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1. 摘要 F ^lau f +:/.\3v71 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 <p?oFD_e4 {cjp8W8hS 0d89>UB-8q ,>nf/c0. 2. 建模任务 )EcfEym.> S2 P9C"
Q91mCP~$ .eCUvX`$ 3. 干涉条纹的变化 D+w? o*[[nK*fL
<"S`ZOn 0Ca/[_ 4. 走进VirtualLab Fusion umpa!q}; /N")uuv
\_)mWK,h @lqI,Ce5 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 n<eK\w oHF,k
w;kiH+& |-%dN }O 6. VirtualLab Fusion 技术 )Q<u0AxAn gRw? <U^
:#UA!|nV 7. 文件信息 Shss};QZf( }_Y\6fcd
Z5*O\kJv |T*t3} KPZqPtb; QQ:2987619807 Re1}aLd
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