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摘要 ,YAPCj ~%8Q75tn. 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 1DI"LIL /:
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0F0Q=dZ foP>w4pB VirtualLab Fusion一瞥 7gdU9c/q, skC|io-Zv
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LGo@F;!n VirtualLab Fusion中的工作流程 GJ^]ER-K _ \y0 mc4 构建光栅结构 !7"K>m< −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] w?$u! X −倾斜光栅高级设定[用例] *3etxnQc •光栅衍射效率分析 R6WgA@Z|r −光栅阶序分析器[用例] M_e$l`"G •使用参数优化进行光栅参数优化 :(?hLH.W[ •使用参数运行的容差分析 w;SH>Ax: &8_#hne_ 8HRPJSO~g e
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