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1. 摘要 YI|7a#*F <}G7#xg 白光干涉仪是一种非接触测量技术,用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性,结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 <Dl7|M }.x?$C+\" W@#Y/L:${ h&&ufF]D 2. 建模任务 ENygD ^MuO;<<,.
~i(X{^,3 5MT$n4zKu 3. 干涉条纹的变化 k\A8Z[ _L9`bzZj
b3W@{je LXrnAt 4. 走进VirtualLab Fusion phd,Jg[ %6L{Z *(
2}K7(y!?u \It8+^d@ 5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 bP(xMw<'j 525W;
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eyp]XC\ YuFJJAJ 6. VirtualLab Fusion 技术 ,@Xl? VD,g
fM6Pw6k 7. 文件信息 YRqIC -_ ]7eQ5[5s
K08xiMjl rUR{MF&]D >T=($:n QQ:2987619807 ,dP-sD;<
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