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摘要 'g{9@PkGn *2GEnAZb7n 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 /:FOPPs znHnVYll(
`[n("7, _l1NKk 设计任务 :GJ &_YHf h*<P$t
Exk\8,EGqS /S lYm-uQ+ 1级参数优化 6VhjJJ nak Yn
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i >i6yl5s 结果-容差分析 1w&!H]%{ 9rA=pH%<>B
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结果-容差分析 s@7H1)U [#sz WNfU
nt@aYXK4| 9tqF8pb7v VirtualLab Fusion一瞥 _hk.2FV:3m a.zpp'cEb
7!N2-6GV $O5UyKI VirtualLab Fusion中的工作流程 wLH] <k Alxx[l\<J 构建光栅结构 0xXC^jx: −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] %p0xM −倾斜光栅高级设定[用例] y?q*WUh
•光栅衍射效率分析 xoR;=ph −光栅阶序分析器[用例] ze]h..,]K •使用参数优化进行光栅参数优化
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c '=mA •使用参数运行的容差分析 ziCHjqT eh5gjSqx ?%y?rk < W!&vul5 VirtualLab Fusion技术 O7 $hYk 5kz)5,KjM
6}oXP_0U (#E.`e1#6 文件信息 SE~[bT bAm(8nT7w
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