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1. 摘要 {h`uV/5@` 8E]F$.6U 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 ]
{HI?V o J;$sj %z4Nl$\ x0:m-C 2. 建模任务 h>OfOx/{q9 ~zNAbaC+>t
N^:9Fz 1c{DY 3. 干涉条纹的变化 xe&i^+i @/-\k*T
LTx,cP h2;F 4. 走进VirtualLab Fusion w}cPs{Vi" NGO fb
(;^syJrh @@%.t|= 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 {o`]I>gb -Wi` G
_[ZO p ~ BbS4m 6. VirtualLab Fusion 技术 O55 xS+3^k XFV!S#yEZ
x0w4)Ic5 7. 文件信息 l$bu%SZ 54li^
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