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摘要 [K:29N9~4 Yt{&rPv, 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 5g0_WpO Ct!S Tk[2
FYl3c !\x?R6K 建模任务 @GeHWv <5IQc[3]aP p6[ (81 仿真干涉条纹 A[JM4x
kEP<[K 1~Mn'O% 走进VirtualLab Fusion L~&" aF/b ~Z/7pP+ MLS;SCl AC4 l<:Yh VirtualLab Fusion中的工作流程 0( //D;j 6fGK(r •设置输入场 1;&T^Gdj −基本光源模型[教程视频] PGX+p+wB •使用导入的数据自定义表面轮廓 +tUQ •定义元件的位置和方向 S#2[%o − LPD II:位置和方向[教程视频] '5rUe\k •正确设置通道以进行非序列追迹 %VJW@S>j/ −非序列追迹的通道设置[用例] [:B*6FXMN~ •使用参数运行检查影响/变化 mx}E$b$<CY −参数运行文档的使用[用例] a.,_4;'UE1 i@,]Z~] {ERjeuDm] &J(!8y*QyE VirtualLab Fusion技术 P']Y(
!L .@k*p>K 文件信息 "&-C$J5
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