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摘要 -)Of\4kx xj;V d34BJ< `/JuItL- 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 }0~X)Vgm( }) Zcw1g 建模任务 (Fs{~4T "r[Ob]/ +a0` ,Jc #dDM
"s 由于组件倾斜引起的干涉条纹 U6F1QLSLz 6o<(,\ad[ OU'm0Jlk t$g@+1p4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 v:?l C<, D-4{9[ y7|
3]>Z ';;X{a 文件信息 JasA
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