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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 y,vrMWDy  
    dpI! {'"M  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 hYU4%"X  
    Bq#B+JwX  
    IRB BLXv7\  
     Tn(c%ytN  
    建模任务 nM6/c  
    '7/c7m/$X<  
    &{H LYxh   
    概述 dI$M9;  
    m<| *  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 56^#x  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ?cD2EX%(  
    cuo'V*nWQ  
     ])uhm)U@  
    I 7s}{pG  
    光线追迹仿真 O2C&XeB:4  
    Vrx3%_NkQ  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4]%v%6 4U  
    •单击go！ qQx5n  
    •获得了3D光线追迹结果。 Z2hIoCT  
    |sklY0?l(  
     ? _Y2'O  
    6=i@t tAK  
    光线追迹仿真 a  C<  
    2C_/T8  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 7\sRf/  
    •单击go！ Mg76v<mv<  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 i2(lqhaP  
    "Zq)y_1  
     .0f6b  
    |}^ BF%8V:  
    场追迹仿真 ,CA3Q.y>|  
    %$H~  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B gB]M3Il  
    •单击go！ 0) T`&u3!  
    leomm+f^  
    {m2lVzK  
     |B/A)(c yV  
    场追迹仿真（相机探测器） b Q6<R4  
    `' "125T  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 >@wyiBU  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 B2DWSp-8*  
    VwxLElV  
     $wx)/t<  
    1pT-PO 3=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {X'D07q  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 d0MF\yxh  
    FqpUw<]6s  
    1hnw+T<<W  
     3'D<'S}[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） KoL3CA"N  
     c[QXc9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h8me.=S&  
    g(D r/D  
     -p\uW 0XA  
    +{F2hEYP  
    文件信息 tjIT4  
    Hp!c\z;  
     rp^G k  
    \uT y\KA  
     ohPCYt  
    QQ：2987619807 Ug1n4X3FKn  
     
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