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    [分享]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-06-21
    摘要 *%N7QyO`I  
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    扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 '!fFI1s  
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    仿真干涉条纹 :%uyy5AZ  
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    VirtualLab Fusion中的工作流程 FU5LY XCs  
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    •设置输入场 ?79SPp)oo  
    −基本光源模型[教程视频] z[5Y Z~}*  
    •使用导入的数据自定义表面轮廓 8L7Y A)u  
    •定义元件的位置和方向 EFRZ% Y  
    − LPD II：位置和方向[教程视频] 0r0\b*r  
    •正确设置通道以进行非序列追迹 Lz9$,Y[  
    −非序列追迹的通道设置[用例] )l!J$X+R  
    •使用参数运行检查影响/变化 wsf Hd<Z_  
    −参数运行文档的使用[用例] zL)1^[%O9  
     S om. qD  
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    VirtualLab Fusion技术 s`Yu"s 8}4  
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    文件信息 ]^*_F  
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    QQ：2987619807 3@PUg(M  
     
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