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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 )l[7;ZIw$  
    x#}j3" PP  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <5!RAdaj+  
    q*<J $PI  
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    建模任务 5Ky9Pz  
    ,mE]?XyO  
    pn_gq~5ng  
    概述 NkjQyMF  
    |V~(mS747:  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zOdasEd8!  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )*$  
    qS/71Kv'  
      ]5)&36  
    Q'Jpsmwu  
    光线追迹仿真 x"C93ft[  
    ezq q@t9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )l!&i?h%  
    •单击go！ ^) b7m  
    •获得了3D光线追迹结果。 U0|j^.)  
    y 4,T  
     HNHhMi`w  
    1rm$@L  
    光线追迹仿真 zk^7gx3x  
    ][$$  =  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 r<f-v_bxF  
    •单击go！ /wCxf5q0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 .*wjkirF#~  
    ,9l!fT?iH  
     $Ln2O#  
    )mo|.L0  
    场追迹仿真 t;a}p_>  
    HjF'~n  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。  ;;"c+  
    •单击go！ ]I*#R9  
    Y @ ,e  
    v'Py[[R  
     :-'ri Ry  
    场追迹仿真（相机探测器） cB])A57<  
    \?mU$,v oI  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7QL) }b.H  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 VTX'f2\  
    Y<$"]@w  
     ABYW1K=  
    c.me1fGn  
    场追迹仿真（电磁场探测器） LF,c-Cv!jL  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ~(doy@0M  
    nh.v?|  
    Ei(`gp  
     '~6CGqU*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） >a] s  
     HvfTC<+H  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?B31 t9  
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    文件信息 %RF   
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     WRyv >Y  
    Ita!07  
     E]Gq!fA&<  
    QQ：2987619807 Fl(ZKpSZU  
     
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