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摘要 ;0kAm
Vy 9*FA=E 扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 (Q||5 %fS1gSfh <7ANXHuSW r1IvA^X 建模任务 qk'&:A m[y~-n rMJ@oc 仿真干涉条纹 v `/nX-> X:`=\D X4:84 走进VirtualLab Fusion viU} t1iz5%`p} . mO8~Z V+1c<LwT VirtualLab Fusion中的工作流程 <?KgzIq2 @Yb8CB •设置输入场 WLU_t65 −基本光源模型[教程视频] :,p3&2I •使用导入的数据自定义表面轮廓 :
^}!"4{ •定义元件的位置和方向 @ ^F{ − LPD II:位置和方向[教程视频] L T`T~|pz •正确设置通道以进行非序列追迹 a>4q"IT6 −非序列追迹的通道设置[用例] rusM]Z •使用参数运行检查影响/变化 -,/6 Wn'j −参数运行文档的使用[用例] R6 ej ts[8;<YD }T}c%p wsrdBxd5 VirtualLab Fusion技术 }Tm+gJA aDz%
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