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摘要 fHTqLYd- +L_!$"I 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 '=?IVm#C lhsd39NM
?bwF$Ku qLkn a 建模任务 Fm(~Vt;%u f\O)+Vc 0PIiG-o9 仿真干涉条纹 mo1(dyjx P@P(&{@ `2 X~3im 走进VirtualLab Fusion rYUhGmg` 'EFSr!+ K7 >Z)21 zlC|Sp af VirtualLab Fusion中的工作流程 fx@Hd!nO~" 44T>Yp09 •设置输入场 \ FW{&X9a −基本光源模型[教程视频] rW$ )f •使用导入的数据自定义表面轮廓 b|F_]i T •定义元件的位置和方向 =KfV;.& − LPD II:位置和方向[教程视频]
19a/E1 •正确设置通道以进行非序列追迹 ~e<l`rg# −非序列追迹的通道设置[用例] B WdR~|2 •使用参数运行检查影响/变化 icW?a9 b& −参数运行文档的使用[用例] &6%%_Lw$ 6.? Ke8iC jUjgxP*7m 49b#$Xq VirtualLab Fusion技术 My'u('Q% .>z)6S_G 文件信息 $]:ycn9l [4uTp[U!r QQ:2987619807 KKm&~^c
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