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摘要 $xLEA\s =_K%$y* 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 9qnuR'BDu *iPs4Es- mgk64}K [n r(PJ~8)(= 设计任务 Z`^
K%P= f&=K]:WDe aIQrb qK<aZ%V 1级参数优化 jQY>9+t "1_{c *ck Q~x*bMb. s.<olxXRW 结果-容差分析 b$;HI7)/K 5}<.1ab3V 9` OG +I^+k " 结果-容差分析 cjCE3V9X 7~nIaT Vww@eK%5Q bv .EM VirtualLab Fusion一瞥 \a{Aa Q,[rrG;?@ #N<s^KYG- L-^# 02 VirtualLab Fusion中的工作流程 k/$Ja; SIKk|I) 构建光栅结构 "r5'lQI −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Se!gs> −倾斜光栅高级设定[用例] .d<~a1k •光栅衍射效率分析 ]hCWe0F −光栅阶序分析器[用例] ^G]KE8 •使用参数优化进行光栅参数优化 4v rm&k •使用参数运行的容差分析 [X0k{FR aL_;`@4 pkrl@jv > Y2RxD\!Z VirtualLab Fusion技术 yVbg,q'?
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