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摘要 409x!d~it -40'[a9E 对于许多应用来说(例如背光、光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 T1Gp$l TXd5v#_vo 7Ykj#"BZ xs2,t*
设计任务 f%Z;05 TbKP8zw{ wO2V%v^bp F_Z&-+,*3t 1级参数优化 KrdZEi vb .g/ARwM} \A'|XdQ /RJ6nmN@} 结果-容差分析 PwFQ #Z OYszW]UMg W"b&M%y| _DPB?)!x 结果-容差分析 L;1$xI8tx S s@u,`pr %XEKhy =~GE?}.o VirtualLab Fusion一瞥 rxs~y{Xi QHHW(InG< Je#!Wd <ICZ"F`S VirtualLab Fusion中的工作流程 _o@(wGeu# g9yaNelDh) 构建光栅结构 g
,/a6M −使用特殊材料的光栅结构设定[用例] N5pinR5 H −倾斜光栅高级设定[用例] ,s1&O` •光栅衍射效率分析 :r1;}hIA9 −光栅阶序分析器[用例] Qqd6.F •使用参数优化进行光栅参数优化 fOa6, •使用参数运行的容差分析 T"L0Iy!k; !cq=)xR Zi 2o .ocx(_3G VirtualLab Fusion技术 f,Sth7y 89LpklD cZNi~ [<]Y+33 文件信息 zq,iLoY[R 38[)[{G)Hv ybo#K 'M~BE\ IZv~[vi_ QQ:2987619807 ^y:FjQC:
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