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摘要 8M DX()Bm 3tZC&!x? 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 P
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'<8lw 建模任务 %9qG|A,cA -3)]IA X4bB 仿真干涉条纹
8FmRD 6_.K9;Gd fZH";_"1 走进VirtualLab Fusion M&/([>Q [!k#au+#c 6hvmp 6*({ZE VirtualLab Fusion中的工作流程 Y4 < I5$@1+B •设置输入场 :{YOJDtR −基本光源模型[教程视频] ox2?d<dC6 •使用导入的数据自定义表面轮廓 >Wbt_%dKy •定义元件的位置和方向 #go!"HL − LPD II:位置和方向[教程视频] E<|p9,M •正确设置通道以进行非序列追迹 '0juZ~>} −非序列追迹的通道设置[用例] 4 )U,A~! •使用参数运行检查影响/变化 r z −参数运行文档的使用[用例] !|1GraiS k^vsQ'TD iLyJ7zby 1syI%I1 VirtualLab Fusion技术 QS*!3?% ]0+5@c 文件信息 r@XH=[: DAPbFY9 QQ:2987619807 O'OVj
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