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摘要 #c0
dZ %acy%Sy 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 sX&M+'h I@=h|GM
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F_~-o,\ 'KGY;8<x] VirtualLab Fusion一瞥 &,Q{l$`X <LW|m7
4(4JQ(5 &1Fcwj VirtualLab Fusion中的工作流程 Xh]\q) 2LYd
# !i 构建光栅结构 uz4mHyS6 −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ?E2k]y6< −倾斜光栅高级设定[用例] LM'` U-/e$ •光栅衍射效率分析 }bznx[4?I −光栅阶序分析器[用例] s/[i>`g/9 •使用参数优化进行光栅参数优化 ^@L[0Z` •使用参数运行的容差分析 <nsl`C~6g0 LbR/it'} +>qBK}` VP 4t~$" VirtualLab Fusion技术 FA^x|C =$ %Z{J=
(P#2Am$ [/uKo13 文件信息 b+p!{ 8
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