix.I) −参数运行文档的使用[用例] 6
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 2D`_!OG= #`kLU: VirtualLab Fusion技术 =Fu~ 0W c
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 c-? 2>%;(V e aNMcC1 文件信息 3W <_J_[ I=v GS
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i.~*G8!DM QQ：2987619807 2. 6F5&:($
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