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摘要 >*w(YB]/$V ilj9&.isB 对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 vP<8 ,XG
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 b _0Xi PAXdIh[] VirtualLab Fusion一瞥 T%:W6 fH7
bxg9T(Bj
 g*#.yC1/ Y_& )>; VirtualLab Fusion中的工作流程 |4FvP R [ E^jb#9\R 构建光栅结构 m]U`7!
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] V5LzUg]
−倾斜光栅高级设定[用例] 1~q|%"J
•光栅衍射效率分析 RV:%^=V-
−光栅阶序分析器[用例] |q\:3R_0
•使用参数优化进行光栅参数优化 )Wm:Ilq
•使用参数运行的容差分析 X8b= z9 6jtnH'E/  . ),m7"u| :AB$d~${M>
VirtualLab Fusion技术 Dos`lh
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