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1. 摘要 g@$0FY{Q Bx\#`Y 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 J% :WLQo |hu"5* j'G"ZPw1 zd?bHcW/h 2. 建模任务 c80
}1 R g%R/p)C j09mI$2y67 1joc<EI 3. 干涉条纹的变化 =@bXGMsV! A>qd2 ^?H\*N4 uU8*$+ " 4. 走进VirtualLab Fusion 7yY1dR<Y {Uik| E`oSi
ez) fMWXo)rzj 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 `l
HKQwu OU0xZ=G >xxXPvM<` ~@b9
6. VirtualLab Fusion 技术 -=-x>(pRW7 6LSPPMM v&t`5-e-A 7. 文件信息 U92B+up- E'S<L|A/ !mw{T D 1G e)p4 Pur"9jHa4 QQ:2987619807 S+` !%hJ
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