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摘要 322-'S3< P=9UK`n 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 vBM<M3 Mii&doU
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pE0@m-p /7Q9(} VirtualLab Fusion中的工作流程 oJ#;X R rg]z 构建光栅结构 Eq8:[o −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] J%!vhQ −倾斜光栅高级设定[用例] 4s"x}c">F •光栅衍射效率分析 B2WPbox −光栅阶序分析器[用例] UF}Ji#fqn •使用参数优化进行光栅参数优化 <Skf
n`). •使用参数运行的容差分析 55,2eg#{O %;Z_`W &b-&0rTqz tZ*>S]qD VirtualLab Fusion技术 BgB0 3u
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R[m+s=+ zcio\P=^|B 文件信息 3q6FV7Fv&b <u?\%iJ"
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