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1. 摘要 ;\{`Ci\ 'V&Y[7Aeq 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 6.c^u5; /+|#^:@ szmmu*F,U: 5@!st 2. 建模任务 OW@\./nM w_wslN,) 'LS z f/w 7cTk@Gq 3. 干涉条纹的变化 ;zH
HIdQ>- %)(Cp-b! &
E}mX]t ZH 6\><My 4. 走进VirtualLab Fusion +.yT/y " vbG]mMJ )>a B \jU |(DE 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 >3.X? g(E"4M@t! +^|iZbZKx #UP~iHbt\ 6. VirtualLab Fusion 技术 %;"@Ah s Be7"^ j+IrqPKC^ 7. 文件信息 7^6uG6 ~+6Vdxm EcL-V>U#M K`-!uZW:B7 ~@W*r5/ QQ:2987619807 aHzHvl
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