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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-23
    摘要 BA+:}81&<q  
    Q`X5W  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 7OOod1  
    R(sa.Q\D4  
    /+F|+1   
     5"JnJH  
    建模任务 lZup n?  
    mmn1yX:d  
    dLek4q `l  
    概述  YErn50L  
    _\Cd.  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 iAlFgOk'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 AH(O"v`  
    xR, ;^R|C  
     8@a|~\3-  
    WxS=Aip'  
    光线追迹仿真 ~Zd n#z\  
    \T_?<t,UT  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m 5NF)eL  
    •单击go！ TIa`cU`  
    •获得了3D光线追迹结果。 f-tV8  
    IK6XJsz$J  
     G r;~P*  
    '#.:%4  
    光线追迹仿真 AOaf,ZF 8  
    nA]dQ+5sT  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Y e}y_W  
    •单击go！ =;3|?J0=  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 B|O/h! H.  
    XjwTjgL<  
     IfZaK([  
    CW=-@W7  
    场追迹仿真 >gr6H1  
    (t9qwSS8z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 B!le=V,@,  
    •单击go！ ZtEHP`Iin  
    *3<m<<>U  
    _+8$=k2nM  
     6iFd[<.*j  
    场追迹仿真（相机探测器） f41!+W=  
    QLH s 3eM  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fXw%2wg  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 \Rp)n=|  
    1{"fmV  
     T"Q4vk,3*J  
    ?XGZp?6  
    场追迹仿真（电磁场探测器）  aG\m 3r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 hpXu3o7e  
    L#u6_`XJ+  
    kozg8 `\]  
     V_}`2.Pg  
    场追迹仿真（电磁场探测器） KX<RD|=  
     }M|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 IFPywL{K  
    !4jS=Lhe>  
     <$D)uY K  
    aXC`yQ?  
    文件信息 q{7s.m >  
    2%W(^Lj  
     e`$v\7K  
    {=g-zsc]K  
     #K*d:W3C  
    QQ：2987619807 XtfL{Fy|T  
     
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